CN210942890U - 一种晶圆包装盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆包装盒，包括：盒体；盒体内侧设有供晶圆放入的放置槽；放置槽两相对设置的侧壁上设有以对晶圆进行限位的多个第一限位槽；上盖；包括第一盖子本体、以及设置在第一盖子本体中两组弹片，两组弹片间隔设置在第一盖子本体的顶壁；每组弹片包括并排设置的多个弹片；每一弹片上设有对晶圆进行限位的第二限位槽；第二限位槽与第一限位槽对应设置，对应设置的第一限位槽的中心线与第二限位槽的中心线在竖直方向上位于同一平面且相互平行或重叠；底盖；与上盖可拆卸连接，且与上盖配合套设在盒体的外围。该晶圆包装盒避免晶圆受损，保证晶圆运输时的安全，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性。

Description

一种晶圆包装盒

技术领域

本实用新型涉及晶圆储存与运输技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆包装盒。

背景技术

目前市场上用于运输和存储的晶圆包装盒，通常由盒体和上盖的弹片对晶圆进行固定，因为弹片具有弹性，并且两弹片之间形成一间隙，这样的结构存在以下缺点：弹片架对晶圆的固定性不足，在盖合上盖时，由于弹片顶部开口不大，晶圆不易插入到该弹片上的限位槽内，容易插入到弹片之间的间隙中，使晶圆发生变形和磨损，严重时会造成晶圆报废；在运输过程中，晶圆有可能会发生跳动，从而插入到弹片之间的间隙中，造成晶圆的损坏。

有鉴于此，急需对现有的晶圆包装盒的结构进行改进，优化整体结构，以方便晶圆更容易插入到弹片的限位槽内，使晶圆更易于存取和运输，更好的保护晶圆。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆包装盒。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆包装盒，包括：

盒体；所述盒体内侧设有供所述晶圆放入的放置槽；所述放置槽两相对设置的侧壁上设有以对晶圆进行限位的多个第一限位槽；

上盖；包括第一盖子本体、以及设置在所述第一盖子本体中两组弹片，所述两组弹片间隔设置在所述第一盖子本体的顶壁；每组所述弹片包括并排设置的多个弹片；每一所述弹片上设有对晶圆进行限位的第二限位槽；所述第二限位槽与所述第一限位槽对应设置，对应设置的所述第一限位槽的中心线与所述第二限位槽的中心线在竖直方向上位于同一平面且相互平行或重叠；

底盖；与所述上盖可拆卸连接，且与所述上盖配合套设在所述盒体的外围。

优选地，每组所述弹片包括多个第一弹片以及多个第二弹片，所述多个第一弹片和所述多个第二弹片交替且并排设置，且所述多个第一弹片和所述多个第二弹片上均设有所述第二限位槽；

所述第一弹片上的所述第二限位槽的两相对设置的侧壁分别朝外扩张设置；

所述第二弹片上的所述第二限位槽的两相对设置的侧壁分别朝内收缩设置。

优选地，所述第一盖子本体内侧形成第一容置腔，所述第一容置腔的底壁间隔且并排设置有两个第一凸台；

所述两组弹片分别设置在所述两个第一凸台上，每一所述弹片的一端与所述第一凸台连接，另一端形成自由端；

所述第二限位槽设置在所述弹片的所述自由端。

优选地，所述弹片与所述第一凸台之间形成设定夹角。

优选地，所述第一限位槽纵截面呈V形；所述弹片与所述第一盖子本体一体成型。

优选地，所述第一限位槽沿所述放置槽的侧壁纵向延伸设置；

所述第一限位槽的纵截面呈弧形。

优选地，还包括设置在所述上盖与所述底盖之间的第一卡接结构；

所述第一卡接结构包括设置在所述第一盖子本体内侧壁且间隔设置的多个卡凸、以及设置在所述底盖内侧壁与所述卡凸对应设置的卡槽。

优选地，所述盒体设有所述第一限位槽的侧壁朝远离所述第一限位槽的方向延伸形成延伸端；

所述底盖包括第二盖子本体，所述第二盖子本体内侧形成第二容置腔；所述第二容置腔的底壁设有朝所述第二容置腔凸出的且并排设置的两个第二凸台；

所述晶圆包装盒还包括将所述盒体与所述底盖可拆卸连接的第二卡接结构；

所述第二卡接结构包括设置在所述延伸端的卡接槽、以及设置在所述第二凸台外侧壁与所述卡接槽对应设置的卡骨。

优选地，所述第一盖子本体的顶壁设有朝外侧凸出的第一弧形凸起；

和/或，所述底盖的底壁设有朝外侧凸出的第二弧形凸起。

优选地，所述第一盖子本体的顶壁设有朝外侧凸出的若干叠合凸台；

所述底盖的底壁设有朝外侧凸出的若干叠合沉台；

所述若干叠合沉台与所述若干叠合凸台对应设置，以在多个所述晶圆包装盒叠合一起时供位于下部的所述晶圆包装盒的叠合凸台卡入。

实施本实用新型的晶圆包装盒，具有以下有益效果：该晶圆包装盒通过在该盒体的放置槽的两相对设置的侧壁上设置多个第一限位槽，在该上盖的弹片设置第二限位槽，并将该第二限位槽与该第一限位槽对应设置，将对应设置的第一限位槽的中心线与第二限位槽的中心线在竖直方向上位于同一面且相互平行或者重叠设置，从而能够有效分离每一片晶圆，并且可使得该上盖闭合后，该晶圆更容易插入该第一限位槽中，进而有利于固定晶圆，避免晶圆包装盒在存储或运载过程中受到外力冲击时因晶圆发生跳动导致晶圆受损，保证晶圆运输时的安全，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性，减少了用户运输损失，提升用户体验。

另外，本申请通过设置交替设置的第一弹片和第二弹片，并将第一弹片上的第二限位槽的两相对设置的侧壁分别朝外扩张设置，第一弹片上的所述第二限位槽的两相对设置的侧壁分别朝内收缩设置从而可改变第一弹片和第二弹片的间隙形状，进而可避免该晶圆卡入该间隙中，可提高该晶圆包装盒的稳定性与可靠性，提高安装效率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例晶圆包装盒的结构示意图；

图2是图1所示晶圆包装盒的结构分解示意图；

图3是图1所示晶圆包装盒的横向剖视图；

图4是图3所示晶圆包装盒的局部放大示意图

图5是图1所示晶圆包装盒的纵向剖视图；

图6是图2所示晶圆包装盒的上盖的结构示意图；

图7是图6所示晶圆包装盒的上盖的局部结构示意图；

图8是图6所示晶圆包装盒的上盖的纵向剖视图；

图9是图6所示晶圆包装盒的上盖的另一纵向剖视图；

图10是图2所示晶圆包装盒的盒体的结构示意图；

图11是图2所示晶圆包装盒的底盖的结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1及图2示出了本实用新型晶圆包装盒的一些优选实施例。该晶圆包装盒可用于储存和运输晶圆100，其可避免晶圆包装盒在存储或运载过程中受到外力冲击时因晶圆100发生跳动导致晶圆100受损，保证晶圆100运输时的安全，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性，减少了用户运输损失，提升用户体验。

如图1及图2所示，该晶圆包装盒可包括上盖10、盒体20、以及底盖30；该上盖10可盖合该盒体20，其可与该盒体20可拆卸连接，该盒体20可用于收容晶圆100。该底盖30可与该上盖10可拆卸连接，且其可与该上盖10配合套设在该盒体20的外围。

如图1至图9所示，进一步地，在一些实施例中，该上盖10可包括第一盖子本体11以及两组弹片12；该第一盖子本体11可套设在该盒体20上，该两组弹片12可设置在该第一盖子本体11中，并且可间隔设置在该第一盖子本体11的顶壁，其可用于与该晶圆100配合，以便于固定该晶圆100。

进一步地，在一些实施例中，该第一盖子本体11的横截面可呈方形或者类方形，其内侧可形成第一容置腔111，该第一容置腔111可供该盒体20容置于其中，该第一盖子本体11上设有与该第一容置腔111连通的开口。该第一盖子本体11的顶壁可设置第一弧形凸起112；该第一弧形凸起112凸出该第一盖子本体11的顶壁设置，其可与该第一盖子本体11的顶壁一体成型，其可由该第一盖子本体11的顶壁槽外侧凸出形成，其可用于增强该上盖10的强度。在一些实施例中，该第一盖子本体11的顶壁还可设置若干叠合凸台113；该若干叠合凸台113可朝外侧凸出设置，在一些实施例中，该若干叠合凸台113 可以为四个，其可分别位于该第一盖子本体11的顶角，其可位于该第一弧形凸起112的外周，该叠合凸台113可在多个晶圆包装盒叠合一起时与位于上部的晶圆包装盒配合。在一些实施例中，该第一容置腔111的底壁内侧可并排设置有两个第一凸台114；该第一凸台114可沿该第一容置腔111的长度方向延伸设置，其可用于供该弹片设置。

进一步地，在一些实施例中，该两组弹片12可分别设置在该两个第一凸台114上；每组弹片12可包括多个弹片12；该多个弹片12可并排设置在该第一凸台114上，且每一弹片12的一端可与该第一凸台114连接，另一端可形成自由端。该弹片12可与该第一凸台114之间形成设定夹角，该夹角可以为锐角，具体地，该夹角可小于或等于45度角，以便于该弹片12发生弹性形变，进而可便于根据晶圆100的径向尺寸调节，便于该上盖10与该盒体20 的装配；在一些实施例中，该弹片12可与该第一盖子本体11一体成型，具体地，其可与该第一凸台114通过注塑一体成型。在一些实施例中，每一弹片 12上均可设置第二限位槽121，该第二限位槽121可设置在该弹片的自由端，其可用于对该晶圆100进行限位，其可用于固定该晶圆100，避免该晶圆100 在存储或运载过程中受到外力冲击时因晶圆100发生跳动导致晶圆100受损，保证晶圆100运输时的安全，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性，减少了用户运输损失，提升用户体验。在一些实施例中，该第二限位槽的纵截面可呈V 形，通过将该第二限位槽设置为V形结构可便于晶圆100卡入，并可固定晶圆100，且可避免晶圆100受损。

进一步地，在一些实施例中，每组弹片可包括多个第一弹片12a和多个第二弹片12b；该多个第一弹片12a和多个第二弹片12b交替且并排设置在该第一凸台114上。该第一弹片12a和该第二弹片12b上均设有第二限位槽121；该第一弹片12a上的第二限位槽121，和第二弹片12b上的第二限位槽121的形状可以不一致，在一些实施例中，该第一弹片12a上的第二限位槽121两相对设置的侧壁朝外扩张设置，该第二限位槽121的侧壁可呈弧形；该第二弹片 12b上的第二限位槽121的两相对设置的侧壁朝内收缩设置，该第二限位槽121 的开口可呈蝶形。该第一弹片12a和该第二弹片12b之间的间隔的横截面呈曲线状，进而通过改变该第二限位槽侧壁形状可改变开口尺寸，并且改变间隙，从而可避免晶圆卡入该间隔中，从而可保证晶圆能够卡入该第二限位槽121 中，保证了该晶圆的稳定性。

如图2至图5、及图10所示，进一步地，在一些实施例中，该盒体20可置于该上盖10和该下盖20中，其可用于供该晶圆100放置，该盒体20可为中空结构，且其两端贯通。该盒体20的内侧可设置放置槽21；该放置槽21 可用于供该晶圆100放入。在一些实施例中，该放置槽21两相对设置的侧壁上设有多个第一限位槽22；该多个第一限位槽22沿该第一凸台114的长度方向并排且间隔设置，其可与靠近其设置的弹片12一一对应设置，进而与该第二限位槽121一一对应设置，该第一限位槽22可与该第二限位槽121配合对晶圆100进行限位，以便于固定晶圆100，避免晶圆100因跳动而受损。该第二限位槽22可沿纵向设置在该盒体20的侧壁，且其纵截面可呈弧形，其下部可设置斜坡以支撑该晶圆100。在一些实施例中，对应设置的第一限位槽22 的中心线与该第二限位槽121的中心线在竖直方向上位于同一平面且相互平行设置，从而可便于该第一限位槽22和该第二限位槽121对准，更易于晶圆 100插入该第二限位槽121中，进而可防止晶圆100受损，提高装配效率，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性，减少了用户运输损失，提升用户体验。

如图1、图2、图5、及图11所示，进一步地，在一些实施例中，该底盖 30的形状以及尺寸可与该上盖10的形状以及尺寸相当，该底盖30可包括第二盖子本体31；该第二盖子本体31可与该第一盖子本体11可拆卸连接。

在一些实施例中，该第二盖子本体31内侧可形成第二容置腔311；该第二容置腔311可与该第一容置腔111连通，其可与该第一容置腔111配合，以收容该盒体20。进一步地，在一些实施例中，该第二容置腔311的底壁可设有两个第二凸台312；该第二凸台312可朝该第二容置腔311凸出且可并排设置，该两个第二凸台312之间的间隔可形成凹槽，该第二凸台312上还可设置支撑凸筋3122；该支撑筋3122可凸出该第二凸台312的侧壁设置，其可用于支撑该盒体20。在一些实施例中，该底盖30的底壁上可设置第二弧形凸起312；该第二弧形凸起312可朝该底盖30的底壁外侧凸出设置，其与该凹槽对应设置，其可用于增强该底盖的强度。在一些实施例中，该底盖30的底壁可设置若干叠合沉台314；该若干叠合沉台314可以为四个，其可位于该底盖30底壁的四个顶角，其可朝外侧凸出设置，其可与该叠合凸台113对应设置。当多个晶圆包装盒叠合一起时，位于下部的晶圆包装盒的叠合凸台113可卡入位于上部的晶圆包装盒的叠合沉台314中。通过设置该叠合沉台314和叠合凸台 113能够给多个晶圆包装盒叠合时定位，以便实现多个晶圆包装盒的有效叠合，并可提高叠合效率和减少包装成本。

进一步地，在一些实施例中，该晶圆包装盒还可包括第一卡接结构；该第一卡接结构和设置在该上盖10和该底盖30之间，其可用于将该上盖10和该底盖30可拆卸连接。在一些实施例中，该第一卡接结构可包括多个卡凸115 以及多个卡槽315；该多个卡凸115可设置在该第一盖子本体111内侧壁，且其可间隔设置，具体地，其可设置在该第一盖子本体111靠近开口的一端，且其沿该第一盖子本体111的周向间隔设置。该卡槽315可设置在该底盖30内侧壁，其可与该卡凸115对应设置，其可供该卡凸115卡入，从而实现该上盖 10和该底盖30之间的连接。

进一步地，在一些实施例中，该晶圆包装盒还可包括第二卡接结构；该第二卡接结构可用于将该盒体20和该底盖30可拆卸连接。该第二卡接结构可包括卡接槽23以及卡骨3121；具体地，在一些实施例中，该盒体设有该第一限位槽22的侧壁槽远离该第一限位槽22的方向延伸形成延伸端，该卡接槽23 可设置在该延伸端上。该卡骨312可设置在该第二凸台312的外侧壁，其可与该卡接槽23对应设置，当该盒体20置于该底盖30中时，该卡骨312可对应卡入该卡接槽23中，进而可将该盒体20与该底盖30可拆卸连接，并可提高整体的密封性和加强该整体稳定性。

进一步地，在一些实施例中，该底盖30上还可设置手指位316，该手指为316可便于用户打开该晶圆包装盒时用户手指放置。该手指位316上还可设置若干卡接凸块317，该卡接凸块317可与该上盖10配合，以与该上盖10可接。

该晶圆包装盒的具体使用方法：先把晶圆100沿着盒体20内部两侧的第一限位槽22放入，使得晶圆100底部抵靠在该第一限位槽22下部的斜坡处。其次吧装满晶圆100的盒体20的下部延伸端沿底盖30两侧的卡骨3121插入，使得该卡骨3121卡入该卡接槽23中，且该盒体20的延伸端位于该支撑筋3122 上。然后将该上盖10沿着该底盖30向下盖合，同时将该晶圆100卡入该第一限位槽121中，通过弹片12有效分离并居中晶圆100，在盖合过程中，弹片12发生形变，将晶圆100压紧，该上盖10和该下盖20通过第一卡接结构卡合，从而实现整体的固定。

当需要将多个晶圆包装盒叠合，可将晶圆包装盒依次放置于另一个晶圆包装盒的上方，并将位于上部的晶圆包装盒的叠合沉台314和叠合凸台113相互卡接。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种晶圆包装盒，其特征在于，包括：

盒体(20)；所述盒体(20)内侧设有供所述晶圆(100)放入的放置槽(21)；所述放置槽(21)两相对设置的侧壁上设有以对晶圆(100)进行限位的多个第一限位槽(22)；

上盖(10)；包括第一盖子本体(11)、以及设置在所述第一盖子本体(11)中两组弹片(12)，所述两组弹片(12)间隔设置在所述第一盖子本体(11)的顶壁；每组所述弹片(12)包括并排设置的多个弹片(12)；每一所述弹片(12)上设有对晶圆(100)进行限位的第二限位槽(121)；所述第二限位槽(121)与所述第一限位槽(22)对应设置，对应设置的所述第一限位槽(22)的中心线与所述第二限位槽(121)的中心线在竖直方向上位于同一平面且相互平行或重叠；

底盖(30)；与所述上盖(10)可拆卸连接，且与所述上盖(10)配合套设在所述盒体(20)的外围。

2.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，每组所述弹片(12)包括多个第一弹片(12a)以及多个第二弹片(12b)，所述多个第一弹片(12a)和所述多个第二弹片(12b)交替且并排设置，且所述多个第一弹片(12a)和所述多个第二弹片(12b)上均设有所述第二限位槽(121)；

所述第一弹片(12a)上的所述第二限位槽(121)的两相对设置的侧壁分别朝外扩张设置；

所述第二弹片(12b)上的所述第二限位槽(121)的两相对设置的侧壁分别朝内收缩设置。

3.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第一盖子本体(11)内侧形成第一容置腔(111)，所述第一容置腔(111)的底壁间隔且并排设置有两个第一凸台(114)；

所述两组弹片(12)分别设置在所述两个第一凸台(114)上，每一所述弹片(12)的一端与所述第一凸台(114)连接，另一端形成自由端；

所述第二限位槽(121)设置在所述弹片(12)的所述自由端。

4.根据权利要求3所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述弹片(12)与所述第一凸台(114)之间形成设定夹角。

5.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第二限位槽(121)的纵截面呈V形；所述弹片(12)与所述第一盖子本体(11)一体成型。

6.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第一限位槽(22)沿所述放置槽(21)的侧壁纵向延伸设置；

所述第一限位槽(22)的纵截面呈弧形。

7.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，还包括设置在所述上盖(10)与所述底盖(30)之间的第一卡接结构；

所述第一卡接结构包括设置在所述第一盖子本体(11)内侧壁且间隔设置的多个卡凸(115)、以及设置在所述底盖(30)内侧壁与所述卡凸(115)对应设置的卡槽(315)。

8.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述盒体(20)设有所述第一限位槽(22)的侧壁朝远离所述第一限位槽(22)的方向延伸形成延伸端；

所述底盖(30)包括第二盖子本体(31)，所述第二盖子本体(31)内侧形成第二容置腔(311)；所述第二容置腔(311)的底壁设有朝所述第二容置腔(311)凸出的且并排设置的两个第二凸台(312)；

所述晶圆包装盒还包括将所述盒体(20)与所述底盖(30)可拆卸连接的第二卡接结构；

所述第二卡接结构包括设置在所述延伸端的卡接槽(23)、以及设置在所述第二凸台(312)外侧壁与所述卡接槽(23)对应设置的卡骨(3121)。

9.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第一盖子本体(11)的顶壁设有朝外侧凸出的第一弧形凸起(112)；

和/或，所述底盖(30)的底壁设有朝外侧凸出的第二弧形凸起(313)。

10.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第一盖子本体(11)的顶壁设有朝外侧凸出的若干叠合凸台(113)；

所述底盖(30)的底壁设有朝外侧凸出的若干叠合沉台(314)；

所述若干叠合沉台(314)与所述若干叠合凸台(113)对应设置，以在多个所述晶圆包装盒叠合一起时供位于下部的所述晶圆包装盒的叠合凸台(113)卡入。

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