CN212829970U - 一种晶圆载运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括：底盖，包括盖合凸台，盖合凸台内侧形成放置槽，放置槽的内侧设有环状支撑台，环状支撑台的支撑面为第一斜坡面；顶盖，包括与盖合凸台配合的盖合槽，盖合槽的内侧设有环状凸起；限位组件，包括多个限位槽、以及与限位槽配合的多个限位凸台；限位凸台与晶圆的抵接面为第二斜坡面；锁扣装置，与所底盖和顶盖可拆卸连接以将底盖和顶盖锁合；顶盖与底盖盖合时，第一斜坡面和第二斜坡面分别与晶圆抵靠以限制晶圆活动。该晶圆载运装置可减少晶圆与该晶圆载运装置的接触面积，限制晶圆活动空间，有效的保护了晶圆，另外还通过锁扣装置可便于该底盖和该顶盖的打开或者关闭，进而可提高使用的便捷性。

Description

一种晶圆载运装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆的储存技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。

背景技术

目前市场上的晶圆载运装置，常为紧固配合的晶圆载运装置。相关技术的晶圆载运装置存在以下弊端：

1、晶圆放置在现有晶圆载运装置的底盖的支撑台上，支撑台一般为多个环状突起，支撑台与晶圆接触面积很大，上盖中有若干限位凸台，顶部为水平面，载运装置关闭时直接抵靠在晶圆上，晶圆很容易在储存盒里发生跳动和摩擦，造成晶圆磨损，严重的则使晶圆破裂,给使用者造成很大的苦恼。

2、紧固配合的晶圆载运装置不易打开和关闭，在使用过程中有可能会造成晶圆损坏。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆载运装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆载运装置，包括：

底盖，包括盖合凸台，所述盖合凸台内侧形成供晶圆放置的放置槽，所述放置槽的内侧设有支撑所述晶圆的环状支撑台，所述环状支撑台的支撑面为第一斜坡面；

顶盖，包括与所述盖合凸台配合的盖合槽，所述盖合槽的内侧设有与所述环状支撑台配合的环状凸起；

限位组件，包括沿周向设置于所述放置槽内侧壁的多个限位槽、以及沿周向设置于所述环状凸起上以与所述限位槽配合的多个限位凸台；所述限位凸台与所述晶圆的抵接面为第二斜坡面；

锁扣装置，与所底盖和所述顶盖可拆卸连接以将所述底盖和所述顶盖锁合；

所述顶盖与所述底盖盖合时，所述第一斜坡面和所述第二斜坡面分别与所述晶圆抵靠以限制所述晶圆活动。

优选地，所述锁扣装置包括第一夹扣、第二夹扣、第一底座以及第二底座；

所述底盖和所述顶盖盖合时，

所述第一底座与所述第一夹扣对应设置且可拆卸设置于所述底盖相背于所述盖合凸台的一侧；

所述第二底座与所述第二夹扣对应设置且可拆卸设置于所述底盖相背于所述盖合凸台的一侧；

所述第一夹扣与所述第一底座连接且可拆卸夹持于所述底盖和所述顶盖上；

所述第二夹扣与所述第二底座连接且可拆卸夹持于所述底盖和所述顶盖上。

优选地，所述顶盖内侧壁设有卡台；

所述盖合凸台的外侧设有与所述卡台配合的卡槽；

所述顶盖的外侧壁且与所述卡台对应位置设有让位槽；

所述底盖和所述顶盖盖合时，所述卡台卡入所述卡槽，所述第一夹扣和所述第二夹扣卡接于所述让位槽上，并夹设于所述卡槽的底壁和所述让位槽的底壁上。

优选地，所述卡台为两个，所述卡槽为两个，且与所述卡台对应设置；所述让位槽为两个且与所述卡槽对应设置；所述第一夹扣和所述第二夹扣分别与两个所述让位槽对应设置；

所述第一夹扣包括与所述第一底座连接的第一连接部、设置于所述第一连接部上且与所述第一连接部形成夹槽的第一夹持部、设置于所述第一夹持部上的第一拨动部；

所述第一底座包括第一座体以及凸出设置于所述第一座体上的第一插销；

所述第一连接部的一端设有供所述第一插销插设的第一插孔；

所述第二夹扣包括与所述第二底座连接的第二连接部、设置于所述第二连接部上且与所述第二连接部形成夹槽的第二夹持部、设置于所述第二夹持部上的第二拨动部；

所述第二底座包括第二座体以及凸出设置于所述第二座体上的第二插销；

所述第二连接部的一端设有供所述第二插销插设的第二插孔。

优选地，所述第一夹扣和所述第二夹扣镜像对称；

所述第一夹持部和对应设置的所述让位槽的底壁上设有第一卡接结构；所述第一卡接结构包括设置于所述第一夹持部上的第一卡接凸起、以及凸出设置于所述让位槽的底壁且与所述第一卡接凸起配合卡接的第一卡接凸台；

所述第二夹持部和对应设置所述让位槽的底壁上设有第二卡接结构；所述第二卡接结构包括设置于所述第二夹持部上的第二卡接凸起、以及凸出设置于所述让位槽的底壁且与所述第二卡接凸起配合卡接的第二卡接凸台。

优选地，所述底盖和所述顶盖的一侧通过设置铰链结构连接；

所述锁扣装置设置于所述底盖和所述顶盖相背于所述铰链结构的一侧。

优选地，所述盖合凸台的外侧壁沿周向设有多个锥形凹槽。

优选地，还包括将所述顶盖与所述底盖卡接的卡扣结构；

所述卡扣结构包括沿周向间隔设置于所述顶盖内侧壁的多个卡扣、以及设置于所述盖合凸台外侧壁且与多个卡扣对应设置的多个扣槽。

优选地，所述限位凸台的高度小于所述限位槽的深度；

和/或，所述限位凸台的宽度小于所述限位槽的宽度。

优选地，所述顶盖的顶壁外侧设有叠合凸台；

所述底盖相背于所述盖合凸台的一侧设有叠合槽；

当两个所述晶圆载运装置叠合时，位于下层的所述晶圆载运装置的所述叠合凸台卡入位于上层的所述晶圆载运装置的所述叠合槽中。

实施本实用新型的晶圆载运装置，具有以下有益效果：该晶圆载运装置可通过该限位凸台和限位槽对放置于该支撑台上的晶圆进行限位，并在顶盖与底盖盖合时通过第一斜坡面和第二斜坡面分别与该晶圆抵靠进而限制该晶圆活动，从而可固定晶圆，减少晶圆与该晶圆载运装置的接触面积，限制晶圆活动空间，从而有效的保护了晶圆，另外该晶圆载运装置还通过与该顶盖和底盖可拆卸设置的锁扣装置将该底盖和顶盖锁合从而可便于该底盖和该顶盖的打开或者关闭，进而可提高使用的便捷性，并可避免对晶圆造成损坏。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例中晶圆载运装置的结构示意图；

图2是图1所示晶圆载运装置另一角度的结构示意图；

图3是图1所示晶圆载运装置的剖视图；

图4是图3所示晶圆载运装置的局部放大示意图；

图5是图1所示晶圆载运装置的打开状态示意图；

图6是图1所示晶圆载运装置的顶盖的结构示意图；

图7是图1所示晶圆载运装置的锁扣装置的第一夹扣的结构示意图；

图8是图1所示晶圆载运装置的锁扣装置的第二夹扣的结构示意图

图9是图1所示晶圆载运装置的锁扣装置的底座的结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1及图2示出了本实用新型晶圆载运装置的一些优选实施例。该晶圆载运装置10可用于储存晶圆，并可最大程度的保护晶圆，避免晶圆在储存或者运输过程中损坏，且该晶圆载运装置10具有拆装便捷，稳定性强的优点。

如图1及图2所示，进一步地，在一些实施例中，该晶圆载运装置10可包括底盖11、顶盖12、限位组件、以及锁扣装置13。该底盖11可供晶圆20 放置。该顶盖12可设置于该底盖11的一侧，且其可与该底盖11可活动连接，其可用于盖合该底盖11。该限位组件可设置在该底盖11和顶盖12中，其可用于对晶圆进行限位，以固定晶圆可实现最大程度保护晶圆，避免该晶圆在储存或者载运过程中损坏。该锁扣装置13可与该底盖11和该顶盖12可拆卸连接，其可在该底盖11和该顶盖12盖合时，将该底盖11和该顶盖12锁合，进而便于该底盖11和该顶盖12的关闭以及便于该底盖11和该顶盖12打开。

如图3至图6所示，进一步地，在一些实施例中，该底盖11可包括盖合凸台111、第一外凸缘112。该盖合凸台111的横截面可呈方形，其可用于与该顶盖12配合。该第一外凸缘112可设置于该盖合凸台111的一端，且位于该盖合凸台111的外周，且凸出该盖合凸台111设置，其可与该盖合凸台111 一体成型。具体地，在一些实施例中，该第一外凸缘112可与该盖合凸台111 通过注塑一体成型。

进一步地，在一些实施例中，该盖合凸台111内侧可形成放置槽1111，该放置槽1111的横截面可呈圆形，其可供晶圆放置。在一些实施例中，该放置槽1111的内侧可设置环状支撑台1112；该环状支撑台1112的外边缘可与该放置槽1111的内侧壁相接。该环状支撑台1112可与该盖合凸台111一体成型。该环状支撑台可以为圆环状。该环状支撑台1112可用于供晶圆20放置，以支撑该晶圆20。在一些实施例中，该环状支撑台1112的支撑面可以为第一斜坡面a，其可朝该放置槽1111的底面倾斜设置，其可在支撑该晶圆20的同时，减少晶圆20与整个底盖11的接触面积，进而减小晶圆与该底盖11之间的摩擦。

进一步地，在一些实施例中，该盖合凸台111的外侧还可设置卡槽1114，该卡槽1114可以为两个，该两个卡槽1114可并排设置于该盖合凸台111的同一侧，该卡槽1114可用于该顶盖12卡接。

进一步地，在一些实施例中，该盖合凸台111的外侧还可设置锥形凹槽 1116，该锥形凹槽1116可以为多个，该多个锥形凹槽1116可沿该盖合凸台111 的外侧壁的周向设置，该锥形凹槽可用于加强该底盖的弯曲度，以便于该盖合凸台111卡入该顶盖12中。

进一步地，在一些实施例中，该顶盖12可包括顶盖本体121、第二外凸缘122。该顶盖本体121的横截面可呈方形，其内侧可为一端具有开口的中空结构，其内侧可形成盖合槽1211。该顶盖本体21的内侧尺寸可大于该盖合凸台111的外侧尺寸，该顶盖本体121可盖合于该盖合凸台111上，且该顶盖12 与该底盖11的整体装配后留设有间隙，以便于打开或者关闭，从而可提高使用的便捷性。该盖合槽1211可与盖合凸台111配合。该盖合槽1211内侧可设置环状凸台1212，该环状凸起1212可与该环状支撑台1112对应设置，其可与该环状支撑台1112配合，其支撑固定晶圆20。在一些实施例中，该环状凸起1212可呈圆环状，且其可与该顶盖12一体成型，在一些实施例中，其可与该顶盖12通过注塑一体成型。在一些实施例中，该第二外凸缘122可设置于该顶盖本体121的开口端，且其可沿该顶盖本体121的周向设置，并凸出该顶盖121的外侧壁设置。当该顶盖12与该底盖11盖合时，该第二外凸缘122可与该第一外凸缘112叠合。

在一些实施例中，该限位组件可包括多个限位槽1113以及限位凸台1213。该多个限位槽1113可设置于该放置槽1111内侧壁，且其可沿该放置槽1111 的周向设置，在一些实施例中，该限位槽1113可以为四个，该四个限位槽1113 可分别与该底盖11的四个顶角对应设置。每个限位槽1113的横截面可呈U 形。该限位凸台1213可设置在该环状凸起1212上，其可沿该环状凸起1212 的周向间隔设置，其可与该限位槽1113对应设置，其可与该限位槽1113配合对晶圆20进行限位。该限位凸台1213可与该环状凸起1212一体成型，具体地，在一些实施例中，其可与该环状凸起1212通过注塑一体成型。在一些实施例中，该限位凸台1213可呈锥形或者棱台状，其与该晶圆20的抵接面可呈 V形。该限位凸台1213的尺寸可小于该限位槽1113的尺寸，从而可便于在该顶盖12与该底盖11盖合时插入该限位槽1113中对该晶圆20进行限位。具体地，在一些实施例中，该限位凸台1213的高度可小于该限位槽1113的深度，且该限位凸台1213的宽度可小于该限位槽1113的宽度。在一些实施例中，该限位凸台1213与晶圆20的抵接面可以为第二斜坡面b，当该顶盖12与该底盖11盖合时，该第一斜坡面a和第二斜坡面b可分别与该晶圆20抵靠，进而可限制该晶圆20的活动，通过利用该第一斜坡面a和第二斜坡面b可减少占用空间，并减少晶圆20与该晶圆载运装置的接触面积，提高结构紧凑程度，避免晶圆20跳动和与该晶圆载运装置摩擦而损坏，从而可最大限度的保护晶圆20。

进一步地，在一些实施例中，该顶盖12的内侧壁可设置卡台1214，在一些实施例中，该卡台1214可以为两个，该两个卡台1214可并排设置于该顶盖 12的内侧壁的一侧，且间隔设置，其可与该卡槽1114一一对应设置，其可与该卡槽1114配合。当该顶盖12与该底盖11盖合时，该卡台1214卡入对应设置的卡槽1114中，进而可提高该顶盖12与该底盖11盖合的稳定性。

在一些实施例中，该顶盖12的外侧壁且与该卡台1214对应设置的位置可设置让位槽1215，该让位槽1215可以为两个，其可与该两个卡台1214对应设置，即与该两个卡槽1114对应设置。该让位槽1215可给用户手指放置，并可供该锁扣装置13卡入设置。

进一步地，在一些实施例中，该顶盖12与该底盖11之间可通过设置卡扣结构可拆卸连接。在一些实施例中，该卡扣结构可包括卡扣1218、以及扣槽 1115。该卡扣1218和该扣槽1115均为多个。该多个卡扣1218可设置在该顶盖12的内侧壁且沿该顶盖12的周向间隔设置。该多个扣槽1115可设置于该盖合凸台111外侧壁，且沿该盖合凸台111的外侧壁的周向间隔设置，其可与该卡扣1218对应设置，其可供该卡扣1218扣入。当该顶盖12与该底盖11盖合时，该卡扣1218可扣入该扣槽1115中，将该顶盖12与该底盖11可拆卸连接。

如图1、图2、及图7至图9所示，进一步地，在一些实施例中，该锁扣装置13可设置于该顶盖12与该底盖11的一侧。该锁扣装置13可包括第一夹扣131、第二夹扣132、第一底座133以及第二底座134。当该底盖11与该顶盖12盖合时，该第一底座133与该第一夹扣131对应设置，且该第一底座133 可拆卸设置于该底盖11相背于该盖合凸台111的一侧，该第一夹扣131可与该第一底座133连接并可拆卸地夹持于该底盖11和该顶盖12上。该第二底座 134可与该第二夹扣132对应设置，且可拆卸地设置于该底盖11相背于该盖合凸台111的一侧；该第二夹扣132可与该第二底座134连接且可拆卸夹持于该底盖11和该顶盖12上。具体地，当该底盖11和该顶盖12盖合时，该卡台1214卡入该卡槽1114后，可将该第一夹扣131卡接于其中一个让位槽1215 上，将第二夹扣132卡接于另一让位槽1215上，并将该第一夹扣131和该第二夹扣132夹设于该卡槽1114的底壁和该让位槽1215的底壁上。通过将锁扣装置13与该让位槽1215卡接，可有效地加强整体稳定性。

进一步地，在一些实施例中，该第一夹扣131可包括第一连接部1311、第一夹持部1312、第一拨动部1313。该第一连接部1311可连接于该第一底座 133上，且其可与该第一底座133可转动连接，该第一连接部1311的一端可设置第一连接孔1315。该第一连接部1311可呈直角梯形。该第一夹持部1312 可设置于该第一连接部1311的一侧，且可沿该第一连接部1311的顶面向上延伸，并通过折弯与该第一连接部1311形成夹槽，该第一夹持部1312可呈倒L 形，其可与该第一连接部1311配合将该卡槽1114的底壁和该让位槽1215的底壁夹持固定。在一些实施例中，该第一拨动部1313可设置于该第一夹持部 1312上，其可通过外力的拨动带动该第一夹持部1312以及该第一连接部1311 转动，进而可便于该底盖11和该顶盖12打开。该第一拨动部1313可与与该第一夹持部1312一体成型。

进一步地，在一些实施例中，该第一夹持部1312和与其对应设置的让位槽1215的底壁上可设置第一卡接结构，该第一卡接结构可用于将该第一夹持部1213与该顶盖12卡接固定。在一些实施例中，该第一卡接结构可包括第一卡接凸起1314、以及第一卡接凸台1216。该第一卡接凸起1314可设置在该第一夹持部1312上，具体地，其可位于第一夹持部1312与该第一连接部1311 相对设置的一侧，其可由该第一夹持部1312远离该第一连接部1311的一端弯折形成。该第一卡接凸台1216可凸出设置于该让位槽1215的底壁且与该第一卡接凸起1314对应设置，其可与该第一卡接凸起1314配合卡接，进而将该第一夹扣131固定于该顶盖12上。

进一步地，在一些实施例中，该第一底座133可包括第一座体1331以及第一插销1332，该第一座体1331可呈长方形板状，其上可设置通孔，该通孔可供连接组件穿过件该第一座体1331可拆卸连接于该底盖11上。该第一插销 1332可凸出该第一座体1331设置，其可呈圆柱状，其可用于与该第一连接部1311一端的第一插孔1315连接，并可便于该第一连接部1311转动。

进一步地，在一些实施例中，该第一夹扣131和该第二夹扣132镜像对称。该第二夹扣132可包括第二连接部1321、第二夹持部1322、第二拨动部1323。该第二连接部1321可连接于该第二底座133上，且其可与该第二底座133可转动连接，该第二连接部1321的一端可设置第二连接孔1325。该第二连接部 1321可呈直角梯形。该第二夹持部1322可设置于该第二连接部1321的一侧，且可沿该第二连接部1321的顶面向上延伸，并通过折弯与该第二连接部1321 形成夹槽，该第二夹持部1322可呈倒L形，其可与该第二连接部1321配合将该卡槽1114的底壁和该让位槽1215的底壁夹持固定。在一些实施例中，该第二拨动部1323可设置于该第二夹持部1322上，其可通过外力的拨动带动该第二夹持部1322以及该第二连接部1321转动，进而可便于该底盖11和该顶盖12打开。该第二拨动部1323可与与该第二夹持部1322一体成型。

进一步地，在一些实施例中，该第二夹持部1322和与其对应设置的让位槽1215的底壁上可设置第二卡接结构，该第二卡接结构可用于将该第二夹持部1213与该顶盖12卡接固定。在一些实施例中，该第二卡接结构可包括第二卡接凸起1324、以及第二卡接凸台1217。该第二卡接凸起1324可设置在该第二夹持部1322上，具体地，其可位于第二夹持部1322与该第二连接部1321 相对设置的一侧，其可由该第二夹持部1322远离该第二连接部1321的一端弯折形成。该第二卡接凸台1217可凸出设置于另一让位槽1215的底壁且与该第二卡接凸起1324对应设置，其可与该第二卡接凸起1324配合卡接，进而将该第二夹扣132固定于该顶盖12上。

进一步地，在一些实施例中，该第二底座134的结构可与该第一底座133 的结构相同。进一步地，在一些实施例中，该第二底座134可包括第二座体以及第二插销，该第二座体可呈长方形板状，其上可设置通孔，该通孔可供连接组件穿过件该第二座体可拆卸连接于该底盖11上。该第二插销可凸出该第二座体设置，其可呈圆柱状，其可用于与该第二连接部1321一端的第二插孔1325 连接，并可便于该第二连接部1321转动。

进一步地，在一些实施例中，该晶圆载运装置可与另一晶圆载运装置叠合，并可有效现在晶圆活动空间。在一些实施例中，该底盖11相背于该盖合凸台 111的一侧可设置叠合槽113，该顶盖12上可设置叠合凸台123，该叠合凸台 123可设置于该顶盖12的顶壁外侧，且凸出该顶盖12的顶壁设置，其可为方形框体结构。当两个晶圆载运装置叠合时，位于下层的晶圆载运装置的叠合凸台123可卡入位于上层的晶圆载运装置的叠合槽113中，进而可进行相互限位，从而限制晶圆活动空间。通过设置叠合凸台123以及叠合槽113可实现多个载运装置进行叠合，减小了包装成本。

进一步地，在一些实施例中，该底盖11和该顶盖12的一侧可通过设置铰链结构14连接，该铰链结构14可与该底盖11和该顶盖12一体成型，具体地，在一些实施例中，其可与该底盖11和该顶盖12通过注塑一体成型。在一些实施例中，该锁扣装置13可设置于该底盖11和该顶盖12相背于该铰链结构14 的一侧。

该晶圆载运装置的使用方法：

首先，将晶圆载运装置10打开放置于平台上，接着将晶圆20放入该底盖 11中的放置槽1111上且位于该环状支撑台1112上，使得晶圆20抵靠于该环状支撑台1112的第一斜坡面a上；其次，将顶盖12翻转套设于该底盖11的盖合凸台111上，并使得该第一外凸缘112与该第二外凸缘122叠合，此时，顶盖12上的卡台1214卡入该底盖11上的卡槽1114中，卡扣1218扣入该扣槽1115中；然后将第一底座133放置于该底盖11与该卡槽1114相背设置的一侧，且第一插销1332朝下，用手指按住，再把第一夹扣131的第一连接部 1312套设于该第一插销1332上，最后用力将第一夹扣槽该让位槽1215按压，直到第一夹持部1312上的第一卡接凸起1314与该第一卡接凸台1216卡接，同理将第二夹扣132以及第二底座134装入，这时整个晶圆载运装置10安装就完成了。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包括：

底盖(11)，包括盖合凸台(111)，所述盖合凸台(111)内侧形成供晶圆(20)放置的放置槽(1111)，所述放置槽(1111)的内侧设有支撑所述晶圆(20)的环状支撑台(1112)，所述环状支撑台(1112)的支撑面为第一斜坡面；

顶盖(12)，包括与所述盖合凸台(111)配合的盖合槽(1211)，所述盖合槽(1211)的内侧设有与所述环状支撑台(1112)配合的环状凸起(1212)；

限位组件，包括沿周向设置于所述放置槽(1111)内侧壁的多个限位槽(1113)、以及沿周向设置于所述环状凸起(1212)上以与所述限位槽(1113)配合的多个限位凸台(1213)；所述限位凸台(1213)与所述晶圆(20)的抵接面为第二斜坡面；

锁扣装置(13)，与所底盖(11)和所述顶盖(12)可拆卸连接以将所述底盖(11)和所述顶盖(12)锁合；

所述顶盖(12)与所述底盖(11)盖合时，所述第一斜坡面和所述第二斜坡面分别与所述晶圆(20)抵靠以限制所述晶圆(20)活动。

2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述锁扣装置(13)包括第一夹扣(131)、第二夹扣(132)、第一底座(133)以及第二底座(134)；

所述底盖(11)和所述顶盖(12)盖合时，

所述第一底座(133)与所述第一夹扣(131)对应设置且可拆卸设置于所述底盖(11)相背于所述盖合凸台(111)的一侧；

所述第二底座(134)与所述第二夹扣(132)对应设置且可拆卸设置于所述底盖(11)相背于所述盖合凸台(111)的一侧；

所述第一夹扣(131)与所述第一底座(133)连接且可拆卸夹持于所述底盖(11)和所述顶盖(12)上；

所述第二夹扣(132)与所述第二底座(134)连接且可拆卸夹持于所述底盖(11)和所述顶盖(12)上。

3.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述顶盖(12)内侧壁设有卡台(1214)；

所述盖合凸台(111)的外侧设有与所述卡台(1214)配合的卡槽(1114)；

所述顶盖(12)的外侧壁且与所述卡台(1214)对应位置设有让位槽(1215)；

所述底盖(11)和所述顶盖(12)盖合时，所述卡台(1214)卡入所述卡槽(1114)，所述第一夹扣(131)和所述第二夹扣(132)卡接于所述让位槽(1215)上，并夹设于所述卡槽(1114)的底壁和所述让位槽(1215)的底壁上。

4.根据权利要求3所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述卡台(1214)为两个，所述卡槽(1114)为两个，且与所述卡台(1214)对应设置；所述让位槽(1215)为两个且与所述卡槽(1114)对应设置；所述第一夹扣(131)和所述第二夹扣(132)分别与两个所述让位槽(1215)对应设置；

所述第一夹扣(131)包括与所述第一底座(133)连接的第一连接部(1311)、设置于所述第一连接部(1311)上且与所述第一连接部(1311)形成夹槽的第一夹持部(1312)、设置于所述第一夹持部(1312)上的第一拨动部(1313)；

所述第一底座(133)包括第一座体(1331)以及凸出设置于所述第一座体(1331)上的第一插销(1332)；

所述第一连接部(1311)的一端设有供所述第一插销(1332)插设的第一插孔(1315)；

所述第二夹扣(132)包括与所述第二底座(134)连接的第二连接部(1321)、设置于所述第二连接部(1321)上且与所述第二连接部(1321)形成夹槽的第二夹持部(1322)、设置于所述第二夹持部(1322)上的第二拨动部(1323)；

所述第二底座(134)包括第二座体以及凸出设置于所述第二座体上的第二插销；

所述第二连接部(1321)的一端设有供所述第二插销插设的第二插孔(1325)。

5.根据权利要求4所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第一夹扣(131)和所述第二夹扣(132)镜像对称；

所述第一夹持部(1312)和对应设置的所述让位槽(1215)的底壁上设有第一卡接结构；所述第一卡接结构包括设置于所述第一夹持部(1312)上的第一卡接凸起(1314)、以及凸出设置于所述让位槽(1215)的底壁且与所述第一卡接凸起(1314)配合卡接的第一卡接凸台(1216)；

所述第二夹持部(1322)和对应设置所述让位槽(1215)的底壁上设有第二卡接结构；所述第二卡接结构包括设置于所述第二夹持部(1322)上的第二卡接凸起(1324)、以及凸出设置于所述让位槽(1215)的底壁且与所述第二卡接凸起(1324)配合卡接的第二卡接凸台(1217)。

6.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述底盖(11)和所述顶盖(12)的一侧通过设置铰链结构(14)连接；

所述锁扣装置(13)设置于所述底盖(11)和所述顶盖(12)相背于所述铰链结构(14)的一侧。

7.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述盖合凸台(111)的外侧壁沿周向设有多个锥形凹槽(1116)。

8.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，还包括将所述顶盖(12)与所述底盖(11)卡接的卡扣结构；

所述卡扣结构包括沿周向间隔设置于所述顶盖(12)内侧壁的多个卡扣(1218)、以及设置于所述盖合凸台(111)外侧壁且与多个卡扣(1218)对应设置的多个扣槽(1115)。

9.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述限位凸台(1213)的高度小于所述限位槽(1113)的深度；

和/或，所述限位凸台(1213)的宽度小于所述限位槽(1113)的宽度。

10.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述顶盖(12)的顶壁外侧设有叠合凸台(123)；

所述底盖(11)相背于所述盖合凸台(111)的一侧设有叠合槽(113)；

当两个所述晶圆载运装置叠合时，位于下层的所述晶圆载运装置的所述叠合凸台(123)卡入位于上层的所述晶圆载运装置的所述叠合槽(113)中。

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