CN210847462U - 一种硅片清洗机用硅片清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱，所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽，所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆，两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块，两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱。本实用新型中，在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆，电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接，可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降，方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片处理技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机用硅片清洗装置。
背景技术
地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。
在硅片的制作过程中，首先进行单质硅的提炼，提炼后的单质硅被制作成硅片，在硅片被生产出来后，需要进行硅片的清洗，方便后续的应用，但是现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱内部，这样来回从机箱的内部取出硅片，使得清洗的效率十分的低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱，所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽，所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆，两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块，两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱，两个所述连接柱的一端均通过轴承套接有竖直设置的固定侧板，两个所述固定侧板的底部之间通过螺栓连接有同一个水平设置的固定底板。
优选的，所述清洗机箱的底部两端均通过螺栓连接有两个移动车轮。
优选的，所述固定底板的顶部通过螺栓连接有竖直设置的限位挡板。
优选的，所述清洗机箱的一侧底部通过螺栓连接有水平设置的超声波机箱，且超声波机箱的底部内壁安装有超声波发生器。
优选的，所述清洗机箱的两侧内壁均通过螺栓连接有竖直设置的超声波换能器，且超声波换能器与超声波发生器相连接。
优选的，所述清洗机箱的顶部一侧通过螺栓连接有竖直设置的冷风机箱，且冷风机箱的一侧内壁通过螺栓连接有冷风机。
优选的，所述冷风机箱的一侧开设有第一孔洞，且第一孔洞通过螺栓连接有竖直设置的除尘网板。
本实用新型的有益效果为：
1、该硅片清洗机用硅片清洗装置，在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆，电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接，可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降，方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。
2、该硅片清洗机用硅片清洗装置，在清洗装置的清洗机箱的顶部一侧安装有竖直设置的冷风机箱，可以在硅片清洗完成后将硅片进行冷风吹干，有效的提高硅片清洗的效率。
3、该硅片清洗机用硅片清洗装置，清洗装置的清洗机箱两侧内壁安装有超声波换能器，可以对硅片清洗进行超声波清洗，区别于机械清洗，更加有效的保护硅片的完整性，也提高硅片的清洗效率与清洗的质量。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置的清洗机箱侧视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置的冷风机箱结构示意图。
图中：1移动车轮、2清洗机箱、3清洗凹槽、4固定底板、5固定侧板、6连接柱、7限位挡板、8固定顶块、9电动推杆、10超声波机箱、11超声波换能器、12除尘网板、13冷风机箱。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
实施例1
参照图1-2，一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱2，清洗机箱2的顶部开设有水平设置的清洗凹槽3，清洗机箱2的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆9，两个电动推杆9的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块8，两个固定顶块8相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱6，两个连接柱6的一端均通过轴承套接有竖直设置的固定侧板5，两个固定侧板5的底部之间通过螺栓连接有同一个水平设置的固定底板4。
本实用新型中，清洗机箱2的底部两端均通过螺栓连接有两个移动车轮1，固定底板4的顶部通过螺栓连接有竖直设置的限位挡板7，清洗机箱2的一侧底部通过螺栓连接有水平设置的超声波机箱10，且超声波机箱10的底部内壁安装有超声波发生器，清洗机箱2的两侧内壁均通过螺栓连接有竖直设置的超声波换能器11，且超声波换能器11与超声波发生器相连接。
实施例2
参照图1-3，一种硅片清洗机用硅片清洗装置，清洗机箱2的顶部一侧通过螺栓连接有竖直设置的冷风机箱13，且冷风机箱13的一侧内壁通过螺栓连接有冷风机，冷风机箱13的一侧开设有第一孔洞，且第一孔洞通过螺栓连接有竖直设置的除尘网板12。
工作原理：在使用该硅片清洗机用硅片清洗装置时，操作人员首先将该清洗装置通过移动车轮1移动至合适的工作位置，并将其接通至电源，在使用的过程中，操作人员首先控制两个电动推杆9的上升，将固定底板4升起至清洗机箱2的顶部，操作人员将硅片放置在限位挡板7之间，放置稳定后，操作人员控制电动推杆9的收缩下降，将固定底板4以及顶部的硅片下降至清洗机箱2的内部，操作人员控制超声波发生器工作，并通过超声波换能器11对内部的硅片进行清洗，硅片清洗完成后通过电动推杆9将其升起，升至清洗机箱2的顶部时，开启冷风机对硅片进行冷风风干，风干后直接取出硅片即可。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱(2)，其特征在于，所述清洗机箱(2)的顶部开设有水平设置的清洗凹槽(3)，所述清洗机箱(2)的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆(9)，两个所述电动推杆(9)的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块(8)，两个所述固定顶块(8)相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱(6)，两个所述连接柱(6)的一端均通过轴承套接有竖直设置的固定侧板(5)，两个所述固定侧板(5)的底部之间通过螺栓连接有同一个水平设置的固定底板(4)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的底部两端均通过螺栓连接有两个移动车轮(1)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述固定底板(4)的顶部通过螺栓连接有竖直设置的限位挡板(7)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的一侧底部通过螺栓连接有水平设置的超声波机箱(10)，且超声波机箱(10)的底部内壁安装有超声波发生器。
5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的两侧内壁均通过螺栓连接有竖直设置的超声波换能器(11)，且超声波换能器(11)与超声波发生器相连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的顶部一侧通过螺栓连接有竖直设置的冷风机箱(13)，且冷风机箱(13)的一侧内壁通过螺栓连接有冷风机。
7.根据权利要求6所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述冷风机箱(13)的一侧开设有第一孔洞，且第一孔洞通过螺栓连接有竖直设置的除尘网板(12)。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921925772.0U CN210847462U (zh) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | 一种硅片清洗机用硅片清洗装置 |
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| CN201921925772.0U Active CN210847462U (zh) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | 一种硅片清洗机用硅片清洗装置 |
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| CN (1) | CN210847462U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112387645A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-02-23 | 常州江苏大学工程技术研究院 | 一种便于排液的硅片清洗设备 |
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2019
- 2019-11-11 CN CN201921925772.0U patent/CN210847462U/zh active Active
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| CN112387645A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-02-23 | 常州江苏大学工程技术研究院 | 一种便于排液的硅片清洗设备 |
| CN112387645B (zh) * | 2021-01-20 | 2021-04-02 | 常州江苏大学工程技术研究院 | 一种便于排液的硅片清洗设备 |
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