CN218153617U - 一种检测氦气回收循环利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种检测氦气回收循环利用装置，包括第一钢瓶、第二钢瓶、接头和隔膜压缩机，接头与隔膜压缩机通过第一管道相连通，第一钢瓶通过第二管道与第一管道相连通，第二钢瓶通过第三管道与第一管道相连通，隔膜压缩机通过第四管道与第二钢瓶相连通，隔膜压缩机通过第五管道与第一钢瓶相连通，第一管道靠近接头和隔膜压缩机处分别设有第六开关阀和第五开关阀；第二管道上设有第二开关阀，第三管道上设有第四开关阀，第四管道近第二钢瓶端设有第三开关阀，第五管道近第一钢瓶端设有第一开关阀。本实用新型移动方便，便于生产现场使用，同时该装置实现给待检查装置充填氦气与回收氦气为一体化，氦气回收率高，实用性广。

Description

一种检测氦气回收循环利用装置

技术领域

本实用新型属于精细化工设备技术领域，具体涉及一种检测氦气回收循环利用装置。

背景技术

随着我国半导体集成电路产业的快速发展，对高纯电子气体和精细化工产品的需求越来越多，促进精细化工生产装置和电子气体生产企业快速扩张，在精细化工和高纯电子气体产品生产过程中对装置的泄漏率要求很高，一般要求＜10-6Pa.m³/s。装置的捡漏采用氦质谱检漏仪对装置进行捡漏。

捡漏原理是装置内充入0.2-0.5MPa的氦气，利用氦质谱检漏仪对装置的各连接部位、密封部位进行捡漏。对于生产装置存在多个连接件时，往往难于一次捡漏合格，需要多次泄压紧固，每次泄压过程造成氦气浪费。氦气作为一种稀有气体，其生产成本较高，如不回收将给企业生产带来较高的成本压力。

基于此，提出了一种检测氦气回收循环利用装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种检测氦气回收循环利用装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种检测氦气回收循环利用装置，包括第一钢瓶、第二钢瓶、接头和隔膜压缩机，所述接头与隔膜压缩机通过第一管道相连通，所述第一钢瓶通过第二管道与第一管道相连通，所述第二钢瓶通过第三管道与第一管道相连通，所述隔膜压缩机通过第四管道与第二钢瓶相连通，所述隔膜压缩机通过第五管道与第一钢瓶相连通；

所述第一管道靠近接头和隔膜压缩机处分别设有第六开关阀和第五开关阀；所述第二管道上设有第二开关阀，所述第三管道上设有第四开关阀；

所述第四管道近第二钢瓶端设有第三开关阀，所述第五管道近第一钢瓶端设有第一开关阀。

进一步的，所述第一管道上还设有第一压力表，所述第四管道上靠近隔膜压缩机端处还设有第二压力表。

进一步的，所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道均为二分之一BA管。

进一步的，所述第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀和第六开关阀均为二分之一隔膜阀。

进一步的，所述隔膜压缩机为单级隔膜压缩机。

进一步的，所述第一钢瓶和第二钢瓶均为47升碳钢钢瓶。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

本实用新型中盛装有氦气的第一钢瓶和第二钢瓶及隔膜压缩机通过多组管道和开关阀组织一套便携式装置，移动方便，便于生产现场使用，同时该装置实现给待检查装置充填氦气与回收氦气为一体化，氦气回收率高，操作方便，实用性广。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

附图标记说明：

1-第一钢瓶；2-第二钢瓶；3-隔膜压缩机；4-第一开关阀；5-第二开关阀；6-第三开关阀；7-第四开关阀；8-第五开关阀；9-第六开关阀；10-第一压力表；11-接头；12-第二压力表。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供一种技术方案：一种检测氦气回收循环利用装置，包括第一钢瓶1、第二钢瓶2、接头11和隔膜压缩机3，所述第一钢瓶1和第二钢瓶2均为47升碳钢钢瓶，所述隔膜压缩机3为单级隔膜压缩机，所述接头11与隔膜压缩机3通过第一管道相连通，所述第一钢瓶1通过第二管道与第一管道相连通，所述第二钢瓶2通过第三管道与第一管道相连通，所述隔膜压缩机3通过第四管道与第二钢瓶2相连通，所述隔膜压缩机3通过第五管道与第一钢瓶1相连通；

所述第一管道靠近接头11和隔膜压缩机3处分别设有第六开关阀9和第五开关阀8；所述第二管道上设有第二开关阀5，所述第三管道上设有第四开关阀7，所述第四管道近第二钢瓶2端设有第三开关阀6，所述第五管道近第一钢瓶1端设有第一开关阀4。

所述第一管道上还设有第一压力表10，所述第四管道上靠近隔膜压缩机端3处还设有第二压力表12。

所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道均为二分之一BA管。

所述第一开关阀4、第二开关阀5、第三开关阀6、第四开关阀7、第五开关阀8和第六开关阀9均为二分之一隔膜阀。

具体实施时：接头11与待捡漏装置连接，关闭第一开关阀4、第三开关阀6、第四开关阀7和第五开关阀8。盛装有氦气的第一钢瓶1为高压供气瓶，压力为13MPa，第二钢瓶2为回收钢瓶，压力为0.1MPa。

检测时，打开第一钢瓶1的钢瓶阀，打开第六开关阀9，向待捡漏的装置充氦气至第一压力表10稳定在0.25Mpa后，关闭第二开关阀5和第六开关阀9，利用氦质谱捡漏仪进行捡漏；

捡漏结束后，打开第五开关阀8和第三开关阀6，调节第六开关阀9保证隔膜压缩机3入口前压力≤0.2MPa，启动隔膜压缩机3，再打开第二钢瓶2的钢瓶阀门，开始回收氦气，当第一压力表10降至0MPa时，回收完毕，关闭第五开关阀8，停止隔膜压缩机3运行，关闭第二钢瓶2的钢瓶阀和第三开关阀6；

连续多次使用回收后，当第一钢瓶1的压力≤0.2MPa时，第一钢瓶1作为回收钢瓶，此时第二钢瓶2因回收氦气，压力≈10MPa，可作为供气瓶使用。当两个氦气钢瓶的氦气量不能维持给待捡漏装置供气到0.2MPa时，更换其中一支氦气钢瓶。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于：包括第一钢瓶(1)、第二钢瓶(2)、接头(11)和隔膜压缩机(3)，所述接头(11)与隔膜压缩机(3)通过第一管道相连通，所述第一钢瓶(1)通过第二管道与第一管道相连通，所述第二钢瓶(2)通过第三管道与第一管道相连通，所述隔膜压缩机(3)通过第四管道与第二钢瓶(2)相连通，所述隔膜压缩机(3)通过第五管道与第一钢瓶(1)相连通；

所述第一管道靠近接头(11)和隔膜压缩机(3)处分别设有第六开关阀(9)和第五开关阀(8)；所述第二管道上设有第二开关阀(5)，所述第三管道上设有第四开关阀(7)；

所述第四管道近第二钢瓶(2)端设有第三开关阀(6)，所述第五管道近第一钢瓶(1)端设有第一开关阀(4)。

2.根据权利要求1所述的一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于，所述第一管道上还设有第一压力表(10)，所述第四管道上靠近隔膜压缩机(3) 端处还设有第二压力表(12)。

3.根据权利要求1所述的一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于，所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道均为二分之一BA管。

4.根据权利要求1所述的一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于，所述第一开关阀(4)、第二开关阀(5)、第三开关阀(6)、第四开关阀(7)、第五开关阀(8)和第六开关阀(9)均为二分之一隔膜阀。

5.根据权利要求1所述的一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于，所述隔膜压缩机(3)为单级隔膜压缩机。

6.根据权利要求1所述的一种检测氦气回收循环利用装置，其特征在于，所述第一钢瓶(1)和第二钢瓶(2)均为47升碳钢钢瓶。

Images