CN212651639U - 一种多种特殊气体混合的手动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于供气控制设备技术领域。本实用新型公开了一种多种特殊气体混合的手动装置，包括吹扫模块(1)、左供气模块(2)、右供气模块(3)；所述吹扫模块(1)设有中气管(10)、高压球阀(12)、单向阀(13)、真空发生器(14)、阻火器(15)；本实用新型的有益效果在于：本设计采用左供气模块、右供气模块对称，可相互独立、可自由供应；机械控制，安全便捷，维护成本低廉；设有紧急切断功能，供气盘面可接泄露侦测，泄露气体时联动侦测，由气动隔膜阀切断气源，安全高效；吹扫模块对更换钢瓶更加完全，也兼顾了工艺气体的纯净度。

Description

一种多种特殊气体混合的手动装置

技术领域

本实用新型涉及供气控制设备技术领域，特别涉及一种多种特殊气体混合的手动装置。

背景技术

特殊气体如H2即氢气、C2H2即乙炔、CH4即甲烷、C2H4即乙烯等属于易燃易爆性气体，高危特殊气体如SiH4即硅烷、PH3即磷烷等是自燃性气体。越来越多的特气使用在IC芯片、新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业中。各行各业由于工艺的差异，有些设备同时还会使用到诸如NH3即氨气、HCl即氯化氢、N2O即笑气、Cl2即氯气等毒性、腐蚀性的气体。

结合工艺气体复杂危险的性质，要解决以下问题：一、两种特殊气体既要用，又要安全高效；二、同时面临现场场地大小制约，如果分开供应，那么可能场地受限；三、维护成本高。

针对以上问题，要同时使用两种或者以上种类的特殊气体，现有的生产中缺少一种供气装置。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种多种特殊气体混合的手动装置，其采用左供气模块、右供气模块对称，可相互独立、可自由供应；机械控制，安全便捷，维护成本低廉；安全高效；吹扫模块对更换钢瓶更加完全，也兼顾了工艺气体的纯净度。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种多种特殊气体混合的手动装置，包括吹扫模块、左供气模块、右供气模块；所述吹扫模块设有中气管、高压球阀、单向阀、真空发生器、阻火器；所述中气管设有第一中气管、第二中气管、第三中气管、第四中气管、第五中气管、第六中气管、第七中气管、第八中气管、第九中气管、第十中气管、第十一中气管、第十二中气管；所述高压球阀设有第一高压球阀、第二高压球阀、第三高压球阀、第四高压球阀；所述左供气模块设有左气管、左高压手动隔膜阀、左高压调压阀、左低压气动隔膜阀；所述左气管设有左猪尾气管、第一左气管、第二左气管、第三左气管、第四左气管；所述左高压调压阀设有左高压压力表、左低压压力表；所述右供气模块设有右气管、右高压手动隔膜阀、右高压调压阀、右低压气动隔膜阀；所述右气管设有右猪尾气管、第一右气管、第二右气管、第三右气管、第四右气管；所述右高压调压阀设有右高压压力表、右低压压力表。

进一步说，所述第一中气管连接第一高压球阀，所述第一高压球阀连接第二中气管，所述第二中气管连接单向阀，所述单向阀连接第三中气管，所述第三中气管分连接第四中气管、第五中气管、第六中气管，所述第四中气管连接第二高压球阀，所述第二高压球阀连接第七中气管，所述第六中气管连接第三高压球阀，所述第三高压球阀连接第八中气管，所述第五中气管连接真空发生器，所述真空发生器连接第九中气管、第十中气管，所述第九中气管连接阻火器，所述阻火器连接第十一中气管，所述第十中气管连接第四高压球阀，所述第四高压球阀连接第十二中气管。

进一步说，所述左猪尾气管分连接第一左气管、第七中气管，所述第一左气管连接左高压手动隔膜阀，所述左高压手动隔膜阀连接第二左气管，所述第二左气管连接左高压调压阀，所述左高压调压阀连接第三左气管，所述第三左气管连接左低压气动隔膜阀，所述左低压气动隔膜阀连接第四左气管。

进一步说，所述右猪尾气管分连接第一右气管、第八中气管，所述第一右气管连接右高压手动隔膜阀，所述右高压手动隔膜阀连接第二右气管，所述第二右气管连接右高压调压阀，所述右高压调压阀连接第三右气管，所述第三右气管连接右低压气动隔膜阀，所述右低压气动隔膜阀连接第四右气管。

进一步说，所述第一中气管、第十二中气管为N2即氮气进气管；所述左猪尾气管、右猪尾气管分别为不同的特殊气体进气管；所述第四左气管、第四右气管、第十一中气管为出气管。

本实用新型的有益效果在于：本设计采用左供气模块、右供气模块对称，可相互独立、可自由供应；机械控制，安全便捷，维护成本低廉；设有紧急切断功能，供气盘面可接泄露侦测，泄露气体时联动侦测，由气动隔膜阀切断气源，安全高效；吹扫模块对更换钢瓶更加完全，也兼顾了工艺气体的纯净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

如图1所示，所述一种多种特殊气体混合的手动装置，包括吹扫模块1、左供气模块2、右供气模块3；所述吹扫模块1设有中气管10、高压球阀12、单向阀13、真空发生器14、阻火器15；所述中气管10设有第一中气管101、第二中气管102、第三中气管103、第四中气管104、第五中气管105、第六中气管106、第七中气管107、第八中气管108、第九中气管109、第十中气管110、第十一中气管111、第十二中气管112；所述高压球阀12设有第一高压球阀121、第二高压球阀122、第三高压球阀123、第四高压球阀124；所述左供气模块2设有左气管20、左高压手动隔膜阀22、左高压调压阀23、左低压气动隔膜阀24；所述左气管20设有左猪尾气管200、第一左气管201、第二左气管202、第三左气管203、第四左气管204；所述左高压调压阀23设有左高压压力表231、左低压压力表232；所述右供气模块3设有右气管30、右高压手动隔膜阀32、右高压调压阀33、右低压气动隔膜阀34；所述右气管30设有右猪尾气管300、第一右气管301、第二右气管302、第三右气管303、第四右气管304；所述右高压调压阀33设有右高压压力表331、右低压压力表332；具体本装置设有紧急切断功能，控制箱收到“紧急停止”信号后，自动关闭对应的左低压气动隔膜阀24、右低压气动隔膜阀34，实现紧切断供气。在本装置接有泄漏侦测器，一旦有泄漏，侦测器会给出一个信号，可以把这个信号与急停开关的信号并联接入控制箱，控制箱收到“泄漏”信号后，自动关闭对应的左低压气动隔膜阀24、右低压气动隔膜阀34，实现紧切断供气。

如图1所示，所述第一中气管101连接第一高压球阀121，所述第一高压球阀121连接第二中气管102，所述第二中气管102连接单向阀13，所述单向阀13连接第三中气管103，所述第三中气管103分连接第四中气管104、第五中气管105、第六中气管106，所述第四中气管104连接第二高压球阀122，所述第二高压球阀122连接第七中气管107，所述第六中气管106连接第三高压球阀123，所述第三高压球阀123连接第八中气管108，所述第五中气管105连接真空发生器14，所述真空发生器14连接第九中气管109、第十中气管110，所述第九中气管109连接阻火器15，所述阻火器15连接第十一中气管111，所述第十中气管110连接第四高压球阀124，所述第四高压球阀124连接第十二中气管112。

如图1所示，所述左猪尾气管200分连接第一左气管201、第七中气管107，所述第一左气管201连接左高压手动隔膜阀22，所述左高压手动隔膜阀22连接第二左气管202，所述第二左气管202连接左高压调压阀23，所述左高压调压阀23连接第三左气管203，所述第三左气管203连接左低压气动隔膜阀24，所述左低压气动隔膜阀24连接第四左气管204。

如图1所示，所述右猪尾气管300分连接第一右气管301、第八中气管108，所述第一右气管301连接右高压手动隔膜阀32，所述右高压手动隔膜阀32连接第二右气管302，所述第二右气管302连接右高压调压阀33，所述右高压调压阀33连接第三右气管303，所述第三右气管303连接右低压气动隔膜阀34，所述右低压气动隔膜阀34连接第四右气管304。

如图1所示，所述第一中气管101、第十二中气管112为N2即氮气进气管；所述左猪尾气管200、右猪尾气管300分别为不同的特殊气体进气管；所述第四左气管204、第四右气管304、第十一中气管111为出气管。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种多种特殊气体混合的手动装置，其特征在于，包括吹扫模块(1)、左供气模块(2)、右供气模块(3)；所述吹扫模块(1)设有中气管(10)、高压球阀(12)、单向阀(13)、真空发生器(14)、阻火器(15)；所述中气管(10)设有第一中气管(101)、第二中气管(102)、第三中气管(103)、第四中气管(104)、第五中气管(105)、第六中气管(106)、第七中气管(107)、第八中气管(108)、第九中气管(109)、第十中气管(110)、第十一中气管(111)、第十二中气管(112)；所述高压球阀(12)设有第一高压球阀(121)、第二高压球阀(122)、第三高压球阀(123)、第四高压球阀(124)；所述左供气模块(2)设有左气管(20)、左高压手动隔膜阀(22)、左高压调压阀(23)、左低压气动隔膜阀(24)；所述左气管(20)设有左猪尾气管(200)、第一左气管(201)、第二左气管(202)、第三左气管(203)、第四左气管(204)；所述左高压调压阀(23)设有左高压压力表(231)、左低压压力表(232)；所述右供气模块(3)设有右气管(30)、右高压手动隔膜阀(32)、右高压调压阀(33)、右低压气动隔膜阀(34)；所述右气管(30)设有右猪尾气管(300)、第一右气管(301)、第二右气管(302)、第三右气管(303)、第四右气管(304)；所述右高压调压阀(33)设有右高压压力表(331)、右低压压力表(332)。

2.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合的手动装置，其特征在于，所述第一中气管(101)连接第一高压球阀(121)，所述第一高压球阀(121)连接第二中气管(102)，所述第二中气管(102)连接单向阀(13)，所述单向阀(13)连接第三中气管(103)，所述第三中气管(103)分连接第四中气管(104)、第五中气管(105)、第六中气管(106)，所述第四中气管(104)连接第二高压球阀(122)，所述第二高压球阀(122)连接第七中气管(107)，所述第六中气管(106)连接第三高压球阀(123)，所述第三高压球阀(123)连接第八中气管(108)，所述第五中气管(105)连接真空发生器(14)，所述真空发生器(14)连接第九中气管(109)、第十中气管(110)，所述第九中气管(109)连接阻火器(15)，所述阻火器(15)连接第十一中气管(111)，所述第十中气管(110)连接第四高压球阀(124)，所述第四高压球阀(124)连接第十二中气管(112)。

3.根据权利要求2所述一种多种特殊气体混合的手动装置，其特征在于，所述左猪尾气管(200)分连接第一左气管(201)、第七中气管(107)，所述第一左气管(201)连接左高压手动隔膜阀(22)，所述左高压手动隔膜阀(22)连接第二左气管(202)，所述第二左气管(202)连接左高压调压阀(23)，所述左高压调压阀(23)连接第三左气管(203)，所述第三左气管(203)连接左低压气动隔膜阀(24)，所述左低压气动隔膜阀(24)连接第四左气管(204)。

4.根据权利要求3所述一种多种特殊气体混合的手动装置，其特征在于，所述右猪尾气管(300)分连接第一右气管(301)、第八中气管(108)，所述第一右气管(301)连接右高压手动隔膜阀(32)，所述右高压手动隔膜阀(32)连接第二右气管(302)，所述第二右气管(302)连接右高压调压阀(33)，所述右高压调压阀(33)连接第三右气管(303)，所述第三右气管(303)连接右低压气动隔膜阀(34)，所述右低压气动隔膜阀(34)连接第四右气管(304)。

5.根据权利要求4所述一种多种特殊气体混合的手动装置，其特征在于，所述第一中气管(101)、第十二中气管(112)为N2即氮气进气管；所述左猪尾气管(200)、右猪尾气管(300)分别为不同的特殊气体进气管；所述第四左气管(204)、第四右气管(304)、第十一中气管(111)为出气管。

Images