CN212771044U - 一种直接单晶炉用升降式石墨加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座和安装板，U形底座顶端的四角通过四个第一多级液压缸分别固定安装有两个安装座，两个安装座之间设有箱体，箱体两侧的中部分别与两个安装座的内侧固定连接，本实用新型的有益效果是：通过设置的四个第一多级液压缸、两个正反转电机、两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板相配合，便于控制石墨加热器的工作高度，通过设置的两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板均为耐高温材料制成的，用于满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性。

Description

一种直接单晶炉用升降式石墨加热器

技术领域

本实用新型涉及一种石墨加热器，特别涉及一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，属于硅单晶制备技术领域。

背景技术

半导体工业的主要物质基础是半导体材料。半导体材料制造技术的不断进步，推动了超大规模、超高速集成电路的迅速发展，带来了现代电子计算机的更新换代。半导体材料、半导体器件及集成电路的发展与应用水平已成为衡量一个国家的国力、国防、国民经济现代化和人民生活水平的重要标志，半导体硅材料是重要的半导体功能材料，其用量约占半导体材料总用量的95％以上，单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，但是现有的石墨加热器不便于控制其工作高度，其内部设备不能满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性，不便于工作人员避免用手直接操作，降低了石墨加热器的安全性和实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，以解决上述背景技术中提出的现有的石墨加热器不便于控制其工作高度、其内部设备不能满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性和不便于工作人员避免用手直接操作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座和安装板，所述U形底座顶端的四角通过四个第一多级液压缸分别固定安装有两个安装座，两个所述安装座之间设有箱体，所述箱体两侧的中部分别与两个安装座的内侧固定连接，所述箱体内壁的底部设有滑动支撑组件，所述滑动支撑组件包括三个滑槽柱和三个第二多级液压缸，三个所述滑槽柱均固定安装在箱体内壁的底端，三个所述滑槽柱内壁的顶部均滑动设有滑块，三个所述滑块的顶端均固定安装有支撑杆，三个所述第二多级液压缸的底端分别与三个滑槽柱内壁的底端固定连接，三个所述第二多级液压缸的顶端分别与三个滑块的底端固定连接，所述安装板固定设置在三个支撑杆的顶端，所述箱体的内部设有加热升降装置，所述加热升降装置包括两个正反转电机和两个齿条，两个所述正反转电机分别固定安装在两个安装座的内部，两个所述正反转电机的输出轴均固定安装有连接轴，两个所述连接轴的一端均固定套设有齿轮，所述安装板的顶端固定安装有石墨加热筒，所述石墨加热筒两侧的顶部和两侧的底部分别固定安装有两对连接块，两个所述齿条内侧的顶部和内侧的底部分别与两对连接块的外侧固定连接，两个所述齿条外侧的底部分别与两个齿轮啮合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座内壁底端的边侧固定安装有倒L形固定柱，所述倒L形固定柱另一边侧的顶部固定安装有炉体，所述炉体设置在石墨加热筒的内部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体顶端的四角分别固定安装有两对舵机，两对所述舵机的输出轴通过两对安装杆分别固定安装有两个顶板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座的底端固定安装有防滑垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述U形底座的边侧固定安装有开关面板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述开关面板的表面分别固定设有第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关，四个所述第一多级液压缸、两个正反转电机、两个第二多级液压缸、石墨加热筒和两对舵机分别通过第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关与外接电源电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，通过设置的四个第一多级液压缸、两个正反转电机、两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板相配合，便于控制石墨加热器的工作高度，通过设置的两个连接轴、两对连接块、三个滑槽柱、三个滑块、三个支撑杆、两个齿轮、两个齿条和安装板均为耐高温材料制成的，用于满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性，通过设置的开关面板上的第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关相配合，便于工作人员避免用手直接操作，提高了石墨加热器的实用性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的剖面结构示意图；

图3为本实用新型图2的A处放大的结构示意图。

图中：1、U形底座；2、第一多级液压缸；3、安装座；4、箱体；5、滑动支撑组件；51、滑槽柱；52、滑块；53、支撑杆；54、第二多级液压缸；6、加热升降装置；61、正反转电机；62、连接轴；63、齿轮；64、石墨加热筒；65、连接块；66、齿条；7、安装板；8、炉体；9、舵机；10、安装杆；11、顶板；12、防滑垫；13、开关面板；14、倒L形固定柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供了一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座1和安装板7，U形底座1顶端的四角通过四个第一多级液压缸2分别固定安装有两个安装座3，两个安装座3之间设有箱体4，箱体4两侧的中部分别与两个安装座3的内侧固定连接，箱体4内壁的底部设有滑动支撑组件5，滑动支撑组件5包括三个滑槽柱51和三个第二多级液压缸54，三个滑槽柱51均固定安装在箱体4内壁的底端，三个滑槽柱51内壁的顶部均滑动设有滑块52，三个滑块52的顶端均固定安装有支撑杆53，三个第二多级液压缸54的底端分别与三个滑槽柱51内壁的底端固定连接，三个第二多级液压缸54的顶端分别与三个滑块52的底端固定连接，安装板7固定设置在三个支撑杆53的顶端，箱体4的内部设有加热升降装置6，加热升降装置6包括两个正反转电机61和两个齿条66，两个正反转电机61分别固定安装在两个安装座3的内部，两个正反转电机61的输出轴均固定安装有连接轴62，两个连接轴62的一端均固定套设有齿轮63，安装板7的顶端固定安装有石墨加热筒64，石墨加热筒64两侧的顶部和两侧的底部分别固定安装有两对连接块65，两个齿条66内侧的顶部和内侧的底部分别与两对连接块65的外侧固定连接，两个齿条66外侧的底部分别与两个齿轮63啮合，便于控制石墨加热筒64的高度。

优选的，U形底座1内壁底端的边侧固定安装有倒L形固定柱14，倒L形固定柱14另一边侧的顶部固定安装有炉体8，炉体8设置在石墨加热筒64的内部，便于对其加热；箱体4顶端的四角分别固定安装有两对舵机9，两对舵机9的输出轴通过两对安装杆10分别固定安装有两个顶板11，便于在加热时避免一定的热量流失；U形底座1的底端固定安装有防滑垫12，提高了防滑性；U形底座1的边侧固定安装有开关面板13，开关面板13的表面分别固定设有第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关，四个第一多级液压缸2、两个正反转电机61、两个第二多级液压缸54、石墨加热筒64和两对舵机9分别通过第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关与外接电源电性连接，便于分别控制四个第一多级液压缸2、两个正反转电机61、石墨加热筒64和两对舵机9的工作。

具体使用时，本实用新型一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，首先将石墨加热器放置在相应的工作位置，然后将石墨加热器连接外接电源，需要对炉体8进行加热时，通过开关面板上13的石墨加热筒控制开关使石墨加热筒64工作，石墨加热筒64开始发热并对炉体8进行加热，当需要对石墨加热筒64进行高度调整时，通过开关面板上13的正反转电机及第二多级液压缸控制开关使两个正反转电机61和三个第二多级液压缸54开始工作，两个正反转电机61分别通过两个连接轴62和两个齿轮63带动两个齿条66进行运动，三个第二多级液压缸54通过三个滑块52、三个支撑杆53和安装板7使石墨加热筒64进行高度调整，需要对整个设备进行高度调整时，先通过开关面板13上的舵机控制开关使两对型号可为DS-S009的舵机9开始工作，两对舵机9的输出轴通过两对安装杆10分别带动两个顶板11打开，然后通过开关面板13上的第一多级液压缸控制开关使四个第一多级液压缸2分别工作，四个第一多级液压缸2分别通过两个安装座3使箱体4进行高度调整，加热工作过程中，由于两个连接轴62、两对连接块65、三个滑槽柱51、三个滑块52、三个支撑杆53、两个齿轮63、两个齿条66和安装板7均为耐高温材料制成的，用于满足耐高温的特性来达到具有一定的耐用性。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，包括U形底座（1）和安装板（7），其特征在于，所述U形底座（1）顶端的四角通过四个第一多级液压缸（2）分别固定安装有两个安装座（3），两个所述安装座（3）之间设有箱体（4），所述箱体（4）两侧的中部分别与两个安装座（3）的内侧固定连接，所述箱体（4）内壁的底部设有滑动支撑组件（5），所述滑动支撑组件（5）包括三个滑槽柱（51）和三个第二多级液压缸（54），三个所述滑槽柱（51）均固定安装在箱体（4）内壁的底端，三个所述滑槽柱（51）内壁的顶部均滑动设有滑块（52），三个所述滑块（52）的顶端均固定安装有支撑杆（53），三个所述第二多级液压缸（54）的底端分别与三个滑槽柱（51）内壁的底端固定连接，三个所述第二多级液压缸（54）的顶端分别与三个滑块（52）的底端固定连接，所述安装板（7）固定设置在三个支撑杆（53）的顶端，所述箱体（4）的内部设有加热升降装置（6），所述加热升降装置（6）包括两个正反转电机（61）和两个齿条（66），两个所述正反转电机（61）分别固定安装在两个安装座（3）的内部，两个所述正反转电机（61）的输出轴均固定安装有连接轴（62），两个所述连接轴（62）的一端均固定套设有齿轮（63），所述安装板（7）的顶端固定安装有石墨加热筒（64），所述石墨加热筒（64）两侧的顶部和两侧的底部分别固定安装有两对连接块（65），两个所述齿条（66）内侧的顶部和内侧的底部分别与两对连接块（65）的外侧固定连接，两个所述齿条（66）外侧的底部分别与两个齿轮（63）啮合。

2.根据权利要求1所述的一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，其特征在于：所述U形底座（1）内壁底端的边侧固定安装有倒L形固定柱（14），所述倒L形固定柱（14）另一边侧的顶部固定安装有炉体（8），所述炉体（8）设置在石墨加热筒（64）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，其特征在于：所述箱体（4）顶端的四角分别固定安装有两对舵机（9），两对所述舵机（9）的输出轴通过两对安装杆（10）分别固定安装有两个顶板（11）。

4.根据权利要求1所述的一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，其特征在于：所述U形底座（1）的底端固定安装有防滑垫（12）。

5.根据权利要求3所述的一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，其特征在于：所述U形底座（1）的边侧固定安装有开关面板（13）。

6.根据权利要求5所述的一种直接单晶炉用升降式石墨加热器，其特征在于：所述开关面板（13）的表面分别固定设有第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关，四个所述第一多级液压缸（2）、两个正反转电机（61）、两个第二多级液压缸（54）、石墨加热筒（64）和两对舵机（9）分别通过第一多级液压缸控制开关、正反转电机及第二多级液压缸控制开关、石墨加热筒控制开关和舵机控制开关与外接电源电性连接。

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