CN212683935U - 一种可升降的硅片储存装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，减少了人工计数所带来的误差，适合推广。

Description

一种可升降的硅片储存装置

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，具体地说涉及一种可升降的硅片储存装置。

背景技术

半导体研磨机设备由于自身设备功能所限，导致设备整体高度较高，人员需要再一定高度的平台上取放硅片，且硅片上粘有研磨液需要进行清洗。

现有技术中，加工好的硅片放置在存放盒中，当需要时，人工从高处搬运下来，再通过清洗，使加工好的硅片转换为下一步可用的硅片，高处搬运过程难免会发生磕碰，造成硅片碎裂，同时等待清洗的时间会减慢生产效率，增加工作人员的工作负担。

因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种可升降的硅片储存装置，该装置能实现硅片从高处自动转运，同时在存储过程中直接对硅片进行清洗，提高生产效率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降。

优选的，所述框架包括横杆和竖杆组成的框架本体、设置在框架本体上齿条同侧的背板，所述背板上设置有导轨。

优选的，所述导轨设置为两个，两个导轨分别竖向设置在背板两边缘处，升降台对应导轨处设置有滑块。

优选的，所述框架还包括设置在背板对应侧竖杆上的角钢滑道。

优选的，所述角钢滑道设置为两个，两个角钢滑道分别竖向设置在竖杆上，升降台对应角钢滑道处设置有滑轮。

优选的，所述储存箱包括水箱箱体、设置在水箱箱体顶部的水箱盖、设置在水箱箱体内部的用于放置硅片的卡盒、设置在水箱箱体底部的排液口、及与排液口相连的排液管。

优选的，所述卡盒为上端无盖的长方体结构，所述卡盒侧面及底面上设置有通孔，所述通孔阵列设置。

优选的，所述卡盒设置为多个，多个卡盒存放硅片的数量相同。

优选的，所述储存箱还包括设置在水箱箱体一侧的进液口，所述水箱箱体中液位最高高度高于水箱箱体内卡盒高度。

有益效果：

本实用新型提供一种可升降的硅片储存装置，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，同时，减少了人力成本，及人工计数所带来的误差，适合推广。

附图说明

图1是本实用新型具体实施例中一种可升降硅片储存装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型具体实施例中一种可升降硅片储存装置未安装储存箱及防护罩的结构示意图；

图3是本实用新型具体实施例中一种可升降硅片储存装置的储存箱结构示意图。

附图中：100框架，110防护罩，120背板，130导轨，140角钢滑道，150加强杆，160福马轮地脚，170抓手，200升降台，300储存箱，310排液管，320水箱箱体，330水箱盖，410减速电机，420齿条。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。

如图1-图3所示为本实用新型提供一种可升降的硅片储存装置，其包括框架100、设置在框架100上的升降台200、设置于升降台200上用于存储硅片的储存箱300、及设置于升降台200底部用于抬升升降台200的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台200底部的减速电机410、与减速电机410电机轴连接的齿轮、及设置在框架100上与齿轮啮合的齿条420，减速电机410带动齿轮转动，通过齿条420的配合实现升降台200的升降，从而实现储存箱300的升降。

具体的，所述框架100包括横杆和竖杆组成的框架本体、设置在框架本体上齿条420同侧的背板120，所述背板120上设置有导轨130。

具体的，所述导轨130设置为两个，两个导轨130分别竖向设置在背板120两边缘处，升降台200对应导轨130处设置有滑块。

具体的，所述框架100还包括设置在背板130对应侧竖杆上的角钢滑道140。

具体的，所述角钢滑道140设置为两个，两个角钢滑道140分别竖向设置在竖杆上，升降台200对应角钢滑道140处设置有滑轮。

具体的，所述储存箱300包括水箱箱体320、设置在水箱箱体320顶部的水箱盖330、设置在水箱箱体320内部的用于放置硅片的卡盒、设置在水箱箱体320底部的排液口、及与排液口相连的排液管310。

具体的，所述卡盒为上端无盖的长方体结构，所述卡盒侧面及底面上设置有通孔，所述通孔阵列设置，确保水箱中的清洗液能顺利进入卡盒中，对卡盒中的硅片进行清洗。

具体的，所述卡盒设置为多个，多个卡盒存放硅片的数量相同，由于研磨出的硅片规格统一，因此使用同一规格的卡盒，能确保每个卡盒装入硅片的数量相同，减少人工技术硅片数量而产生的误差，同时提高效率。

根据研磨硅片尺寸的不同，设置有多种类型的卡盒，优选实施例中，所述卡盒包括三种，分别对应研磨6英寸硅片、研磨8英寸硅片、以及研磨12英寸硅片，根据当前研磨机研磨硅片尺寸，选用适当地卡盒进行盛装。

具体的，所述储存箱300还包括设置在水箱箱体320一侧的进液口，所述水箱箱体320中液位最高高度高于水箱箱体320内卡盒高度。

优选实施例中，所述框架100还包括福马轮地脚160，设置福马轮地脚160可使储存装置自由移动到所需进行存放硅片的位置，且能将储存装置固定，避免由于减速电机410振动造成储存装置发生位移，影响硅片的储存。

优选实施例中，所述框架100外侧下半部设置有防护罩110，所述防护罩110的高度高于升降台200提升到最大高度后减速电机410的高度，确保在本硅片储存装置运行时减速电机410不会漏出，造成意外对人产生伤害。

具体的，所述防护罩110通过螺栓固定在框架100上，便于进行拆卸，在减速电机410或齿轮产生故障时，能够快速拆卸防护罩110，对相应位置进行检查维修。

优选实施例中，所述框架100下半部被防护罩110遮盖部分设置有Z型排列的加强杆150，对储存装置进行支撑，确保储存装置的稳固性。

优选实施例中，所述框架100顶端设置有能够方便工作人员推动的抓手170。

优选实施例中，所述滑轮为单滚轮结构，所述单滚轮中间设置有卡槽，卡接在角钢滑道140上，确保单滚轮不易脱出角钢滑道，保证了滑轮与角钢滑道140之间的稳定性，同时能够提高储存能力，避免因储存的硅片过重造成滑轮自动从角钢滑道140滑出。

在另一实施例中，所述滑轮为三滚轮结构，三个滚轮分别与角钢滑道140的三个方向进行接触，使滑轮半包围住角钢滑道140，保证滑轮的稳定性，确保滑轮不会脱出角钢滑道140，提高储存装置的储存能力。

优选实施例中，所述水箱箱体320底部设置有重量感应开关，由于硅片的规格同一，且卡盒放置硅片数量相同，因此当未放硅片及放满硅片后，水箱箱体320底部重量感应开关所感应的重量会在某个区间内，将重量感应开关与减速电机410控制器进行连接，并设置在控制减速电机410控制器启动减速电机410进行下降及抬升的重量范围区间，当储存箱300中储存满硅片后，重量感应开关感应到重量达到设定的下降重量范围区间，使减速电机410启动，带动齿轮与齿条420配合，为下降提供了相应的动力，配合滑块与滑轮，使升降台200下降，从而带动储存箱300下降。

优选实施例中，当硅片从储存箱300中取出后，重量感应开关感应到重量达到设定地抬升重量范围区间，是减速电机410启动，带动齿轮与齿条420配合，为生生提供相应的动力，配合滑块与滑轮，是升降台200上升，从而带动储存箱300上升。

优选实施例中，所述背板120顶部设置有第一光电开关，所述储存箱300对应第一光电开关处设置有第一挡光板，所述第一光电开关与减速电机410控制器控制连接，当减速电机410带动储存箱300上升到第一挡光板遮盖住第一光电开关时，第一光电开关控制减速电机410停止运行，使储存箱300自动停止到需要放置硅片的工位，避免了人工控制所造成的停机高度的误差，确保了工序的顺利进行。

优选实施例中，所述背板120底部设置有第二光电开关，所述储存箱300对应第二光电开关处设置有第二挡光板，所述第二光电开关与减速电机410控制器控制连接，当减速电机410带动存储箱下降到第二挡光板遮盖住第二光电开关时，第二光电开关控制减速电机410停止运行，是储存箱300自动停止到回收硅片工位，避免了人工控制所造成的停机高度误差，确保了工序的顺利进行。

优选实施例中，所述进液口上设置有第一电磁阀及流量计，所述第一电磁阀与第一光电开关控制连接，在第一光电开关被第一挡光板遮盖从而控制减速电机410停止运行的同时，控制第一电磁阀打开，使用于清洗硅片上研磨液的清洗液流入水箱箱体320当中。

优选实施例中，所述流量计与第一电磁阀控制连接，预先设定流量计流量，流入水箱箱体320中的清洗液到达预设流量后，流量计控制第一电磁阀关闭，停止继续从进液口注入清洗液。

在一些实施例中，所述水箱箱体320中设置有用于搅动清洗液的搅动装置，使清洗液与粘有研磨液的硅片充分地混合搅动，使硅片上的研磨液充分清洗。

优选实施例中，所述排液口上设置有第二电磁阀，所述第二电磁阀与第二光电开关控制连接，在第二光电开关被第二挡光板遮盖从而控制减速机停止运行的同时，控制第二电磁阀打开，使清洗后的清洗液通过排液口及与排液口相连的排液管310排出。

优选实施例中，所述储存箱300箱底外侧设置有限位凸起，所述升降台200对应储存箱300上的限位凸起设置有限位凹槽，所述限位凸起设置在储存箱300箱底外侧四角，所述限位凹槽设置在升降台200四角。

本实施例具体实施过程如下：

将卡盒依次放入到水箱箱体320中，关闭水箱盖330，组成完整的储存箱300，将储存箱300放置在升降台200上，启动开关，减速电机410带动齿轮沿齿条420向上运动，伴随滑轮与滑块同步向上运动，带动升降台200及升降台200上的储存箱300上升，当储存箱300上升到一定高度时第一挡光板到达第一光电开关同一高度，遮挡第一光电开关，第一光电开关控制减速机停止运行，使储存箱300停于硅片放置工位，同时控制第一电磁阀打开，使用于清洗硅片上研磨液的清洗液流入到水箱箱体320中，到达规定的流量后，流量计控制第一电磁阀关闭，将水箱盖330向前推开，供工作人员放入硅片，当所有硅片均放入卡盒后，重量感应器感应到储存箱300重量达到设定的下降重量范围区间，减速电机410启动，带动齿轮沿齿条420向下运动，从而带动储存箱300下降，下降过程中搅动装置进行搅动，使清洗液充分混合搅动产生对流，使硅片上的研磨液进行充分清洗，当储存箱300下降到一定高度时，第二挡光板到达与第二光电开关同一高度，遮挡第二光电开关，第二光电开关控制减速电机410停止运行，是储存箱300停于回收硅片工位，同时控制第二电磁阀打开，使用后的清洗液通过排液口及与排液口相连的排液管310排出，排出后工作人员将存有硅片的卡盒取出，放入新卡盒，重量感应开关感应到重量达到设定地抬升重量范围区间，启动减速电机410，向上运动，实现半自动的硅片储存与清洗，解放了人工，提高了效率，同时由于卡盒内放置硅片数量一定，减少了对硅片的计数工作，避免了计数误差。

以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。

Claims (9)

1.一种可升降的硅片储存装置，其特征在于，包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降。

2.根据权利要求1所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述框架包括横杆和竖杆组成的框架本体、设置在框架本体上齿条同侧的背板，所述背板上设置有导轨。

3.根据权利要求2所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述导轨设置为两个，两个导轨分别竖向设置在背板两边缘处，升降台对应导轨处设置有滑块。

4.根据权利要求2所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述框架还包括设置在背板对应侧竖杆上的角钢滑道。

5.根据权利要求4所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述角钢滑道设置为两个，两个角钢滑道分别竖向设置在竖杆上，升降台对应角钢滑道处设置有滑轮。

6.根据权利要求1所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述储存箱包括水箱箱体、设置在水箱箱体顶部的水箱盖、设置在水箱箱体内部的用于放置硅片的卡盒、设置在水箱箱体底部的排液口、及与排液口相连的排液管。

7.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述卡盒为上端无盖的长方体结构，所述卡盒侧面及底面上设置有通孔，所述通孔阵列设置。

8.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述卡盒设置为多个，多个卡盒存放硅片的数量相同。

9.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述储存箱还包括设置在水箱箱体一侧的进液口，所述水箱箱体中液位最高高度高于水箱箱体内卡盒高度。

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