CN212750834U - 一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及集成电路生产设备技术领域，具体涉及一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，包括机械手主体，机械手主体的一端开设有弧形凹槽，弧形凹槽的内壁下部设有弧形放置环，弧形放置环的顶部开设有第一弧形真空吸附槽，弧形放置环的内部开设有与第一弧形真空吸附槽相连通的第一真空腔，本实用新型提供了一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体上的重量较大，导致稳定性较差的问题，进而提高了用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构的实用性。

Description

一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构

技术领域

本实用新型涉及集成电路生产设备技术领域，具体涉及一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构。

背景技术

集成电路刻蚀机的反应腔为整个工艺过程创造一个具有低分子密度和高平均自由程的洁净环境。腔体组件中的真空机械手负责完成刻蚀前晶圆片往腔体内的送入和刻蚀后晶圆片的移出工作。真空机械手的结构上必需要有用于定位的结构；同时，还需要真空机械手与晶圆片接触后可以产生一定的吸附力，以防止晶圆片在传送过程中发生脱落或产生移动后不能进入正确的刻蚀区域。如授权的中国实用新型专利申请号为CN201220165126.0的一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体、真空槽端盖板，的机械手主体上平面设置有真空槽端盖板，下平面设置有真空槽盖板。

上述专利的技术方案虽然可以达到对晶圆进行真空吸附固定的目的，但仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体上的重量较大，导致稳定性较差，进而降低了用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构的实用性，因此亟需研发一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体上的重量较大，导致稳定性较差的问题，进而提高了用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构的实用性。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，包括机械手主体，所述机械手主体的一端开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的内壁下部设有弧形放置环，所述弧形放置环的顶部开设有第一弧形真空吸附槽，所述弧形放置环的内部开设有与所述第一弧形真空吸附槽相连通的第一真空腔，所述机械手主体的内部开设有与所述第一真空腔相连通的第二真空腔；

所述弧形凹槽的内壁上部还包括开设的第二弧形真空吸附槽，所述第二弧形真空吸附槽与所述第二真空腔相连通，所述机械手主体另一端插接有与所述第二真空腔相连通的抽气管，所述抽气管与刻蚀机上的真空抽气泵相连通。

优选的，所述弧形放置环和所述机械手主体一体成型结构设置。

优选的，所述弧形凹槽的内径与晶圆的规格相匹配设置。

优选的，所述弧形凹槽的内壁和所述弧形放置环的顶壁上均涂覆有防滑涂层，且所述防滑涂层的材质为聚氨酯防滑涂层制成。

优选的，所述机械手主体上还包括开设的腰型槽，且所述腰型槽设置的数量至少为六组，对称分布于所述抽气管的轴线两侧。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型在采用上述的结构和设计使用下，解决了仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体上的重量较大，导致稳定性较差的问题，进而提高了用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构的实用性；

而且本实用新型结构新颖，设计合理，使用方便，具有较强的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的剖视图。

图中：1-机械手主体、2-弧形凹槽、3-弧形放置环、4-第一弧形真空吸附槽、5-第二真空腔、6-第二弧形真空吸附槽、7-抽气管、8- 腰型槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，包括机械手主体1，机械手主体1的一端开设有弧形凹槽2，弧形凹槽2的内壁下部设有弧形放置环3，弧形放置环3的顶部开设有第一弧形真空吸附槽4，弧形放置环3的内部开设有与第一弧形真空吸附槽4相连通的第一真空腔(图中未示出)，机械手主体1的内部开设有与第一真空腔相连通的第二真空腔5；

弧形凹槽2的内壁上部还包括开设的第二弧形真空吸附槽6，第二弧形真空吸附槽6与第二真空腔5相连通，机械手主体1另一端插接有与第二真空腔5相连通的抽气管7，抽气管7与刻蚀机上的真空抽气泵相连通。

具体的，弧形放置环3和机械手主体1一体成型结构设置。

具体的，弧形凹槽2的内径与晶圆的规格相匹配设置。

具体的，弧形凹槽2的内壁和弧形放置环3的顶壁上均涂覆有防滑涂层，且防滑涂层的材质为聚氨酯防滑涂层制成。

具体的，机械手主体1上还包括开设的腰型槽8，且腰型槽8设置的数量至少为六组，对称分布于抽气管7的轴线两侧。

工作原理：本实用新型进行使用时，将晶圆放置在弧形放置环3 的顶部，随后控制真空抽气泵工作，经抽气管7、第二真空腔5、第一真空腔对第一弧形真空吸附槽4处产生吸附力，对晶圆的底部进行真空吸附固定；经抽气管7、第二真空腔5对第二弧形真空吸附槽6处产生吸附力，对晶圆的圆周侧壁进行吸附固定；进一步提高了吸附固定效果；

而且通过弧形凹槽2的内壁和弧形放置环3的顶壁上均涂覆有防滑涂层，且防滑涂层的材质为聚氨酯防滑涂层制成，可以进一步提高对晶圆的附着力，避免其发生滑动；

而且通过弧形放置环3和机械手主体1一体成型结构设置，进一步提高整体结构的稳定性；

而且通过机械手主体1上还包括开设的腰型槽8，且腰型槽8设置的数量至少为六组，对称分布于抽气管7的轴线两侧，一方面可以减轻机械手主体1上悬空部分的重量，节省了原料、增加稳定性，能够有效避免因悬空部分重力过大而导致本机械手载片进入反应腔室后无法到达预定高度，进而影响后续取片过程，甚至造成碰撞、损坏托盘及载片等情况的发生；另一方面通过腰型槽8的设置，能够进一步提高机械手主体1整体结构的刚性，即提高了稳定性；

进而在上述结构的设计和使用下，本实用新型在进行使用过程中，解决了仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体1上的重量较大，导致稳定性较差的问题，进而提高了用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构的实用性。

上述真空抽气泵等电器元件的控制方式是通过与其配套的刻蚀机的控制端处控制器进行控制的，控制器为PLC控制器，且控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，未对其进行改进，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细对控制方式和电路连接进行赘述。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，包括机械手主体（1），其特征在于：所述机械手主体（1）的一端开设有弧形凹槽（2），所述弧形凹槽（2）的内壁下部设有弧形放置环（3），所述弧形放置环（3）的顶部开设有第一弧形真空吸附槽（4），所述弧形放置环（3）的内部开设有与所述第一弧形真空吸附槽（4）相连通的第一真空腔，所述机械手主体（1）的内部开设有与所述第一真空腔相连通的第二真空腔（5）；

所述弧形凹槽（2）的内壁上部还包括开设的第二弧形真空吸附槽（6），所述第二弧形真空吸附槽（6）与所述第二真空腔（5）相连通，所述机械手主体（1）另一端插接有与所述第二真空腔（5）相连通的抽气管（7），所述抽气管（7）与刻蚀机上的真空抽气泵相连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，其特征在于：所述弧形放置环（3）和所述机械手主体（1）一体成型结构设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，其特征在于：所述弧形凹槽（2）的内径与晶圆的规格相匹配设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，其特征在于：所述弧形凹槽（2）的内壁和所述弧形放置环（3）的顶壁上均涂覆有防滑涂层，且所述防滑涂层的材质为聚氨酯防滑涂层制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，其特征在于：所述机械手主体（1）上还包括开设的腰型槽（8），且所述腰型槽（8）设置的数量至少为六组，对称分布于所述抽气管（7）的轴线两侧。

Images