CN212566489U

CN212566489U - 一种靶材散热机构

Info

Publication number: CN212566489U
Application number: CN202021820379.8U
Authority: CN
Inventors: 时昌茹
Original assignee: Shenzhen Lvgu Ion Plating Technology Co ltd
Current assignee: Shenzhen Lvgu Ion Plating Technology Co ltd
Priority date: 2020-08-27
Filing date: 2020-08-27
Publication date: 2021-02-19
Anticipated expiration: 2030-08-27

Abstract

本实用新型涉及一种靶材散热机构，包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。本实用新型在特定工作环境中可以冷却靶面，冷却效果好，利用率高，能有效的对靶面进行降温而且可以重复利用，并且结构较为简单。

Description

一种靶材散热机构

技术领域

本实用新型涉及一种冷却系统，尤其是涉及一种靶材的冷却系统。

背景技术

水冷散热系统利用泵使散热管中的冷却液循环并进行散热。在散热器上的吸热部分（在液冷系统中称之为吸热盒）用于从发热件上吸收热量。吸热部分吸收的热量通过设计的散热器排到设备外面。

在离子发生过程中，靶材通常发热，靶材与靶面连接，因此靶面上方工作区域温度较高，故需要为靶面进行降温。现有技术中还没有使用此类型水冷散热装置对靶材进行快速换热的结构。

实用新型内容

本实用新型设计了一种靶材散热机构，其解决的技术问题是因靶面上方工作区域温度较高，故需要为靶面进行降温。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种靶材散热机构，包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。

优选地，所述进出水管道（2）设有内管（21）和外管（22），所述内管（21）位于所述外管（22）内，所述内管（21）中设有内管进水通道（24），所述内管进水通道（24）一端通过进液口（23）与外界相通，所述内管进水通道（24）另一端与所述靶面连接块（1）相通；所述内管（21）与所述外管（22）之间为外管出水通道（26），所述外管出水通道（26）一端通过出液口（27）与外界相通，所述外管出水通道（26）另一端与所述靶面连接块（1）相通，所述出液口（27）位于所述进液口（23）上方确保所述出液口（27）具有足够的液压。

优选地，所述进液口（23）为多个并且位于所述内管进水通道（24）同一截面上；所述出液口（27）多个并且位于所述外管出水通道（26）同一截面上。

优选地，所述进液口（23）为四个，所述出液口（27）也为四个，保证进出水量足够带走热量。

优选地，所述靶面连接块（1）设有换热腔（13），所述内管（21）位于所述换热腔（13）的另一端长于所述外管（22）位于所述换热腔（13）的另一端。

优选地，所述内管（21）上设有法兰（12），所述法兰（12）与所述换热腔（13）的开口相互配合并且通过第一密封圈（11）实现所述靶面连接块（1）和所述进出水管道（2）密封连接。

优选地，所述进出水装置（3）包括出液端口（31）和进液端口（32），所述出液端口（31）的开口大于与所述出液口（27）的开口，所述进液端口（32）的开口大于所述进液口（23）的开口。

优选地，所述进出水装置（3）包括一个两端开口的空腔，两端开口分别设有第一油封密封圈（33）和第二油封密封圈（35）将所述进出水管道（2）密封在其中，所述进出水管道（2）的所述出液口（27）和所述进液口（23）位于所述第一油封密封圈（33）和所述第二油封密封圈（35）之间。

优选地，所述进出水管道（2）与所述进出水装置（3）的空腔通过第二密封圈（34）进行密封。

优选地，所述出液端口（31）和所述进液端口（32）之间管道上设有冷却液存储装置以及液泵。

该靶材散热机构具有以下有益效果：

（1）本实用新型在特定工作环境中可以冷却靶面，冷却效果好，利用率高，能有效的对靶面进行降温而且可以重复利用，并且结构较为简单。

（2）本实用新型中将出液口设置在进液口上方，基于连通器原理确保出液口具有足够的液压，确保冷却液进出顺畅。

附图说明

图1：本实用新型靶材散热机构的爆炸图；

图2：本实用新型靶材散热机构的部件组装图；

图3：本实用新型靶材散热机构的进出水管道截面图；

图4：本实用新型靶材散热机构的内外管之间结构示意图；

图5：本实用新型靶材散热机构的进出水装置截面示意图；

图6：本实用新型靶材散热机构的整体剖面图。

附图标记说明：

1—靶面连接块；11—第一密封圈；12—法兰；13—换热腔；2—进出水管道；21—内管；22—外管；23—进液口；24—内管通道；25—内管出口；26—外管通道；27—出液口；3—进出水装置；31—出液端口；32—进液端口；33—第一油封密封圈；34—第二密封圈；35—第二油封密封圈。

具体实施方式

下面结合图1至图6，对本实用新型做进一步说明：

一种靶材散热机构，包括靶面连接块1、进出水管道2以及进出水装置3；进出水管道2一端与靶面连接块1连接，进出水管道2另一端与进出水装置3连接；冷却液进入进出水装置3并通过进出水管道2进入到靶面连接块1中，冷却液与靶面连接块1换热之后再通过进出水管道2从进出水装置3离开。

进出水管道2设有内管21和外管22，内管21位于外管22内，内管21中设有内管进水通道24，内管进水通道24一端通过进液口23与外界相通，内管进水通道24另一端与靶面连接块1相通；内管21与外管22之间为外管出水通道26，外管出水通道26一端通过出液口27与外界相通，外管出水通道26另一端与靶面连接块1相通，出液口27位于进液口23上方确保出液口27具有足够的液压。进液口23为多个并且位于内管进水通道24同一截面上；出液口27多个并且位于外管出水通道26同一截面上。进液口23为四个，出液口27也为四个，保证进出水量足够带走热量。

靶面连接块1设有换热腔13，内管21位于换热腔13的另一端长于外管22位于换热腔13的另一端。内管21上设有法兰12，法兰12与换热腔13的开口相互配合并且通过第一密封圈11实现靶面连接块1和进出水管道2密封连接。

进出水装置3包括出液端口31和进液端口32，出液端口31的开口大于与出液27的开口，所述进液端口32的开口大于进液口23的开口。进出水装置3包括一个两端开口的空腔，两端开口分别设有第一油封密封圈33和第二油封密封圈35将进出水管道2密封在其中，进出水管道2的出液口27和进液口23位于第一油封密封圈33和第二油封密封圈35之间。进出水管道2与进出水装置3的空腔通过第二密封圈34进行密封。

出液端口31和进液端口32之间管道上设有冷却液存储装置以及液泵。

本实用新型靶材散热机构的工作原理：

工作时，水或冷却液由进出水装置3的进液端口32进入后，进入进出水管道2的进液口32，沿着内管通道24，顺势进入靶面连接块1的换热腔13内部，利用水冷的特点对靶面进行快速降温，之后水流经过密封部分流至进出水管道2的入口，经进出水装置3的出液端口31流出，进出水管道2的内管进水通道24和外管出水通道26相互独立，并且进出水管道2部通道保持一个高度差，保证水流的正常流入流出，达到进水出水工作区域分开，形成一个完整的冷却结构。

本实用新型靶材散热机构的安装方式为：首先将法兰12安装至进出水管道2，在法兰12上装上第一密封圈11，防止水流溢出。之后再将靶面连接块1安装至法兰12上，再将进出水装置3安装至进出水管道2另外一端，至此安装完成。此结构在使用的时候，只需要让水从进水口流入，水流会经过靶面为其降温然后至出水口流出，操作便利，并且降温效果好。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性的描述，显然本实用新型的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围内。

Claims

1.一种靶材散热机构，其特征在于：包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。

2.根据权利要求1所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进出水管道（2）设有内管（21）和外管（22），所述内管（21）位于所述外管（22）内，所述内管（21）中设有内管进水通道（24），所述内管进水通道（24）一端通过进液口（23）与外界相通，所述内管进水通道（24）另一端与所述靶面连接块（1）相通；所述内管（21）与所述外管（22）之间为外管出水通道（26），所述外管出水通道（26）一端通过出液口（27）与外界相通，所述外管出水通道（26）另一端与所述靶面连接块（1）相通，所述出液口（27）位于所述进液口（23）上方确保所述出液口（27）具有足够的液压。

3.根据权利要求2所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进液口（23）为多个并且位于所述内管进水通道（24）同一截面上；所述出液口（27）多个并且位于所述外管出水通道（26）同一截面上。

4.根据权利要求3所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进液口（23）为四个，所述出液口（27）也为四个，保证进出水量足够带走热量。

5.根据权利要求4所述的靶材散热机构，其特征在于：所述靶面连接块（1）设有换热腔（13），所述内管（21）位于所述换热腔（13）的另一端长于所述外管（22）位于所述换热腔（13）的另一端。

6.根据权利要求5所述的靶材散热机构，其特征在于：所述内管（21）上设有法兰（12），所述法兰（12）与所述换热腔（13）的开口相互配合并且通过第一密封圈（11）实现所述靶面连接块（1）和所述进出水管道（2）密封连接。

7.根据权利要求6所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进出水装置（3）包括出液端口（31）和进液端口（32），所述出液端口（31）的开口大于与所述出液口（27）的开口，所述进液端口（32）的开口大于所述进液口（23）的开口。

8.根据权利要求7所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进出水装置（3）包括一个两端开口的空腔，两端开口分别设有第一油封密封圈（33）和第二油封密封圈（35）将所述进出水管道（2）密封在其中，所述进出水管道（2）的所述出液口（27）和所述进液口（23）位于所述第一油封密封圈（33）和所述第二油封密封圈（35）之间。

9.根据权利要求8所述的靶材散热机构，其特征在于：所述进出水管道（2）与所述进出水装置（3）的空腔通过第二密封圈（34）进行密封。

10.根据权利要求9所述的靶材散热机构，其特征在于：所述出液端口（31）和所述进液端口（32）之间管道上设有冷却液存储装置。