CN212610881U - 一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜基板温度冷却的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗。

Description

一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置

【技术领域】

本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。

【背景技术】

在真空镀膜过程中，在等离子体的长期轰击下，在溅射区域及其附近的阳极罩、箱体内部和基板会不断升高温度，同时阳极罩和箱体内部的温度的提高又会进一步对基板产生加热的效果，这对于某些要求在镀膜温度较低的环境下镀膜的基板就很不合适(比如柔性基材或者不耐高温的其他基材)，温度过高会使镀膜材质或镀膜膜层发生变质或损坏，因此需要一种能达到降低基板温度目的的冷却装置。

现有技术CN 209722284 U中采用的冷却装置是不锈钢冷水管装置，由多层不锈钢薄板组成，不锈钢薄板中间均匀排布的冷却水管，但不锈钢薄板与冷却水管仅以线接触的形式组装而成，从而使导热面积小，导热速度慢，导致基板散热速度慢，生产效率低，同时单位时间内设备的能耗利用率低。

【实用新型内容】

本实用新型针对现有冷水管装置中导热面积小，导热速度慢，导致基板散热速度慢，致使生产效率低，浪费能源的问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：

一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管为均匀排布的盘式管体，所述槽为以冷却水管的盘式走线设计的燕尾槽，所述燕尾槽的槽宽略大于冷却水管，使冷却水管能完全嵌入槽中。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管具有供冷却水流入的进水端和供冷却水流出的出水端，所述冷却水管的进水端与出水端设有连接法兰。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板、冷却水管以及防污板均使用紫铜材料。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述进水端和出水端平行且同向伸出冷却水管安装底板。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板的一边缘上开有供冷却水管进水端与出水端伸出的让位凹槽。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板与防污板大小相同且均为矩形板。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板与防污板的对应位置上设有若干连接孔，所述冷却水管安装底板与防污板通过密封圈和螺栓螺母穿过连接孔连接在需冷却的镀膜箱体内。

与现有技术相比，本实用新型有如下优点：

1、本实用新型采用了镶嵌式夹层结构，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗。

2、本实用新型采用紫铜作为材料，使用软木锤将紫铜管敲打进冷却水管安装底板的燕尾槽上，因紫铜材料硬度较软的性质，紫铜冷水管可通过外管壁变形而镶嵌于燕尾槽中，进一步的增大冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，降温效果更好。

3、本实用新型冷却水管进出水端通过焊接连接法兰，与箱体通过密封圈和螺栓密封固定，结构简单，密封性好，装拆方便。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的爆炸图；

图2为本实用新型的立体图；

图3为包括本实用新型的真空镀膜机的剖视图；

图4为图2中a的局部放大图；

图5为包括本实用新型的真空镀膜机的立体图。

【具体实施方式】

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

当本实用新型实施例提及“第一”、“第二”等序数词时，除非根据上下文其确实表达顺序之意，应当理解为仅仅是起区分之用。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-5所示，一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，包括设于镀膜箱体11内的冷却水管安装底板1、与冷却水管安装底板1拼装的防污板2以及设于所述冷却水管安装底板1与防污板2之间输送冷却水的冷却水管3，其特征在于：所述冷却水管安装底板1上设有供所述冷却水管3镶嵌于其中的槽4。采用了镶嵌式夹层结构，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得基板12的温度冷却效率加快。

进一步地，所述冷却水管3为均匀排布的盘式管体，所述槽4为以冷却水管3的盘式走线设计的燕尾槽，所述燕尾槽的槽宽略大于冷却水管3，使冷却水管3能完全嵌入槽4中。均匀排布的盘式冷却水管3，可使冷却水管3与冷却水管安装底板1的接触管长加长，即增大了接触面积，提高对基板12的冷却效果，同时采用燕尾槽能使得槽4两侧臂也可与冷却水管3接触，进一步增大了接触面积，提高冷却效果。

再进一步地，所述冷却水管3具有供冷却水流入的进水端9和供冷却水流出的出水端10，所述冷却水管3的进水端9与出水端10设有连接法兰5。所述连接法兰与镀膜箱体11之间通过螺栓固定连接，且中间夹设有密封圈增强密封性，使本实用新型具有拆卸方便、强度高、密封性能好等优点。

具体的，所述冷却水管安装底板1、冷却水管3以及防污板2均使用紫铜材料。由于紫铜材料硬度较软，塑性极好，利用软木锤将紫铜冷却水管敲打进紫铜冷却水管安装底板的槽上后，可使得冷却水管的外管变形而镶嵌于槽中，增大冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，且紫铜材料的导热性好，大大的提高了冷却效果，同时紫铜具有良好的耐蚀性，能避免装置被冷却液腐蚀损坏装置的情况。

更具体地，所述进水端9和出水端10平行且同向伸出冷却水管安装底板1。进水端9与出水端10平行同向伸出即能方便焊接连接法兰5，方便与冷却水的连接，而且减少所占空间。

再进一步地，所述冷却水管安装底板1的一边缘上开有供冷却水管3进水端9与出水端10伸出的让位凹槽8。开设让位凹槽8供冷却水管3的进出水管两端伸出，结构简单合理，使冷却水管安装底板1与箱体接触更紧密。

另外，所述冷却水管安装底板1与防污板2大小相同且均为矩形板。冷却水管安装底板1与防污板2大小相同且为矩形板，可使多个冷却水板能有序的排列在一起，占用空间小，对基板12的整体冷却降温效果更好。

最后，所述冷却水管安装底板1与防污板2的对应位置上设有若干连接孔6，所述冷却水管安装底板1与防污板2通过密封圈7和螺栓螺母穿过连接孔6连接在需冷却的镀膜箱体内。本实用新型通过螺栓螺母可随意拆卸，更加方便更换以及维护保养。

使用该可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置时，可采用多个装置并列一起，再使用螺栓螺母与箱体内壁螺纹孔锁紧固定并进行相应的真空密封，使得箱体内的基板上下方均有排列在一起的本实用新型的冷水板装置，向冷却水管进水端输入冷却液，冷却液穿过盘式路线的冷却水管由冷却水管出水端流出，使冷却水管安装底板冷却，吸收磁控溅射过程中产生的热量，从而降低镀膜环境温度，同时通过真空辐射吸收基板上的热量，达到需要的冷却效果，从而实现镀膜基板温度在比较低的条件下实现镀膜。

使用现有技术的冷水板装置与使用本实用新型的冷水板装置的使用效果对比如下：

对比得出，本实用新型的冷水板装置对镀膜基板的冷却效率远大于现有技术的冷水板装置对镀膜基板的冷却效率。

本实用新型采用夹层镶嵌结构，底板采用紫铜且铣出与盘式走线紫铜冷却水管一致的燕尾槽，焊接有法兰结构的紫铜冷却水管紧密镶嵌其中，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗，同时本实用新型采用紫铜作为材料，因紫铜材料硬度较软的性质，紫铜冷水管可通过外管壁变形而镶嵌于燕尾槽中，进一步的增大冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，降温效果更好，且本实用新型还具有结构简单、拆卸方便等优点，利于设备的定期更换维护。

如上所述是结合具体内容提供的一种实施方式，并不认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。凡与本实用新型的方法、结构等近似、雷同，或是对于本实用新型构思前提下做出若干技术推演或替换，都应当视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，包括设于镀膜箱体(11)内的冷却水管安装底板(1)、与冷却水管安装底板(1)拼装的防污板(2)以及设于所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)之间输送冷却水的冷却水管(3)，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)上设有供所述冷却水管(3)镶嵌于其中的槽(4)。

2.根据权利要求1所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管(3)为均匀排布的盘式管体，所述槽(4)为以冷却水管(3)的盘式走线设计的燕尾槽，所述燕尾槽的槽宽略大于冷却水管(3)，使冷却水管(3)能完全嵌入槽(4)中。

3.根据权利要求2所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管(3)具有供冷却水流入的进水端(9)和供冷却水流出的出水端(10)，所述冷却水管(3)的进水端(9)与出水端(10)设有连接法兰(5)。

4.根据权利要求3所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)、冷却水管(3)以及防污板(2)均使用紫铜材料。

5.根据权利要求4所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述进水端(9)和出水端(10)平行且同向伸出冷却水管安装底板(1)。

6.根据权利要求5所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)的一边缘上开有供冷却水管(3)进水端(9)与出水端(10)伸出的让位凹槽(8)。

7.根据权利要求6所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)大小相同且均为矩形板。

8.根据权利要求7所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)的对应位置上设有若干连接孔(6)，所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)通过密封圈(7)和螺栓螺母穿过连接孔(6)连接在需冷却的镀膜箱体内。

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