CN212706785U - 一种硅片清洗机用机械手 - Google Patents

Abstract

一种硅片清洗机用机械手，包括横杆、垂臂、第一支板、行程开关、约束板、信号杆、限位螺栓、第二支板、承托杆、托臂，横杆一端套接有两个垂臂，垂臂下端设有托臂，垂臂上端开设有孔，横杆穿过垂臂上的孔与垂臂相固定，两个垂臂之间设有第一支板和第二支板，第一支板上固定安装有行程开关，第一支板和第二支板上均安装有约束板，约束板上开有小孔，行程开关的底部连接有信号杆，信号杆依次穿过第一支板、第二支板及约束板上的小孔，其底端与承托杆垂直且固定连接，信号杆顶部安装有限位螺栓。本实用新型可以保证机械手执行取出操作时，相关设备必定是停机状态，避免了损坏的硅片落入硅片清洗机而造成更大的损失，大大提高了机械手的安全系数。

Description

一种硅片清洗机用机械手

技术领域

本实用新型涉及一种机械手，尤其涉及一种硅片清洗机用机械手。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

单晶硅片在生产制造过程中需要通过清洗机对其进行清洗，通常由机械手操控实现，机械手负责将装有待清洗硅片的工装放入清洗机中，完成清洗后，再将之前放入的硅片工装连同硅片一起取出。现有的机械手设备，配合硅片清洗机使用，有两种情况：一种是机械手和硅片清洗机、抛动装置作为一个清洗系统，协作运行，这种方式自动化程度高，但如果程序设计不合理，或程序出错，可能存在硅片清洗机，清洗过程未停止，抛动装置未停止运行时机械手执行取出硅片工装的动作，此时硅片工装、抛动装置和机械手会发生碰撞，损坏硅片，硅片碎片掉落清洗机，造成硅片清洗机故障；另一种是机械手作为单独的设备，由工人操作，进行硅片工装的取出和放入，这种方式仍然存在，工人因粗心或为提高工作速度，在抛动装置未完全停止运行的情况下，贸然操作机械手取出硅片工装，导致机械手和硅片工装碰撞，从而致使单晶硅片破碎，碎片掉落在清洗机内造成清洗机故障的情况。即现有的机械手缺少一种防止此类事故出现的保护措施。

发明内容

根据以上技术问题，本实用新型提供一种硅片清洗机用机械手，包括横杆、垂臂、第一支板、行程开关、约束板、信号杆、限位螺栓、第二支板、承托杆、托臂，所述横杆一端套接有两个垂臂，所述垂臂下端设有托臂；

所述垂臂上端开设有孔，所述横杆穿过垂臂上的孔与垂臂相固定，所述两个垂臂之间设有第一支板和第二支板，所述第一支板上固定安装有行程开关，所述行程开关与PLC控制系统电连接，所述第一支板和第二支板上均安装有约束板，所述约束板上开有小孔，所述行程开关的底部连接有信号杆，所述信号杆依次穿过第一支板、第二支板及约束板上的小孔，其底端与承托杆垂直且固定连接，所述信号杆顶部安装有限位螺栓。

进一步的，所述信号杆为圆柱形杆。

进一步的，所述信号杆的直径比约束板上小孔的直径小1-2mm。

进一步的，两个约束板上的小孔呈竖直设置且其中心连线位于同一条直线上。

进一步的，所述行程开关底部与信号杆的端部铰接。

进一步的，所述限位螺栓的内径与信号杆外径相同，外径大于约束板小孔1-3mm。

本实用新型的有益效果为：本实用新型为一种硅片清洗机用机械手，通过在机械手末端的垂臂之间设置承托杆、信号杆，进而联动行程开关，机械手在操作时，垂臂下降至一定位置，必然会导致承托杆被向上顶起，进而带动信号杆，使行程开关动作，硅片清洗机的PLC控制系统接收到行程开关信号后，立即停止硅片清洗机和抛动装置的运行，即本实用新型可以保证机械手执行取出操作时，相关设备必定是停机状态，可避免硅片的损坏，更避免了损坏的硅片落入硅片清洗机而造成更大的损失，大大提高了机械手的安全系数。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型侧视图。

如图，横杆-1、垂臂-2、第一支板-3、行程开关-4、约束板-5、信号杆-6、限位螺栓-7、第二支板-8、承托杆-9、托臂-10。

具体实施方式

下面结合附图所示，对本实用新型进行进一步说明：本实用新型为一种硅片清洗机用机械手，包括横杆1、垂臂2、第一支板3、行程开关4、约束板5、信号杆6、限位螺栓7、第二支板8、承托杆9、托臂10，所述横杆1一端套接有两个垂臂2，所述垂臂2下端设有托臂10；

所述垂臂2上端开设有孔，所述横杆1穿过垂臂2上的孔与垂臂2相固定，所述两个垂臂2之间设有第一支板3和第二支板8，所述第一支板3上固定安装有行程开关4，所述行程开关4与PLC控制系统电连接，所述第一支板3和第二支板8上均安装有约束板5，所述约束板5上开有小孔，所述行程开关4的底部连接有信号杆6，所述信号杆6依次穿过第一支板3、第二支板8及约束板5上的小孔，其底端与承托杆9垂直且固定连接，所述信号杆6顶部安装有限位螺栓7。

进一步的，所述信号杆6为圆柱形杆。

进一步的，所述信号杆6的直径比约束板5上小孔的直径小1-2mm。

进一步的，两个约束板5上的小孔呈竖直设置且其中心连线位于同一条直线上。

进一步的，所述行程开关4底部与信号杆6的端部铰接。

进一步的，所述限位螺栓7的内径与信号杆6外径相同，外径大于约束板5小孔1-3mm。

工作原理：机械手上的行程开关4与PLC控制系统相连，硅片清洗工序结束时，硅片清洗机停机，抛动装置停机，机械手执行相关动作将硅片工装取出。机械手进行取出操作时，会先下降至合适的位置，此时承托杆9会被硅片工装顶起，进而带动信号杆6向上触发行程开关4动作，将行程开关4动作信号传送给PLC控制系统，PLC控制系统发送命令使硅片清洗机和抛动装置停机，即本实用新型可以保证机械手执行取出操作，下降至一定位置后，硅片清洗机和抛动装置必然停机，避免了硅片和硅片清洗机可能遭受损坏的情况发生，提高了安全系数。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种硅片清洗机用机械手，其特征在于包括横杆、垂臂、第一支板、行程开关、约束板、信号杆、限位螺栓、第二支板、承托杆、托臂，所述横杆一端套接有两个垂臂，所述垂臂下端设有托臂；

所述垂臂上端开设有孔，所述横杆穿过垂臂上的孔与垂臂相固定，所述两个垂臂之间设有第一支板和第二支板，所述第一支板上固定安装有行程开关，所述行程开关与PLC控制系统电连接，所述第一支板和第二支板上均安装有约束板，所述约束板上开有小孔，所述行程开关的底部连接有信号杆，所述信号杆依次穿过第一支板、第二支板及约束板上的小孔，其底端与承托杆垂直且固定连接，所述信号杆顶部安装有限位螺栓。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用机械手，其特征在于，所述信号杆为圆柱形杆。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用机械手，其特征在于，所述信号杆的直径比约束板上小孔的直径小1-2mm。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用机械手，其特征在于，两个约束板上的小孔呈竖直设置且其中心连线位于同一条直线上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用机械手，其特征在于，所述行程开关底部与信号杆的端部铰接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用机械手，其特征在于，所述限位螺栓的内径与信号杆外径相同，外径大于约束板小孔1-3mm。

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