CN210866138U - 一种用于硅片清洗的大花篮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于硅片清洗的大花篮,包括清洗筒,所述清洗筒为筛状,所述清洗筒的内部设置有两个连接板,两个所述连接板的位置呈上下分布,两个所述连接板的侧壁均与清洗筒的内侧壁转动连接,两个所述连接板之间设置有多个连接杆,多个所述连接杆呈环形阵列分布,多个所述连接杆的两端分别与两个连接板的底部和顶部固定连接,多个所述连接杆的外表面均开设有多个放硅卡口。本实用新型中,在搅动杆的驱动作用下,两个连接板会做往返的旋转运动,即旋转的方向会改变,进而加大清洗液的搅动效果,提高硅片与清洗液的相对位移,提高清洗效率,即该装置能够在没有相应的清洗设备的情况下高效的完成相应的清洗操作。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片清洗设备技术领域,尤其涉及一种用于硅片清洗的大花篮。
背景技术
硅是极为常见的一种元素,然而它极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅在宇宙中的储量排在第八位,由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑,而在生产硅片过程中,清洗是必不可少的一步,这就需要用到相应的花篮设备了。
现有的硅片清洗用花篮在使用时,大都是静置在清洗液内部的,需要相应的清洗设备来搅动清洗液,在一些没有清洗设备的条件下,想完成对硅片的清洗操作不是很便捷。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于硅片清洗的大花篮。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种用于硅片清洗的大花篮,包括清洗筒,所述清洗筒为筛状,所述清洗筒的内部设置有两个连接板,两个所述连接板的位置呈上下分布,两个所述连接板的侧壁均与清洗筒的内侧壁转动连接,两个所述连接板之间设置有多个连接杆,多个所述连接杆呈环形阵列分布,多个所述连接杆的两端分别与两个连接板的底部和顶部固定连接,多个所述连接杆的外表面均开设有多个放硅卡口,所述清洗筒的内部设置有搅动杆,所述搅动杆位于多个连接杆之间,所述搅动杆的两端均固定连接有驱动板,两个所述驱动板远离搅动杆的侧壁均固定连接有驱动轴,其中一个所述驱动轴远离驱动板的一端与清洗筒的内侧壁转动连接,其中另一个所述驱动轴远离驱动板的一端转动连接有固定筒,所述固定筒与清洗筒的内侧壁固定连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
两个所述连接板的侧壁均固定连接有滑块,所述清洗筒的内侧壁开设有与滑块相对应的滑槽,所述滑块滑动连接在滑槽的内部。
作为上述技术方案的进一步描述:
位于上方的所述连接板的顶部固定连接有连接轴,所述连接轴远离连接板的一端与清洗筒的内顶部转动连接,所述连接轴的外表面转动套接有连接筒,所述连接筒的底部与连接板的顶部转动连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
位于下方的所述连接板的底部固定连接有转轴,所述转轴远离连接板的一端贯穿清洗筒的底部延伸至其下方并固定连接有轴承板。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述清洗筒的外侧壁固定连接有耐腐蚀电机座,所述耐腐蚀电机座的内部固定安装有伺服电机,所述伺服电机的驱动端贯穿清洗筒的外侧壁延伸至其内部并与驱动轴固定连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
其中一个所述驱动轴远离驱动板的一端固定连接有连接端,所述固定筒的内部开设有与连接端相对应的连接孔,所述连接端转动连接在连接孔的内部。
本实用新型具有如下有益效果:
该用于硅片清洗的大花篮,在使用时,通过设置的清洗筒、搅动杆、连接轴、连接板、湖草、滑块、伺服电机、耐腐蚀电机座、连接孔、连接端、轴承板、驱动板、驱动轴、固定筒,在没有相应的清洗设备的情况下,想要对硅片进行清洗操作时,将硅片置于放硅卡口的内部,取一个桶,在桶内加入一定量的清洗液,将硅片连同清洗筒一起放入桶中,启动伺服电机,伺服电机的驱动端带着驱动轴做旋转运动,此时与驱动轴固定连接的驱动板也做旋转运动,由于搅动杆是与驱动板固定连接的,而搅动杆的另一端的驱动板则是通过驱动轴和连接端与固定筒转动连接的,当搅动杆的一端被驱动时,另一端也被驱动做旋转运动,此时搅动杆的两端都做圆锥形状的旋转运动,由于搅动杆是设置在多个连接杆之间的,且连接杆与连接板是固定连接的,而连接板的侧壁又是通过滑块和滑槽与清洗筒的内侧壁滑动连接的,此时,在搅动杆的驱动作用下,两个连接板会做往返的旋转运动,即旋转的方向会改变,进而加大清洗液的搅动效果,提高硅片与清洗液的相对位移的效果,提高清洗效率,即该装置能够在没有相应的清洗设备的情况下高效的完成相应的清洗操作。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型连接板与连接杆的位置关系是示意图;
图3为本实用新型驱动轴与连接端的连接关系示意图;
图4为本实用新型固定筒的结构示意图。
图例说明:
1、清洗筒;2、搅动杆;3、连接轴;4、连接板;5、滑槽;6、滑块;7、连接筒;8、放硅卡口;9、转轴;10、连接杆;11、轴承板;12、驱动板;13、驱动轴;14、固定筒;15、伺服电机;16、耐腐蚀电机座;17、连接孔;18、连接端。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种用于硅片清洗的大花篮,包括清洗筒1,清洗筒1为筛状,清洗筒1的内部设置有两个连接板4,两个连接板4的位置呈上下分布,两个连接板4的侧壁均与清洗筒1的内侧壁转动连接,两个连接板4之间设置有多个连接杆10,多个连接杆10呈环形阵列分布,多个连接杆10的两端分别与两个连接板4的底部和顶部固定连接,多个连接杆10的外表面均开设有多个放硅卡口8,清洗筒1的内部设置有搅动杆2,搅动杆2位于多个连接杆10之间,搅动杆2的两端均固定连接有驱动板12,两个驱动板12远离搅动杆2的侧壁均固定连接有驱动轴13,其中一个驱动轴13远离驱动板12的一端与清洗筒1的内侧壁转动连接,其中另一个驱动轴13远离驱动板12的一端转动连接有固定筒14,固定筒14与清洗筒1的内侧壁固定连接。
两个连接板4的侧壁均固定连接有滑块6,清洗筒1的内侧壁开设有与滑块6相对应的滑槽5,滑块6滑动连接在滑槽5的内部,便于连接板4的转动运动;位于上方的连接板4的顶部固定连接有连接轴3,连接轴3远离连接板4的一端与清洗筒1的内顶部转动连接,连接轴3的外表面转动套接有连接筒7,连接筒7的底部与连接板4的顶部转动连接,提高连接板4在旋转时的稳定性;位于下方的连接板4的底部固定连接有转轴9,转轴9远离连接板4的一端贯穿清洗筒1的底部延伸至其下方并固定连接有轴承板11,便于下方的连接板4的旋转运动;清洗筒1的外侧壁固定连接有耐腐蚀电机座16,耐腐蚀电机座16的内部固定安装有伺服电机15,伺服电机15的驱动端贯穿清洗筒1的外侧壁延伸至其内部并与驱动轴13固定连接,为装置提供动力;其中一个驱动轴13远离驱动板12的一端固定连接有连接端18,固定筒14的内部开设有与连接端18相对应的连接孔17,连接端18转动连接在连接孔17的内部,便于搅动杆2做旋转运动。
工作原理:在使用用于硅片清洗的大花篮时,在没有相应的清洗设备的情况下,想要对硅片进行清洗操作时,将硅片置于放硅卡口8的内部,取一个桶,在桶内加入一定量的清洗液,将硅片连同清洗筒1一起放入桶中,启动伺服电机15,伺服电机15的驱动端带着驱动轴13做旋转运动,此时与驱动轴13固定连接的驱动板12也做旋转运动,由于搅动杆2是与驱动板12固定连接的,而搅动杆2的另一端的驱动板12则是通过驱动轴13和连接端18与固定筒14转动连接的,当搅动杆2的一端被驱动时,另一端也被驱动做旋转运动,此时搅动杆2的两端都做圆锥形状的旋转运动,由于搅动杆2是设置在多个连接杆10之间的,且连接杆10与连接板4是固定连接的,而连接板4的侧壁又是通过滑块6和滑槽5与清洗筒1的内侧壁滑动连接的,此时,在搅动杆2的驱动作用下,两个连接板4会做往返的旋转运动,即旋转的方向会改变,进而加大清洗液的搅动效果,提高硅片与清洗液的相对位移的效果,提高清洗效率,即该装置能够在没有相应的清洗设备的情况下高效的完成相应的清洗操作。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于硅片清洗的大花篮,包括清洗筒(1),其特征在于:所述清洗筒(1)为筛状,所述清洗筒(1)的内部设置有两个连接板(4),两个所述连接板(4)的位置呈上下分布,两个所述连接板(4)的侧壁均与清洗筒(1)的内侧壁转动连接,两个所述连接板(4)之间设置有多个连接杆(10),多个所述连接杆(10)呈环形阵列分布,多个所述连接杆(10)的两端分别与两个连接板(4)的底部和顶部固定连接,多个所述连接杆(10)的外表面均开设有多个放硅卡口(8),所述清洗筒(1)的内部设置有搅动杆(2),所述搅动杆(2)位于多个连接杆(10)之间,所述搅动杆(2)的两端均固定连接有驱动板(12),两个所述驱动板(12)远离搅动杆(2)的侧壁均固定连接有驱动轴(13),其中一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端与清洗筒(1)的内侧壁转动连接,其中另一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端转动连接有固定筒(14),所述固定筒(14)与清洗筒(1)的内侧壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮,其特征在于:两个所述连接板(4)的侧壁均固定连接有滑块(6),所述清洗筒(1)的内侧壁开设有与滑块(6)相对应的滑槽(5),所述滑块(6)滑动连接在滑槽(5)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮,其特征在于:位于上方的所述连接板(4)的顶部固定连接有连接轴(3),所述连接轴(3)远离连接板(4)的一端与清洗筒(1)的内顶部转动连接,所述连接轴(3)的外表面转动套接有连接筒(7),所述连接筒(7)的底部与连接板(4)的顶部转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮,其特征在于:位于下方的所述连接板(4)的底部固定连接有转轴(9),所述转轴(9)远离连接板(4)的一端贯穿清洗筒(1)的底部延伸至其下方并固定连接有轴承板(11)。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮,其特征在于:所述清洗筒(1)的外侧壁固定连接有耐腐蚀电机座(16),所述耐腐蚀电机座(16)的内部固定安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的驱动端贯穿清洗筒(1)的外侧壁延伸至其内部并与驱动轴(13)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮,其特征在于:其中一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端固定连接有连接端(18),所述固定筒(14)的内部开设有与连接端(18)相对应的连接孔(17),所述连接端(18)转动连接在连接孔(17)的内部。
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CN201922302243.1U CN210866138U (zh) | 2019-12-20 | 2019-12-20 | 一种用于硅片清洗的大花篮 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114210636A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-22 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 一种提高硅片氧化膜腐蚀速率的腐蚀装置及方法 |
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