CN212542375U - 一种电子芯片酸腐蚀出硅装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，包括酸液槽，所述酸液槽顶部左侧面固接架体，所述架体侧面固接电机，所述电机转轴固接转盘，所述转盘表面边缘位置固接固定轴，所述固定轴转动连接悬挂臂；所述悬挂臂底部内部固接小型电机。本实用新型在使用时只需将硅片放置在夹持组件进行固定，启动装置后，硅片会在悬挂臂的运动下通过开口处反复进入酸液槽中，进行腐蚀出硅，自动化程度高，避免了酸液由于晃动喷溅到操作员身上的情况，此外夹持组件会在小型电机的作用下作90度间隙转动，使得硅片会反复以垂直或者水平的方式进入到酸液中，使硅片表面腐蚀均匀，保证整个硅片上所形成沟槽的一致性，提高了良品率，变相节省了成本。

Description

一种电子芯片酸腐蚀出硅装置

技术领域

本实用新型涉及芯片蚀刻技术领域，具体为一种电子芯片酸腐蚀出硅装置。

背景技术

目前，微电子技术已经进入超大规模集成电路和系统集成时代，微电子技术已经成为整个信息时代的标志和基础。微电子技术中，要制造一块集成电路，需要经过集成电路设计、掩膜板制造、原始材料制造、芯片加工、封装、测试等几道工序。在这个过程中，对半导体硅片进行酸腐蚀出硅，形成工艺沟槽，是关键的技术。常用的酸腐蚀出硅方法有湿法刻蚀和干法刻蚀两大类，其中，湿法刻蚀是将硅片沉浸在化学刻蚀剂中或将化学刻蚀剂喷淋到硅片表面通过化学反应完成刻蚀开沟的技术。这种方法作业简单易于掌握，具有一定的批量生产能力，成本有效性好等优点，所以为目前主要使用的出硅方式，目前所使用的的出硅方式有以下缺点：

1、目前的腐蚀出硅方式有部分为人工操作，手工操作要求操作人员要不停的手提花篮在酸槽中左右摇晃，酸槽中的混酸液在快速流动中容易喷溅出酸槽外，而溅到操作人员身上，造成人员伤害。

2、目前的电动腐蚀出硅设备通常采用传动装置使硅片在酸液中来回进出，由于目前设备无法均匀调整进入酸液的角度，不能保证整个硅片上所形成沟槽的一致性，影响产品性能。

为此我们提出一种电子芯片酸腐蚀出硅装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，包括酸液槽，所述酸液槽顶部左侧面固接架体，所述架体侧面固接电机，所述电机转轴固接转盘，所述转盘表面边缘位置固接固定轴，所述固定轴转动连接悬挂臂；所述悬挂臂底部内部固接小型电机，所述小型电机转轴固接主动传动件，所述主动传动件啮合连接从动传动件，所述从动传动件中心固接转轴一端，所述转轴另一端固接夹持组件，所述转轴转动连接在悬挂臂底部侧面。

优选的，所述夹持组件包括固定框，所述固定框固接转轴，所述固定框内部固接微型电机，所述微型电机穿过固定框侧壁固接主动齿轮，所述主动齿轮固接上动力臂，所述主动齿轮啮合连接从动齿轮，所述从动齿轮固接下动力臂，所述上动力臂转动连接上夹持臂，所述下动力臂转动连接下夹持臂，所述上夹持臂底面固接上夹持板，所述下夹持臂顶面固接下夹持板，所述固定框侧面转动连接上辅助臂的一端及下辅助臂的一端，所述上辅助臂另一端转动连接上夹持臂，所述下辅助臂另一端转动连接下夹持臂。

优选的，所述上夹持板与下夹持板大小相同，且位置对应。

优选的，所述主动传动件截面为半圆形状，所述从动传动件截面为四面内弧形的四边形形状。

优选的，所述酸液槽位于悬挂臂正下方位置开设开口。

优选的，所述夹持组件及悬挂臂为耐腐蚀材质。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在使用时只需将硅片放置在夹持组件进行固定，启动装置后，硅片会在悬挂臂的运动下通过开口处反复进入酸液槽中，进行腐蚀出硅，自动化程度高，避免了酸液由于晃动喷溅到操作员身上的情况。

2、此外夹持组件会在小型电机的作用下作90度间隙转动，使得硅片会反复以垂直或者水平的方式进入到酸液中，使硅片表面腐蚀均匀，保证整个硅片上所形成沟槽的一致性，提高了良品率，变相节省了成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中夹持组件传动示意图；

图3为本实用新型夹持组件处结构放大结构示意图。

图中：1酸液槽、2架体、3电机、4转盘、5固定轴、6悬挂臂、7夹持组件、8开口、9小型电机、10主动传动件、11从动传动件、12转轴、71固定框、72微型电机、73主动齿轮、74从动齿轮、75上动力臂、76下动力臂、 77上辅助臂、78下辅助臂、79上夹持臂、710下夹持臂、711上夹持板、712 下夹持板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，包括酸液槽1，酸液槽1顶部左侧面固接架体2，架体2侧面固接电机 3，电机3转轴固接转盘4，转盘4表面边缘位置固接固定轴5，固定轴转动连接悬挂臂6；悬挂臂6底部内部固接小型电机9，小型电机9转轴固接主动传动件10，主动传动件10啮合连接从动传动件11，从动传动件11中心固接转轴12一端，转轴12另一端固接夹持组件，转轴12转动连接在悬挂臂6底部侧面。

如图3所示，夹持组件7包括固定框71，固定框71固接转轴12，固定框71内部固接微型电机72，微型电机72穿过固定框71侧壁固接主动齿轮73，主动齿轮73固接上动力臂75，主动齿轮73啮合连接从动齿轮74，从动齿轮74固接下动力臂76，上动力臂75转动连接上夹持臂79，下动力臂76 转动连接下夹持臂710，上夹持臂79底面固接上夹持板711，下夹持臂710顶面固接下夹持板712，固定框71侧面转动连接上辅助臂77的一端及下辅助臂78的一端，上辅助臂77另一端转动连接上夹持臂79，下辅助臂78另一端转动连接下夹持臂710。

如图3所示，上夹持板711与下夹持板712大小相同，且位置对应。

如图2所示，主动传动件10截面为半圆形状，从动传动件11截面为四面内弧形的四边形形状。

如图1所示，酸液槽1位于悬挂臂6正下方位置开设开口8。

如图1所示，夹持组件7及悬挂臂6为耐腐蚀材质。

工作原理：本实用新型在使用时只需将硅片放置在夹持组件进行固定，启动装置后，硅片会在悬挂臂的运动下通过开口处反复进入酸液槽中，进行腐蚀出硅，自动化程度高，避免了酸液由于晃动喷溅到操作员身上的情况，此外夹持组件会在小型电机的作用下作90度间隙转动，使得硅片会反复以垂直或者水平的方式进入到酸液中，使硅片表面腐蚀均匀，保证整个硅片上所形成沟槽的一致性，提高了良品率，变相节省了成本。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，包括酸液槽(1)，所述酸液槽(1)顶部左侧面固接架体(2)，其特征在于：所述架体(2)侧面固接电机(3)，所述电机(3)转轴固接转盘(4)，所述转盘(4)表面边缘位置固接固定轴(5)，所述固定轴转动连接悬挂臂(6)；

所述悬挂臂(6)底部内部固接小型电机(9)，所述小型电机(9)转轴固接主动传动件(10)，所述主动传动件(10)啮合连接从动传动件(11)，所述从动传动件(11)中心固接转轴(12)一端，所述转轴(12)另一端固接夹持组件，所述转轴(12)转动连接在悬挂臂(6)底部侧面。

2.根据权利要求1所述的一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，其特征在于：所述夹持组件(7)包括固定框(71)，所述固定框(71)固接转轴(12)，所述固定框(71)内部固接微型电机(72)，所述微型电机(72)穿过固定框(71)侧壁固接主动齿轮(73)，所述主动齿轮(73)固接上动力臂(75)，所述主动齿轮(73)啮合连接从动齿轮(74)，所述从动齿轮(74)固接下动力臂(76)，所述上动力臂(75)转动连接上夹持臂(79)，所述下动力臂(76)转动连接下夹持臂(710)，所述上夹持臂(79)底面固接上夹持板(711)，所述下夹持臂(710)顶面固接下夹持板(712)，所述固定框(71)侧面转动连接上辅助臂(77)的一端及下辅助臂(78)的一端，所述上辅助臂(77)另一端转动连接上夹持臂(79)，所述下辅助臂(78)另一端转动连接下夹持臂(710)。

3.根据权利要求2所述的一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，其特征在于：所述上夹持板(711)与下夹持板(712)大小相同，且位置对应。

4.根据权利要求1所述的一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，其特征在于：所述主动传动件(10)截面为半圆形状，所述从动传动件(11)截面为四面内弧形的四边形形状。

5.根据权利要求1所述的一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，其特征在于：所述酸液槽(1)位于悬挂臂(6)正下方位置开设开口(8)。

6.根据权利要求1所述的一种电子芯片酸腐蚀出硅装置，其特征在于：所述夹持组件(7)及悬挂臂(6)为耐腐蚀材质。

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