CN212735741U - 一种可以调节工件位置高精度夹具 - Google Patents

一种可以调节工件位置高精度夹具 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种可以调节工件位置高精度夹具,包括基座,所述基座两侧内壁间设置有齿条,所述齿条表面设置有滑块、固定和第一对标指针,且齿条表面刻画有刻度线,所述齿条水平方向贯穿滑块,且齿条两端与基座两侧内壁固定连接,通过齿条表面刻度移动滑块至规定位置,所述滑块上表面设置有第一固定块、棘条、限位装置、第二固定块、传动箱和支架,通过棘条、限位装置、第二固定块调整支架适合工件尺寸进行固定,然后传动箱内部机构带动支架旋转,根据加工要求观察第二对标指针在刻度盘表面的位置确定旋转角度,实现工件加工位置的高精度调整,本实用新型适用于不同尺寸大小加工件,使用简单方便,同时设置橡胶压条,能更好的保护工件。

Description

一种可以调节工件位置高精度夹具
技术领域
本实用新型涉及高精度夹具,尤其涉及一种可以调节工件位置高精度夹具。
背景技术
夹具是指机械制造过程中用来固定加工对象,使之占有正确的位置,以接受施工或检测的装置,又称卡具,从广义上说,在工艺过程中的任何工序,用来迅速、方便、安全地安装工件的装置,都可称为夹具。
目前现有的夹具大部分都只是起到夹紧定位作用,但涉及高精度加工时,普通的夹具则无法达到加工精度的要求,此时就需要一款多用途的夹具实现工件高精度加工时的固定。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种可以调节工件位置高精度夹具。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种可以调节工件位置高精度夹具,包括基座,所述基座两侧面位于内壁顶端之间设置有齿条,所述齿条表面设置有滑块,所述齿条水平方向贯穿滑块,且齿条两端与基座两侧内壁固定连接,所述滑块内底部中心位于齿条底表面下方设置有第一齿轮,所述滑块一侧侧面沿齿条中心垂直固定连接有第一对标指针,所述齿条上表面的第一对标指针上表面中心处设置有固定螺丝,所述固定螺丝的底端贯穿第一对标指针并向下延伸,所述滑块上表面一侧设置有第一固定块,所述第一固定块内部设置有棘条,所述棘条贯穿第一固定块的一侧侧面并向外延伸,所述第一固定块靠近棘条和第一固定块贯穿处的一端上表面设置有限位装置,所述限位装置包括限位块、弹簧、固定销,所述固定销贯穿限位块的顶部和第一固定块顶部并向棘条方向延伸,所述固定销外表面位于限位块内顶壁和第一固定块顶部表面之间设置有弹簧,所述棘条延伸端的端面固定连接有第二固定块,所述第一固定块远离第二固定块的一端上表面固定连接有传动箱,所述传动箱远离第一固定块顶端侧面固定连接有刻度盘,所述刻度盘远离传动箱的一侧侧面中心处设置有第一传动杆,所述第一传动杆贯穿刻度盘和传动箱的侧表面并向传动箱内部延伸,所述第一传动杆远离刻度盘的一端端面固定连接有旋转把手,所述旋转把手靠近刻度盘的一侧侧面固定连接有第二对标指针,所述传动箱远离旋转把手一侧侧面中心处固定连接有连接块,所述第一传动杆的延伸端端面固定连接有第二齿轮,所述传动箱内部位于第二齿轮下方处设置有第三齿轮,所述第三齿轮靠近连接块的端面中心固定连接有第二传动杆,所述第二传动杆贯穿传动箱一侧侧面和连接块并延伸,所述第二固定块远离棘条的一端上表面固定连接有第三固定块,所述第三固定块靠近传动箱一侧侧面中心处设置有固定杆,所述第二传动杆延伸端与固定杆远离第三固定块的一端之间中心对称设置有支架,所述支架开口处顶端表面设置有气缸,所述气缸的伸缩杆贯穿支架的顶部并向下延伸,所述气缸的延伸端端面固定连接有橡胶压条。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第一齿轮与齿条啮合连接,所述齿条与滑块的贯穿处开设有第一贯穿孔,且齿条表面与第一贯穿孔内壁滑动连接,所述第一齿轮的中心轴转动连接于滑块内壁。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述固定螺丝与第一对标指针的贯穿处开设有第二贯穿孔,且固定螺丝表面与第二贯穿孔内壁螺纹连接,所述第一对标指针与齿条表面光滑贴合,且齿条表面刻画有刻度。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述棘条与第一固定块的贯穿处开设有第三贯穿孔,且棘条与第三贯穿内壁以及滑块上表面滑动连接,所述第二固定块底部表面与滑块上表面滑动连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第一传动杆与传动箱和刻度盘的贯穿处开设有第四贯穿孔,且第一传动杆外表面与第四贯穿孔内壁转动连接,所述第二传动杆与传动箱和连接块的贯穿处开设有第五贯穿孔,且第二传动杆表面与第五贯穿孔内壁转动连接,所述连接块正面中心处开设有螺纹孔。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述支架与第二传动杆和固定杆固定连接,所述固定杆的端面和第三固定块的侧面转动连接,所述气缸、固定销与支架、第一固定块的贯穿处开设有第七贯穿孔,且气缸、固定销的外表面与第七贯穿孔的内壁滑动连接。
本实用新型具有如下有益效果:1、本实用新型可自行调整夹紧机构间距,以适应不同工件尺寸,同时工件可移动和旋转,提升工作效率。
2、本实用新型设置有带刻度的齿条和刻度盘,可根据工件的加工要求,调节工件的移动距离和角度旋转,以达到符合加工要求的高精度加工,且设置有橡胶压条,在加工时能更好的保护加工件不受损伤。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种可以调节工件位置高精度夹具的剖视图;
图2为本实用新型提出的一种可以调节工件位置高精度夹具的正视图;
图3为图1中A处结构的放大图。
图例说明:
1、基座;2、齿条;3、滑块;4、第一齿轮;5、第一对标指针;6、固定螺丝;7、第一固定块;8、棘条;9、限位装置;10、第二固定块;11、传动箱;12、刻度盘;13、第一传动杆;14、旋转把手;15、第二对标指针;16、连接块;17、第二齿轮;18、第三齿轮;19、第二传动杆;20、第三固定块;21、固定杆;22、支架;23、气缸;24、橡胶压条;91、限位块;92、弹簧;93、固定销。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1-3,本实用新型提供的一种实施例:一种可以调节工件位置高精度夹具,包括基座1支撑整个夹具以及工件的重量,基座1两侧面位于内壁顶端之间设置有齿条2,齿条2表面设置有滑块3,齿条2水平方向贯穿滑块3,且齿条2两端与基座1两侧内壁固定连接,滑块3内底部中心位于齿条2底表面下方设置有第一齿轮4,通过第一齿轮4在齿条2底部运动,从而实现加工件加工位置调整,滑块3一侧侧面沿齿条2中心垂直固定连接有第一对标指针5,通过第一对标指针5实现移动距离的精确把控,齿条2上表面的第一对标指针5上表面中心处设置有固定螺丝6,固定螺丝6的底端贯穿第一对标指针5并向下延伸,防止因外力导致工件调整好的位置发生改变,滑块3上表面一侧设置有第一固定块7,第一固定块7内部设置有棘条8,棘条8贯穿第一固定块7的一侧侧面并向外延伸,第一固定块7靠近棘条8和第一固定块7贯穿处的一端上表面设置有限位装置9,限位装置9包括限位块91、弹簧92、固定销93,固定销93贯穿限位块91的顶部和第一固定块7顶部并向棘条8方向延伸,固定销93外表面位于限位块91内顶壁和第一固定块7顶部表面之间设置有弹簧92,棘条8延伸端的端面固定连接有第二固定块10,通过棘条8和限位装置9的相互配合,实现夹紧机构的间距调整,从而适应不同尺寸的加工件,第一固定块7远离第二固定块10的一端上表面固定连接有传动箱11,通过传动箱11内部机构实现加工件的加工角度调节,传动箱11远离第一固定块7顶端侧面固定连接有刻度盘12,刻度盘12远离传动箱11的一侧侧面中心处设置有第一传动杆13,实现工件加工角度的精确把控,第一传动杆13贯穿刻度盘12和传动箱11的侧表面并向传动箱11内部延伸,第一传动杆13远离刻度盘12的一端端面固定连接有旋转把手14,旋转把手14靠近刻度盘12的一侧侧面固定连接有第二对标指针15,传动箱11远离旋转把手14一侧侧面中心处固定连接有连接块16,第一传动杆13的延伸端端面固定连接有第二齿轮17,传动箱11内部位于第二齿轮17下方处设置有第三齿轮18,第三齿轮18靠近连接块16的端面中心固定连接有第二传动杆19,第二传动杆19贯穿传动箱11一侧侧面和连接块16并延伸,第二固定块10远离棘条8的一端上表面固定连接有第三固定块20,第三固定块20靠近传动箱11一侧侧面中心处设置有固定杆21,第二传动杆19延伸端与固定杆21远离第三固定块20的一端之间中心对称设置有支架22放置加工件,支架22开口处顶端表面设置有气缸23,气缸23的伸缩杆贯穿支架22的顶部并向下延伸,通过气缸23的向下动作实现夹紧工件的目的,气缸23的延伸端端面固定连接有橡胶压条24降低因夹具和加工件直接接触导致加工件损坏。
第一齿轮4与齿条2啮合连接,齿条2与滑块3的贯穿处开设有第一贯穿孔,且齿条2表面与第一贯穿孔内壁滑动连接,第一齿轮4的中心轴转动连接于滑块3内壁,方便第一齿轮4带动滑块3在齿条2表面滑动,固定螺丝6与第一对标指针5的贯穿处开设有第二贯穿孔,且固定螺丝6表面与第二贯穿孔内壁螺纹连接,实现对滑块3的固定,第一对标指针5与齿条2表面光滑贴合方便第一对标指针5在齿条2表面滑动,且齿条2表面刻画有刻度,通过观察第一对标指针5指向的刻度,实现位置的精确调整,棘条8与第一固定块7的贯穿处开设有第三贯穿孔,且棘条8与第三贯穿内壁以及滑块3上表面滑动连接,第二固定块10底部表面与滑块3上表面滑动连接,方便棘条8带动第二固定块10沿滑块3表面水平移动,第一传动杆13与传动箱11和刻度盘12的贯穿处开设有第四贯穿孔,且第一传动杆13外表面与第四贯穿孔内壁转动连接,第二传动杆19与传动箱11和连接块16的贯穿处开设有第五贯穿孔,且第二传动杆19表面与第五贯穿孔内壁转动连接,连接块16正面中心处开设有螺纹孔,支架22与第二传动杆19和固定杆21固定连接,固定杆21的端面和第三固定块20的侧面转动连接,通过第一传动杆13带动第二齿轮17和第三齿轮18转动,从而带动第二传动杆19、支架22以及固定杆21转动,从而实现加工件的角度旋转,气缸23、固定销93与支架22、第一固定块7的贯穿处开设有第七贯穿孔,且气缸23、固定销93的外表面与第七贯穿孔的内壁滑动连接。
工作原理:本实用新型可以调节工件位置高精度夹具,首先拉起固定销93,根据工件尺寸大小,拉动第二固定块10调整两个支架22的间距同时松开固定销93,通过固定销93和棘条8的相互作用自动固定位置,然后将工件置于两个支架22之间,此时气缸23伸缩杆向下运动,将工件夹紧,工件固定好后,手动推动滑块3,滑块3由第一齿轮4带动沿齿条2水平移动,从而改变工件的加工位置,同时根据加工要求观察第一对标指针5指向的刻度,当工件达到目标位置时手动拧紧固定螺丝6固定位置防止因外力左右导致工件位置发生偏移,然后根据加工要求,转动旋转把手14,此时第二齿轮17通过第一传动杆13带动旋转,同时第三齿轮18带动第二传动杆19、支架22以及固定杆21一同旋转,同时观察第二对标指针15和刻度盘12,当指向第二对标指针15指向合适刻度时,用螺丝拧入连接块16正面中心的螺纹孔固定,工件加工完毕后气缸23向上运动取出工件,同时根据上述步骤复位各机构位置。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可以调节工件位置高精度夹具,包括基座(1),其特征在于,所述基座(1)两侧面位于内壁顶端之间设置有齿条(2),所述齿条(2)表面设置有滑块(3),所述齿条(2)水平方向贯穿滑块(3),且齿条(2)两端与基座(1)两侧内壁固定连接,所述滑块(3)内底部中心位于齿条(2)底表面下方设置有第一齿轮(4),所述滑块(3)一侧侧面沿齿条(2)中心垂直固定连接有第一对标指针(5),所述齿条(2)上表面的第一对标指针(5)上表面中心处设置有固定螺丝(6),所述固定螺丝(6)的底端贯穿第一对标指针(5)并向下延伸,所述滑块(3)上表面一侧设置有第一固定块(7),所述第一固定块(7)内部设置有棘条(8),所述棘条(8)贯穿第一固定块(7)的一侧侧面并向外延伸,所述第一固定块(7)靠近棘条(8)和第一固定块(7)贯穿处的一端上表面设置有限位装置(9),所述限位装置(9)包括限位块(91)、弹簧(92)、固定销(93),所述固定销(93)贯穿限位块(91)的顶部和第一固定块(7)顶部并向棘条(8)方向延伸,所述固定销(93)外表面位于限位块(91)内顶壁和第一固定块(7)顶部表面之间设置有弹簧(92),所述棘条(8)延伸端的端面固定连接有第二固定块(10),所述第一固定块(7)远离第二固定块(10)的一端上表面固定连接有传动箱(11),所述传动箱(11)远离第一固定块(7)顶端侧面固定连接有刻度盘(12),所述刻度盘(12)远离传动箱(11)的一侧侧面中心处设置有第一传动杆(13),所述第一传动杆(13)贯穿刻度盘(12)和传动箱(11)的侧表面并向传动箱(11)内部延伸,所述第一传动杆(13)远离刻度盘(12)的一端端面固定连接有旋转把手(14),所述旋转把手(14)靠近刻度盘(12)的一侧侧面固定连接有第二对标指针(15),所述传动箱(11)远离旋转把手(14)一侧侧面中心处固定连接有连接块(16),所述第一传动杆(13)的延伸端端面固定连接有第二齿轮(17),所述传动箱(11)内部位于第二齿轮(17)下方处设置有第三齿轮(18),所述第三齿轮(18)靠近连接块(16)的端面中心固定连接有第二传动杆(19),所述第二传动杆(19)贯穿传动箱(11)一侧侧面和连接块(16)并延伸,所述第二固定块(10)远离棘条(8)的一端上表面固定连接有第三固定块(20),所述第三固定块(20)靠近传动箱(11)一侧侧面中心处设置有固定杆(21),所述第二传动杆(19)延伸端与固定杆(21)远离第三固定块(20)的一端之间中心对称设置有支架(22),所述支架(22)开口处顶端表面设置有气缸(23),所述气缸(23)的伸缩杆贯穿支架(22)的顶部并向下延伸,所述气缸(23)的延伸端端面固定连接有橡胶压条(24)。
2.根据权利要求1所述的一种可以调节工件位置高精度夹具,其特征在于,所述第一齿轮(4)与齿条(2)啮合连接,所述齿条(2)与滑块(3)的贯穿处开设有第一贯穿孔,且齿条(2)表面与第一贯穿孔内壁滑动连接,所述第一齿轮(4)的中心轴转动连接于滑块(3)内壁。
3.根据权利要求1所述的一种可以调节工件位置高精度夹具,其特征在于,所述固定螺丝(6)与第一对标指针(5)的贯穿处开设有第二贯穿孔,且固定螺丝(6)表面与第二贯穿孔内壁螺纹连接,所述第一对标指针(5)与齿条(2)表面光滑贴合,且齿条(2)表面刻画有刻度。
4.根据权利要求1所述的一种可以调节工件位置高精度夹具,其特征在于,所述棘条(8)与第一固定块(7)的贯穿处开设有第三贯穿孔,且棘条(8)与第三贯穿内壁以及滑块(3)上表面滑动连接,所述第二固定块(10)底部表面与滑块(3)上表面滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种可以调节工件位置高精度夹具,其特征在于,所述第一传动杆(13)与传动箱(11)和刻度盘(12)的贯穿处开设有第四贯穿孔,且第一传动杆(13)外表面与第四贯穿孔内壁转动连接,所述第二传动杆(19)与传动箱(11)和连接块(16)的贯穿处开设有第五贯穿孔,且第二传动杆(19)表面与第五贯穿孔内壁转动连接,所述连接块(16)正面中心处开设有螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的一种可以调节工件位置高精度夹具,其特征在于,所述支架(22)与第二传动杆(19)和固定杆(21)固定连接,所述固定杆(21)的端面和第三固定块(20)的侧面转动连接,所述气缸(23)、固定销(93)与支架(22)、第一固定块(7)的贯穿处开设有第七贯穿孔,且气缸(23)、固定销(93)的外表面与第七贯穿孔的内壁滑动连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113276033A (zh) * 2021-05-13 2021-08-20 浙江戈尔德智能悬架股份有限公司 一种适配不同规格吊环的夹具
CN113752192A (zh) * 2021-09-06 2021-12-07 湖北顺通光电科技有限公司 一种全自动背光组装机组装平台定位机构
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN113972459B (zh) * 2021-10-28 2022-06-24 合肥七菱自动化科技有限公司 微波腔体功分器接头自动拧紧机
CN114851107A (zh) * 2022-05-13 2022-08-05 深圳模德宝科技有限公司 一种多工件装夹备料的方法
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