CN212806593U - 一种扩散炉用冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉用冷却装置，解决了现有扩散炉废气冷却装置不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理效果差、效率低的问题，其包括导气箱，所述导气箱一侧的底部固定安装有进气罩，进气罩的底部连接有进气管，导气箱的底部安装有废液收集罩，导气箱的内部安装有冷却箱，冷却箱的顶部安装有导气管，导气管的一端安装有二次处理箱，二次处理箱顶部的一端安装有排气端，二次处理箱的内部安装有透气水板；本扩散炉用冷却装置在使用的过程中能够对废气进行双重降温处理，从而能够对废气进行全面有效的降温冷凝作用，使废气能够有效的形成废液，确保了废气的处理效果和处理效率。

Description

一种扩散炉用冷却装置

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉用冷却装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

扩散炉在使用加工的过程中会产生高温废气，而高温废气中带有大量的有害物质，因此，高温废气在排放之前需要对废气进行降温和冷凝，从而使废气中的有害物质形成废液；但现有扩散炉废气冷却装置在使用的过程中不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理的效果差、效率低；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扩散炉用冷却装置，有效的解决了现有扩散炉废气冷却装置不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理效果差、效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉用冷却装置，包括导气箱，所述导气箱一侧的底部固定安装有进气罩，进气罩的底部连接有进气管，导气箱的底部安装有废液收集罩，导气箱的内部安装有冷却箱，冷却箱的顶部安装有导气管，导气管的一端安装有二次处理箱，二次处理箱顶部的一端安装有排气端，二次处理箱的内部安装有透气水板。

优选的，所述废液收集罩包括三角状积液斗和第一排污管，三角状积液斗固定安装在导气箱的底部，第一排污管固定安装有三角状积液斗的底部。

优选的，所述冷却箱的内部设有两个降温腔，冷却箱的中部设有连续弯曲通气道，连续弯曲通气道的顶部与导气管的另一端固定相连接，冷却箱两侧的底部均固定安装有第一排水管，两个第一排水管的一端均延伸至导气箱的外部，导气箱顶部的两端均固定安装有第一进水管。

优选的，两个所述降温腔的内部均安装有导水管，两个导水管的顶部分别与两个第一进水管的一端相连接，且两个导水管的表面均等距离安装有洒水喷头。

优选的，所述排气端包括排气罩、吸风机和排气管，排气罩固定安装在二次处理箱顶部的一端，吸风机安装在排气罩的顶部，排气管安装在吸风机的顶部，二次处理箱底部的一端安装有第二排污管。

优选的，所述透气水板的中部等距离开设有气孔，透气水板的两端分别等距离安装有第二进水管和第二出水管，第二进水管和第二出水管的一端均延伸至二次处理箱的外部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、在工作中，通过设置有导气箱、废液收集罩、冷却箱、降温腔、连续弯曲通气道、第一排水管、第一进水管、导水管、洒水喷头、导气管、二次处理箱、排气端、排气罩、吸风机、排气管、透气水板、气孔、第二进水管和第二出水管，使本扩散炉用冷却装置在使用的过程中能够对废气进行双重降温处理，从而能够对废气进行全面有效的降温冷凝作用，使废气能够有效的形成废液，确保了废气的处理效果和处理效率；

(2)、在工作时：启动吸风机，使废气通过进气管和进气罩导入到导气箱的内部，之后废气通过连续弯曲通气道和导气管导入到二次处理箱的内部，废气在连续弯曲通气道内部流动的过程中，通过第一进水管向导水管的内部注水，水再通过洒水喷头对连续弯曲通气道的两侧进行喷洒，从而对废气进行有效的降温冷凝，冷凝的废液通过连续弯曲通气道流入到废液收集罩的内部进行收集排出；废气进入到二次处理箱内部的同时通过第二进水管和第二出水管对透气水板的内部加入的流动冷水，之后废气通过透气水板再次进行降温并通过气孔进行排出，同时透气水板底部冷凝的废水掉落到二次处理箱的内部并通过第二排污管进行排出处理。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型导气箱和冷却箱的剖视结构示意图；

图3为本实用新型二次处理箱的结构示意图；

图4为本实用新型透气水板的结构示意图；

图中：1、导气箱；2、进气罩；3、进气管；4、废液收集罩；5、冷却箱；501、降温腔；502、连续弯曲通气道；503、第一排水管；504、第一进水管；505、导水管；506、洒水喷头；6、导气管；7、二次处理箱；701、第二排污管；8、排气端；801、排气罩；802、吸风机；803、排气管；9、透气水板；901、气孔；902、第二进水管；903、第二出水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，由图1、图2、图3和图4给出，本实用新型包括导气箱1，导气箱1一侧的底部固定安装有进气罩2，进气罩2的底部连接有进气管3，导气箱1的底部安装有废液收集罩4，通过废液收集罩4的设置，能够对冷凝的废液进行收集，导气箱1的内部安装有冷却箱5，通过冷却箱5的设置，能够对废气进行有效的初次降温冷凝，冷却箱5的顶部安装有导气管6，导气管6的一端安装有二次处理箱7，二次处理箱7顶部的一端安装有排气端8，二次处理箱7的内部安装有透气水板9，通过透气水板9的设置，能够再次对废气进行降温冷凝。

实施例二，在实施例一的基础上，由图1和图2给出，废液收集罩4包括三角状积液斗和第一排污管，三角状积液斗固定安装在导气箱1的底部，第一排污管固定安装有三角状积液斗的底部，从而能够有效的进行废液的收集和排出。

实施例三，在实施例一的基础上，由图2给出，冷却箱5的内部设有两个降温腔501，冷却箱5的中部设有连续弯曲通气道502，连续弯曲通气道502的顶部与导气管6的另一端固定相连接，冷却箱5两侧的底部均固定安装有第一排水管503，两个第一排水管503的一端均延伸至导气箱1的外部，导气箱1顶部的两端均固定安装有第一进水管504，从而能够有效的对废气进行降温和冷凝。

实施例四，在实施例三的基础上，由图2给出，两个降温腔501的内部均安装有导水管505，两个导水管505的顶部分别与两个第一进水管504的一端相连接，且两个导水管505的表面均等距离安装有洒水喷头506，从而能够有效的进行洒水降温。

实施例五，在实施例一的基础上，由图3给出，排气端8包括排气罩801、吸风机802和排气管803，排气罩801固定安装在二次处理箱7顶部的一端，吸风机802安装在排气罩801的顶部，排气管803安装在吸风机802的顶部，二次处理箱7底部的一端安装有第二排污管701，从而能够有效的进行吸气和排气。

实施例六，在实施例一的基础上，由图3和图4给出，透气水板9的中部等距离开设有气孔901，透气水板9的两端分别等距离安装有第二进水管902和第二出水管903，第二进水管902和第二出水管903的一端均延伸至二次处理箱7的外部，从而能够有效的对烟气进行再次降温冷凝。

工作原理：启动吸风机802，使废气通过进气管3和进气罩2导入到导气箱1的内部，之后废气通过连续弯曲通气道502和导气管6导入到二次处理箱7的内部，废气在连续弯曲通气道502内部流动的过程中，通过第一进水管504向导水管505的内部注水，水再通过洒水喷头506对连续弯曲通气道502的两侧进行喷洒，从而对废气进行有效的降温冷凝，冷凝的废液通过连续弯曲通气道502流入到废液收集罩4的内部进行收集排出；废气进入到二次处理箱7内部的同时通过第二进水管902和第二出水管903对透气水板9的内部加入的流动冷水，之后废气通过透气水板9再次进行降温并通过气孔901进行排出，同时透气水板9底部冷凝的废水掉落到二次处理箱7的内部并通过第二排污管701进行排出处理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扩散炉用冷却装置，包括导气箱(1)，其特征在于：所述导气箱(1)一侧的底部固定安装有进气罩(2)，进气罩(2)的底部连接有进气管(3)，导气箱(1)的底部安装有废液收集罩(4)，导气箱(1)的内部安装有冷却箱(5)，冷却箱(5)的顶部安装有导气管(6)，导气管(6)的一端安装有二次处理箱(7)，二次处理箱(7)顶部的一端安装有排气端(8)，二次处理箱(7)的内部安装有透气水板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置，其特征在于：所述废液收集罩(4)包括三角状积液斗和第一排污管，三角状积液斗固定安装在导气箱(1)的底部，第一排污管固定安装有三角状积液斗的底部。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置，其特征在于：所述冷却箱(5)的内部设有两个降温腔(501)，冷却箱(5)的中部设有连续弯曲通气道(502)，连续弯曲通气道(502)的顶部与导气管(6)的另一端固定相连接，冷却箱(5)两侧的底部均固定安装有第一排水管(503)，两个第一排水管(503)的一端均延伸至导气箱(1)的外部，导气箱(1)顶部的两端均固定安装有第一进水管(504)。

4.根据权利要求3所述的一种扩散炉用冷却装置，其特征在于：两个所述降温腔(501)的内部均安装有导水管(505)，两个导水管(505)的顶部分别与两个第一进水管(504)的一端相连接，且两个导水管(505)的表面均等距离安装有洒水喷头(506)。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置，其特征在于：所述排气端(8)包括排气罩(801)、吸风机(802)和排气管(803)，排气罩(801)固定安装在二次处理箱(7)顶部的一端，吸风机(802)安装在排气罩(801)的顶部，排气管(803)安装在吸风机(802)的顶部，二次处理箱(7)底部的一端安装有第二排污管(701)。

6.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置，其特征在于：所述透气水板(9)的中部等距离开设有气孔(901)，透气水板(9)的两端分别等距离安装有第二进水管(902)和第二出水管(903)，第二进水管(902)和第二出水管(903)的一端均延伸至二次处理箱(7)的外部。

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