CN214913812U - 一种硅片抛光液用回收装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片抛光液用回收装置，涉及半导体领域。该硅片抛光液用回收装置，包括箱体，所述箱体的左侧开设有与箱体内部相连通的排水孔，所述箱体的内壁固定连接有支撑环，所述支撑环的左右两侧内壁之间固定连接有支撑杆，所述支撑环的上表面搭接有硅胶圈，所述硅胶圈的外表面与箱体的内壁搭接，所述硅胶圈的内壁固定连接有海绵垫。该硅片抛光液用回收装置，通过撑环、支撑杆、硅胶圈、挡杆、开孔、拉绳、柔性网板和海绵垫之间的相互配合，达到可以将使用后的抛光液进行回收，同时进行抛光液过滤，使得抛光液可以再次利用，解决了现有的硅片抛光液在使用之后大多直接进行排放，使得造成浪费，且污染周边环境的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种硅片抛光液用回收装置。
背景技术
地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的，硅片生产时需要对于表面抛光，抛光过程中需添加抛光液，以使得抛光效果更好，现有的硅片抛光液在使用之后大多直接进行排放，使得造成浪费，且污染周边环境。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种硅片抛光液用回收装置，解决了现有的硅片抛光液在使用之后大多直接进行排放，使得造成浪费，且污染周边环境的问题。
技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片抛光液用回收装置，包括箱体，所述箱体的左侧开设有与箱体内部相连通的排水孔，所述箱体的内壁固定连接有支撑环，所述支撑环的左右两侧内壁之间固定连接有支撑杆，所述支撑环的上表面搭接有硅胶圈，所述硅胶圈的外表面与箱体的内壁搭接，所述硅胶圈的内壁固定连接有海绵垫，所述海绵垫的上表面与下表面均固定连接有柔性网板，两个柔性网板的外表面与硅胶圈的内壁固定连接，所述箱体的左右两侧内壁之间固定连接有挡杆，所述挡杆的下表面与硅胶圈的上表面搭接，所述挡杆的上表面开设有与下表面相连通的开孔，所述硅胶圈的上表面固定连接有拉绳。
进一步的，所述箱体的底部固定连接有固定板，所述固定板的数量为两个，两个固定板的正面均固定连接有转轴，两个转轴的表面均套接有转轮，两个转轮的下表面分别固定连接有支撑腿和活动腿。
进一步的，所述支撑腿的底端固定连接有垫板，所述垫板的上表面固定连接有固定筒。
进一步的，所述固定筒的内底壁固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶端与活动腿的底端固定连接。
进一步的，所述箱体的左侧开设有转动槽，所述转动槽的内部活动连接有转杆，所述转动槽的内壁开设有限位槽，所述限位槽的内部活动连接有限位杆，所述限位杆远离限位槽的一端与转杆的表面固定连接，所述转杆的左端固定连接有旋转板，所述旋转板的左侧开设有与右侧相连通的移动孔。
进一步的，所述移动孔的内部活动连接有推杆，所述推杆的右端固定连接有密封塞，所述密封塞的表面与排水孔的内部卡接，所述推杆的左端固定连接有拉块，所述推杆的表面套接有第二弹簧，所述第二弹簧的左端与拉块的右侧固定连接，所述第二弹簧的右端与旋转板的左侧固定连接。
本实用新型提供了一种硅片抛光液用回收装置。具备以下有益效果：
1、该硅片抛光液用回收装置，通过撑环、支撑杆、硅胶圈、挡杆、开孔、拉绳、柔性网板和海绵垫之间的相互配合，达到可以将使用后的抛光液进行回收，同时进行抛光液过滤，使得抛光液可以再次利用，解决了现有的硅片抛光液在使用之后大多直接进行排放，使得造成浪费，且污染周边环境的问题。
2、该硅片抛光液用回收装置，通过固定板、转轮、转轴、支撑腿、垫板、活动腿、固定筒和第一弹簧的相互配合，达到可以将箱体进行倾斜，使得可以将箱体内部的抛光液全部倒出，避免抛光液留存，通过转动槽、限位槽、限位杆、旋转板、转杆、密封塞、移动孔、推杆、拉块和第二弹簧之间的配合，达到便于对排水孔进行开启和关闭。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型图1中A处局部结构放大图。
其中，1箱体、2支撑环、3支撑杆、4硅胶圈、5挡杆、6开孔、7拉绳、8柔性网板、9海绵垫、10固定板、11转轮、12转轴、13支撑腿、14垫板、15活动腿、16固定筒、17第一弹簧、18转动槽、19限位槽、20限位杆、21旋转板、22转杆、23排水孔、24密封塞、25移动孔、26推杆、27拉块、28第二弹簧。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型实施例提供一种硅片抛光液用回收装置，包括箱体1，箱体1的底部固定连接有固定板10，固定板10的数量为两个，两个固定板10的正面均固定连接有转轴12，两个转轴12的表面均套接有转轮11，两个转轮11的下表面分别固定连接有支撑腿13和活动腿15，支撑腿13的底端固定连接有垫板14，垫板14的上表面固定连接有固定筒16，固定筒16的内底壁固定连接有第一弹簧17，第一弹簧17的顶端与活动腿15的底端固定连接。
箱体1的左侧开设有与箱体1内部相连通的排水孔23，箱体1的内壁固定连接有支撑环2，支撑环2的左右两侧内壁之间固定连接有支撑杆3，支撑环2的上表面搭接有硅胶圈4，硅胶圈4的外表面与箱体1的内壁搭接，硅胶圈4的内壁固定连接有海绵垫9，海绵垫9的上表面与下表面均固定连接有柔性网板8，两个柔性网板8的外表面与硅胶圈4的内壁固定连接，箱体1的左右两侧内壁之间固定连接有挡杆5，挡杆5的下表面与硅胶圈4的上表面搭接，挡杆5的上表面开设有与下表面相连通的开孔6，硅胶圈4的上表面固定连接有拉绳7。
箱体1的左侧开设有转动槽18，转动槽18的内部活动连接有转杆22，转动槽18的内壁开设有限位槽19，限位槽19的内部活动连接有限位杆20，限位杆20远离限位槽19的一端与转杆22的表面固定连接，转杆22的左端固定连接有旋转板21，旋转板21的左侧开设有与右侧相连通的移动孔25，移动孔25的内部活动连接有推杆26，推杆26的右端固定连接有密封塞24，密封塞24的表面与排水孔23的内部卡接，推杆26的左端固定连接有拉块27，推杆26的表面套接有第二弹簧28，第二弹簧28的左端与拉块27的右侧固定连接，第二弹簧28的右端与旋转板21的左侧固定连接。
工作原理：当抛光设备工作时，将箱体1放置在抛光部位下方，在硅片抛光过程中的抛光液会向下流出，抛光液会经过海绵垫9的过滤流入箱体1的内部，将箱体1内部的抛光液排出时，将箱体1的右侧向上抬起，使得箱体1带动活动腿15从固定筒16的内部向上移动，由此使得箱体1向左倾斜，将拉块27向左拉动，使得密封塞24从排水孔23的内部脱离，并将旋转板21向上转动，使得带动密封塞24远离排水孔23的位置，此时箱体1内部的抛光液经过排水孔23向外流出，利用收集器皿进行收集即可；在将海绵垫9内部的吸收液体处理时，将两个拉绳7相对拉动，使得带动硅胶圈4变形，从而将海绵垫9进行挤压，海绵垫9内部的吸收液体流入箱体1的内部。
Claims (6)
1.一种硅片抛光液用回收装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的左侧开设有与箱体(1)内部相连通的排水孔(23)，所述箱体(1)的内壁固定连接有支撑环(2)，所述支撑环(2)的左右两侧内壁之间固定连接有支撑杆(3)，所述支撑环(2)的上表面搭接有硅胶圈(4)，所述硅胶圈(4)的外表面与箱体(1)的内壁搭接，所述硅胶圈(4)的内壁固定连接有海绵垫(9)，所述海绵垫(9)的上表面与下表面均固定连接有柔性网板(8)，两个柔性网板(8)的外表面与硅胶圈(4)的内壁固定连接，所述箱体(1)的左右两侧内壁之间固定连接有挡杆(5)，所述挡杆(5)的下表面与硅胶圈(4)的上表面搭接，所述挡杆(5)的上表面开设有与下表面相连通的开孔(6)，所述硅胶圈(4)的上表面固定连接有拉绳(7)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液用回收装置，其特征在于：所述箱体(1)的底部固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)的数量为两个，两个固定板(10)的正面均固定连接有转轴(12)，两个转轴(12)的表面均套接有转轮(11)，两个转轮(11)的下表面分别固定连接有支撑腿(13)和活动腿(15)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片抛光液用回收装置，其特征在于：所述支撑腿(13)的底端固定连接有垫板(14)，所述垫板(14)的上表面固定连接有固定筒(16)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片抛光液用回收装置，其特征在于：所述固定筒(16)的内底壁固定连接有第一弹簧(17)，所述第一弹簧(17)的顶端与活动腿(15)的底端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液用回收装置，其特征在于：所述箱体(1)的左侧开设有转动槽(18)，所述转动槽(18)的内部活动连接有转杆(22)，所述转动槽(18)的内壁开设有限位槽(19)，所述限位槽(19)的内部活动连接有限位杆(20)，所述限位杆(20)远离限位槽(19)的一端与转杆(22)的表面固定连接，所述转杆(22)的左端固定连接有旋转板(21)，所述旋转板(21)的左侧开设有与右侧相连通的移动孔(25)。
6.根据权利要求5所述的一种硅片抛光液用回收装置，其特征在于：所述移动孔(25)的内部活动连接有推杆(26)，所述推杆(26)的右端固定连接有密封塞(24)，所述密封塞(24)的表面与排水孔(23)的内部卡接，所述推杆(26)的左端固定连接有拉块(27)，所述推杆(26)的表面套接有第二弹簧(28)，所述第二弹簧(28)的左端与拉块(27)的右侧固定连接，所述第二弹簧(28)的右端与旋转板(21)的左侧固定连接。
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