CN212651771U - 一种多种特殊气体混合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于供气控制设备技术领域。本实用新型公开了一种多种特殊气体混合装置，包括气管(100)、气动隔膜阀(200)、小转接头(300)、压力传感器(40)、调压阀(50)、压力表(60)、真空发生器(70)、大转接头(80)、高压球阀(90)；本实用新型的有益效果在于：本设计使用户要将H2即氢气、CH4即甲烷，两性质相容的特殊气体要一起使用时，传统日常一瓶气可以满足生产实验的前提下，可以抛弃原来一气一格的方式，而使用本设计的装置将两种气体一起供应，使用方便、使用占地小、成本低，节约了资源；且日常的两种气体供应过程采用全自动控制，高效便捷，减少了人工成本。

Description

一种多种特殊气体混合装置

技术领域

本实用新型涉及供气控制设备技术领域，特别涉及一种多种特殊气体混合装置。

背景技术

特殊气体如H2即氢气、C2H2即乙炔、CH4即甲烷、C2H4即乙烯等属于易燃易爆性气体，高危特殊气体如SiH4即硅烷、PH3即磷烷等是自燃性气体。越来越多的特气使用在IC芯片、新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业中。各行各业由于工艺的差异，有些设备同时还会使用到诸如NH3即氨气、HCl即氯化氢、N2O即笑气、Cl2即氯气等毒性、腐蚀性的气体。

结合工艺气体复杂危险的性质，要解决以下问题：一、两种特殊气体既要用，又要安全高效；二、同时面临现场场地大小制约，项目经费等诸多问题；三、如果分开供应，那么可能场地受限，或者经费超支；四、如果合并供应，现有市面主流方案又不达标。

针对以上问题，要同时使用两种或者以上种类的特殊气体，现有的生产中缺少一种供气装置。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种多种特殊气体混合装置，其将两种气体一起供应，使用方便、使用占地小、成本低，节约了资源；供应过程采用全自动控制，高效便捷，减少了人工成本。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种多种特殊气体混合装置，包括气管、气动隔膜阀、小转接头、压力传感器、调压阀、压力表、真空发生器、大转接头、高压球阀；所述气管设有第一进气管、第一左气管、第二左气管、第三左气管、第四左气管、第五左气管、第六左气管、第七左气管、第八左气管、第九左气管、第十左气管、第十一左气管、第十二左气管、第十三左气管、第一右气管、第二右气管、第三右气管、第四右气管、第五右气管、第六右气管、第七右气管、第八右气管、第九右气管、第十右气管、第十一右气管、第十二右气管、第十三右气管；所述气动隔膜阀设有第一左气动隔膜阀、第二左气动隔膜阀、第三左气动隔膜阀、第四左气动隔膜阀、第五左气动隔膜阀、第一右气动隔膜阀、第二右气动隔膜阀、第三右气动隔膜阀、第四右气动隔膜阀、第五右气动隔膜阀；所述小转接头设有第一左小转接头、第二左小转接头、第三左小转接头、第四左小转接头、第五左小转接头、第六左小转接头、第七左小转接头、第一右小转接头、第二右小转接头、第三右小转接头、第四右小转接头、第五右小转接头、第六右小转接头、第七右小转接头；所述压力传感器设有左压力传感器、右压力传感器；所述调压阀设有左调压阀、右调压阀；所述压力表设有左压力表、右压力表；所述真空发生器设有左真空发生器、右真空发生器；所述大转接头设有左大转接头、右大转接头。

进一步说，所述第一进气管分连接第一左气管、第一右气管；所述第一左气管连接第一左气动隔膜阀，所述第一左气动隔膜阀再接第二左气管，所述第二左气管分连接第三左气管、第一左小转接头、第四左气管、第五左气管，所述第三左气管连接第二左气动隔膜阀，所述第四左气管分连接第二左小转接头、第三左气动隔膜阀，所述第五左气管连接第四左气动隔膜阀；所述第二左气动隔膜阀连接第六左气管，所述第二左小转接头连接左压力传感器，所述第三左气动隔膜阀连接第七左气管，所述第四左气动隔膜阀连接第八左气管，所述第八左气管连接第三左小转接头，所述第三左小转接头连接左调压阀，所述左调压阀连接第四左小转接头，所述第四左小转接头连接第九左气管，所述第九左气管分连接第五左小转接头，所述第五左小转接头连接左压力表，所述第六左气管分连接第十左气管、第十一左气管，所述第七左气管连接第七左小转接头，所述第十一左气管连接第五左气动隔膜阀，所述第五左气动隔膜阀连接第十二左气管，所述第十二左气管连接第六左小转接头，所述左真空发生器连接第六左小转接头、第七左小转接头、左大转接头，所述左大转接头连接第十三左气管；同理，所述第一右气管连接第一右气动隔膜阀，所述第一右气动隔膜阀连接第二右气管，所述第二右气管分连接第三右气管、第一右小转接头、第四右气管、第五右气管，所述第三右气管连接第二右气动隔膜阀，所述第四右气管分连接第二右小转接头、第三右气动隔膜阀，所述第五右气管连接第四右气动隔膜阀，所述第二右气动隔膜阀连接第六右气管，所述第二右小转接头连接右压力传感器，所述第三右气动隔膜阀连接第七右气管，所述第四右气动隔膜阀连接第八右气管，所述第八右气管连接第三右小转接头，所述第三右小转接头连接右调压阀，所述右调压阀连接第四右小转接头，所述第四右小转接头连接第九右气管，所述第九右气管分连接第五右小转接头，所述第五右小转接头连接右压力表，所述第六右气管分连接第十右气管、第十一右气管，所述第七右气管连接第七右小转接头，所述第十一右气管连接第五右气动隔膜阀，所述第五右气动隔膜阀连接第十二右气管，所述第十二右气管连接第六右小转接头，所述右真空发生器连接第六右小转接头、第七右小转接头、右大转接头，所述右大转接头连接第十三右气管；所述第十右气管分连接高压球阀；所述第十左气管连接第十右气管。

进一步说，所述第九左气管、第十三左气管、第九右气管、第十三右气管为出气管；所述第一进气管连接HPAr即高压氩气进气管，所述高压球阀连接LPAr即低压氩气进气管，所述第一左小转接头连接H2即氢气进气管，所述第一右小转接头连接CH4即甲烷进气管。

进一步说，所述气动隔膜阀为高压气动隔膜阀。

进一步说，所述小转接头为密封过渡转接头。

进一步说，所述压力传感器为高压压力传感器。

进一步说，所述压力表为低压压力表。

进一步说，所述大转接头为密封过渡转接头。

本实用新型的有益效果在于：本设计使用户要将H2即氢气、CH4即甲烷，两性质相容的特殊气体要一起使用时，传统日常一瓶气可以满足生产实验的前提下，可以抛弃原来一气一格的方式，而使用本设计的装置将两种气体一起供应，使用方便、使用占地小、成本低，节约了资源；且日常的两种气体供应过程采用全自动控制，高效便捷，减少了人工成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

如图1所示，所述一种多种特殊气体混合装置，包括气管100、气动隔膜阀200、小转接头300、压力传感器40、调压阀50、压力表60、真空发生器70、大转接头80、高压球阀90；所述气管100设有第一进气管101、第一左气管111、第二左气管112、第三左气管113、第四左气管114、第五左气管115、第六左气管116、第七左气管117、第八左气管118、第九左气管119、第十左气管120、第十一左气管121、第十二左气管122、第十三左气管123、第一右气管131、第二右气管132、第三右气管133、第四右气管134、第五右气管135、第六右气管136、第七右气管137、第八右气管138、第九右气管139、第十右气管140、第十一右气管141、第十二右气管142、第十三右气管143；所述气动隔膜阀200设有第一左气动隔膜阀211、第二左气动隔膜阀212、第三左气动隔膜阀213、第四左气动隔膜阀214、第五左气动隔膜阀215、第一右气动隔膜阀221、第二右气动隔膜阀222、第三右气动隔膜阀223、第四右气动隔膜阀224、第五右气动隔膜阀225；所述小转接头300设有第一左小转接头311、第二左小转接头312、第三左小转接头313、第四左小转接头314、第五左小转接头315、第六左小转接头316、第七左小转接头317、第一右小转接头321、第二右小转接头322、第三右小转接头323、第四右小转接头324、第五右小转接头325、第六右小转接头326、第七右小转接头327；所述压力传感器40设有左压力传感器41、右压力传感器42；所述调压阀50设有左调压阀51、右调压阀52；所述压力表60设有左压力表61、右压力表62；所述真空发生器70设有左真空发生器71、右真空发生器72；所述大转接头80设有左大转接头81、右大转接头82。

如图1所示，所述第一进气管101分连接第一左气管111、第一右气管131；所述第一左气管111连接第一左气动隔膜阀211，所述第一左气动隔膜阀211再接第二左气管112，所述第二左气管112分连接第三左气管113、第一左小转接头311、第四左气管114、第五左气管115，所述第三左气管113连接第二左气动隔膜阀212，所述第四左气管114分连接第二左小转接头312、第三左气动隔膜阀213，所述第五左气管115连接第四左气动隔膜阀214；所述第二左气动隔膜阀212连接第六左气管116，所述第二左小转接头312连接左压力传感器41，所述第三左气动隔膜阀213连接第七左气管117，所述第四左气动隔膜阀214连接第八左气管118，所述第八左气管118连接第三左小转接头313，所述第三左小转接头313连接左调压阀51，所述左调压阀51连接第四左小转接头314，所述第四左小转接头314连接第九左气管119，所述第九左气管119分连接第五左小转接头315，所述第五左小转接头315连接左压力表61，所述第六左气管116分连接第十左气管120、第十一左气管121，所述第七左气管117连接第七左小转接头317，所述第十一左气管121连接第五左气动隔膜阀215，所述第五左气动隔膜阀215连接第十二左气管122，所述第十二左气管122连接第六左小转接头316，所述左真空发生器71连接第六左小转接头316、第七左小转接头317、左大转接头81，所述左大转接头81连接第十三左气管123；同理，所述第一右气管131连接第一右气动隔膜阀221，所述第一右气动隔膜阀221连接第二右气管132，所述第二右气管132分连接第三右气管133、第一右小转接头321、第四右气管134、第五右气管135，所述第三右气管133连接第二右气动隔膜阀222，所述第四右气管134分连接第二右小转接头322、第三右气动隔膜阀223，所述第五右气管135连接第四右气动隔膜阀224，所述第二右气动隔膜阀222连接第六右气管136，所述第二右小转接头322连接右压力传感器42，所述第三右气动隔膜阀223连接第七右气管137，所述第四右气动隔膜阀224连接第八右气管138，所述第八右气管138连接第三右小转接头323，所述第三右小转接头323连接右调压阀52，所述右调压阀52连接第四右小转接头324，所述第四右小转接头324连接第九右气管139，所述第九右气管139分连接第五右小转接头325，所述第五右小转接头325连接右压力表62，所述第六右气管136分连接第十右气管140、第十一右气管141，所述第七右气管137连接第七右小转接头327，所述第十一右气管141连接第五右气动隔膜阀225，所述第五右气动隔膜阀225连接第十二右气管142，所述第十二右气管142连接第六右小转接头326，所述右真空发生器72连接第六右小转接头326、第七右小转接头327、右大转接头82，所述右大转接头82连接第十三右气管143；所述第十右气管140分连接高压球阀90；所述第十左气管120连接第十右气管140。

如图1所示，所述第九左气管119、第十三左气管123、第九右气管139、第十三右气管143为出气管；所述第一进气管101连接HPAr即高压氩气进气管，所述高压球阀90连接LPAr即低压氩气进气管，所述第一左小转接头311连接H2即氢气进气管，所述第一右小转接头321连接CH4即甲烷进气管。

如图1所示，所述气动隔膜阀200为高压气动隔膜阀，且可为MVCR高压气动隔膜阀；具体MVCR为VCR接头的公螺纹，VCR是一种基于金属面密封的接头，是目前行业内气密性最好的接头联接方式。

如图1所示，所述小转接头300为密封过渡转接头；具体可为FVCR三件套，FVCR为VCR接头的母螺纹，VCR是一种基于金属面密封的接头，是目前行业内气密性最好的接头联接方式。

如图1所示，所述压力传感器40为高压压力传感器。

如图1所示，所述压力表60为低压压力表。

如图1所示，所述大转接头80为密封过渡转接头；具体可为VCR三件，VCR接头为一种基于金属面密封的联接形式，分为公螺纹、外螺纹对应的套管、密封垫片、母螺纹、母螺纹对应的套管五个部分，利用公母螺纹拧紧拉动两者，对应的套管压紧中间的密封垫片进行密封，是目前行业内最好的密封方式。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，包括气管(100)、气动隔膜阀(200)、小转接头(300)、压力传感器(40)、调压阀(50)、压力表(60)、真空发生器(70)、大转接头(80)、高压球阀(90)；所述气管(100)设有第一进气管(101)、第一左气管(111)、第二左气管(112)、第三左气管(113)、第四左气管(114)、第五左气管(115)、第六左气管(116)、第七左气管(117)、第八左气管(118)、第九左气管(119)、第十左气管(120)、第十一左气管(121)、第十二左气管(122)、第十三左气管(123)、第一右气管(131)、第二右气管(132)、第三右气管(133)、第四右气管(134)、第五右气管(135)、第六右气管(136)、第七右气管(137)、第八右气管(138)、第九右气管(139)、第十右气管(140)、第十一右气管(141)、第十二右气管(142)、第十三右气管(143)；所述气动隔膜阀(200)设有第一左气动隔膜阀(211)、第二左气动隔膜阀(212)、第三左气动隔膜阀(213)、第四左气动隔膜阀(214)、第五左气动隔膜阀(215)、第一右气动隔膜阀(221)、第二右气动隔膜阀(222)、第三右气动隔膜阀(223)、第四右气动隔膜阀(224)、第五右气动隔膜阀(225)；所述小转接头(300)设有第一左小转接头(311)、第二左小转接头(312)、第三左小转接头(313)、第四左小转接头(314)、第五左小转接头(315)、第六左小转接头(316)、第七左小转接头(317)、第一右小转接头(321)、第二右小转接头(322)、第三右小转接头(323)、第四右小转接头(324)、第五右小转接头(325)、第六右小转接头(326)、第七右小转接头(327)；所述压力传感器(40)设有左压力传感器(41)、右压力传感器(42)；所述调压阀(50)设有左调压阀(51)、右调压阀(52)；所述压力表(60)设有左压力表(61)、右压力表(62)；所述真空发生器(70)设有左真空发生器(71)、右真空发生器(72)；所述大转接头(80)设有左大转接头(81)、右大转接头(82)。

2.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述第一进气管(101)分连接第一左气管(111)、第一右气管(131)；所述第一左气管(111)连接第一左气动隔膜阀(211)，所述第一左气动隔膜阀(211)再接第二左气管(112)，所述第二左气管(112)分连接第三左气管(113)、第一左小转接头(311)、第四左气管(114)、第五左气管(115)，所述第三左气管(113)连接第二左气动隔膜阀(212)，所述第四左气管(114)分连接第二左小转接头(312)、第三左气动隔膜阀(213)，所述第五左气管(115)连接第四左气动隔膜阀(214)；所述第二左气动隔膜阀(212)连接第六左气管(116)，所述第二左小转接头(312)连接左压力传感器(41)，所述第三左气动隔膜阀(213)连接第七左气管(117)，所述第四左气动隔膜阀(214)连接第八左气管(118)，所述第八左气管(118)连接第三左小转接头(313)，所述第三左小转接头(313)连接左调压阀(51)，所述左调压阀(51)连接第四左小转接头(314)，所述第四左小转接头(314)连接第九左气管(119)，所述第九左气管(119)分连接第五左小转接头(315)，所述第五左小转接头(315)连接左压力表(61)，所述第六左气管(116)分连接第十左气管(120)、第十一左气管(121)，所述第七左气管(117)连接第七左小转接头(317)，所述第十一左气管(121)连接第五左气动隔膜阀(215)，所述第五左气动隔膜阀(215)连接第十二左气管(122)，所述第十二左气管(122)连接第六左小转接头(316)，所述左真空发生器(71)连接第六左小转接头(316)、第七左小转接头(317)、左大转接头(81)，所述左大转接头(81)连接第十三左气管(123)；同理，所述第一右气管(131)连接第一右气动隔膜阀(221)，所述第一右气动隔膜阀(221)连接第二右气管(132)，所述第二右气管(132)分连接第三右气管(133)、第一右小转接头(321)、第四右气管(134)、第五右气管(135)，所述第三右气管(133)连接第二右气动隔膜阀(222)，所述第四右气管(134)分连接第二右小转接头(322)、第三右气动隔膜阀(223)，所述第五右气管(135)连接第四右气动隔膜阀(224)，所述第二右气动隔膜阀(222)连接第六右气管(136)，所述第二右小转接头(322)连接右压力传感器(42)，所述第三右气动隔膜阀(223)连接第七右气管(137)，所述第四右气动隔膜阀(224)连接第八右气管(138)，所述第八右气管(138)连接第三右小转接头(323)，所述第三右小转接头(323)连接右调压阀(52)，所述右调压阀(52)连接第四右小转接头(324)，所述第四右小转接头(324)连接第九右气管(139)，所述第九右气管(139)分连接第五右小转接头(325)，所述第五右小转接头(325)连接右压力表(62)，所述第六右气管(136)分连接第十右气管(140)、第十一右气管(141)，所述第七右气管(137)连接第七右小转接头(327)，所述第十一右气管(141)连接第五右气动隔膜阀(225)，所述第五右气动隔膜阀(225)连接第十二右气管(142)，所述第十二右气管(142)连接第六右小转接头(326)，所述右真空发生器(72)连接第六右小转接头(326)、第七右小转接头(327)、右大转接头(82)，所述右大转接头(82)连接第十三右气管(143)；所述第十右气管(140)分连接高压球阀(90)；所述第十左气管(120)连接第十右气管(140)。

3.根据权利要求2所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述第九左气管(119)、第十三左气管(123)、第九右气管(139)、第十三右气管(143)为出气管；所述第一进气管(101)连接HPAr即高压氩气进气管，所述高压球阀(90)连接LPAr即低压氩气进气管，所述第一左小转接头(311)连接H2即氢气进气管，所述第一右小转接头(321)连接CH4即甲烷进气管。

4.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述气动隔膜阀(200)为高压气动隔膜阀。

5.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述小转接头(300)为密封过渡转接头。

6.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述压力传感器(40)为高压压力传感器。

7.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述压力表(60)为低压压力表。

8.根据权利要求1所述一种多种特殊气体混合装置，其特征在于，所述大转接头(80)为密封过渡转接头。

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