CN212540447U - 一种微型芯片高精度测试结构 - Google Patents

一种微型芯片高精度测试结构 Download PDF

Info

Publication number
CN212540447U
CN212540447U CN202020572555.4U CN202020572555U CN212540447U CN 212540447 U CN212540447 U CN 212540447U CN 202020572555 U CN202020572555 U CN 202020572555U CN 212540447 U CN212540447 U CN 212540447U
Authority
CN
China
Prior art keywords
needle card
needle
xyz
test structure
slip table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202020572555.4U
Other languages
English (en)
Inventor
张本伍
郗旭斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Intelligent Automation Equipment Zhuhai Co Ltd
Intelligent Automation Zhuhai Co Ltd
Original Assignee
Intelligent Automation Equipment Zhuhai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Intelligent Automation Equipment Zhuhai Co Ltd filed Critical Intelligent Automation Equipment Zhuhai Co Ltd
Priority to CN202020572555.4U priority Critical patent/CN212540447U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN212540447U publication Critical patent/CN212540447U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本实用新型旨在提供一种结构简单紧凑、设计合理、定位精度高且能够适用于PAD点尺寸较小的产品的微型芯片高精度测试结构。本实用新型包括XYZ自动滑台(1),所述XYZ自动滑台(1)上设置有针卡安装组件(2),所述针卡安装组件(2)上设置有针卡(3),所述XYZ自动滑台(1)的一侧设置有工业相机(4),所述工业相机(4)位于所述针卡(3)的上方,所述针卡(3)包括设置在所述针卡安装组件(2)上的PCB板(31),所述PCB板(31)上设有若干根探针(32)。本实用新型可应用于测试结构的技术领域。

Description

一种微型芯片高精度测试结构
技术领域
本实用新型涉及测试结构的技术领域,特别涉及一种微型芯片高精度测试结构。
背景技术
随着移动互联网技术、物联网技术、5G技术的迅速发展,使得电子产品不断的向高度集成化、微型化方向发展。芯片类电子元器件的尺寸在不断的变小,质量在不断的提升。因此对芯片类元器件在测试过程中的定位,PAD点(简称焊盘,是产品上用来传递信号的对外接触点)下针等都提出了更高的要求,现有的测试结构定位方式和PAD点下针方式已经不能满足需求。
目前的芯片测试结构常用的定位方式是探针在XY方向位置是固定的,产品移动到测试位置后,探针下压与产品PAD点接触。此种方式的缺点是探针与PAD点定位精度低,产品PAD点尺寸要比较大,只能测试一些PAD点尺寸比较大的芯片。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供了一种结构简单紧凑、设计合理、定位精度高且能够适用于PAD点尺寸较小的产品的微型芯片高精度测试结构。
本实用新型所采用的技术方案是:本实用新型包括XYZ自动滑台,所述XYZ自动滑台上设置有针卡安装组件,所述针卡安装组件上设置有针卡,所述XYZ自动滑台的一侧设置有工业相机,所述工业相机位于所述针卡的上方,所述针卡包括设置在所述针卡安装组件上的PCB板,所述PCB板上设有若干根探针。
进一步,所述XYZ自动滑台的一侧设置有XY手动滑台,所述XY手动滑台上设置有安装板,所述工业相机设置在所述安装板上。
进一步,所述安装板上还设置有光源,所述光源位于所述工业相机的下方并与所述工业相机相配合。
进一步,所述PCB板上设有安装槽,所述安装槽内设置有固定树脂块,所述固定树脂块的中部设有方孔,所述方孔与所述工业相机相配合,所述探针的针根端连接在所述PCB板的下端,所述探针的针尖端固定在所述固定树脂块的下端,所述探针的针尖位于所述方孔的下方。
进一步,所述安装板上设有滑槽,所述滑槽上滑动配合有滑动块,所述工业相机设置在所述滑动块上,所述滑槽的一侧设有让位槽,所述滑动块的后端设置有连接件,所述连接件穿过所述让位槽并与设置在所述安装板后端面上的Z轴调整件相配合。
进一步,它还包括底板,所述XYZ自动滑台通过底座设置在所述底板上,所述XY手动滑台通过支架设置在所述底板上,所述针卡安装组件包括设置在所述XYZ自动滑台上的连接板,所述连接板的下端设置有针卡安装板,所述针卡安装板与所述底板相平行,所述针卡设置在所述针卡安装板上。
本实用新型的有益效果是:本实用新型在使用时通过工业相机获取探针以及产品PAD点的位置,从而确定探针与产品PAD点的坐标,XYZ自动滑台移动补偿探针与产品PAD点的坐标差异,完成对位并下压接触;可见,整体结构简单紧凑、设计合理;工业相机获取位置信息精确,定位精度高;面对各种尺寸的PAD点都能够精准定位,能够适用于PAD点尺寸较小的芯片。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图;
图2是本实用新型去除所述底板后的立体结构示意图
图3是所述针卡仰视角度的立体结构示意图;
图4是本实用新型的部分结构的立体结构示意图;
图5是本实用新型的部分结构的立体结构示意图;
图6是图5所示结构的另一角度的立体结构示意图。
具体实施方式
如图1至图6所示,在本实施例中,本实用新型包括XYZ自动滑台1,所述XYZ自动滑台1上设置有针卡安装组件2,所述针卡安装组件2上设置有针卡3,所述XYZ自动滑台1的一侧设置有工业相机4,所述工业相机4位于所述针卡3的上方,所述针卡3包括设置在所述针卡安装组件2上的PCB板31,所述PCB板31上设有若干根探针32。所述XYZ自动滑台1通过导轨进行导向,在XYZ方向各装一个电机,可以在XYZ三个方向自由移动;所述针卡安装组件2用于所述针卡3的安装,并由所述XYZ自动滑台1带动进行位移;所述工业相机4位于所述针卡3的上方,用于对所述针卡3拍摄以进行定位,同时还用于对芯片产品的PAD点进行精确定位;所述针卡3包括PCB板31和探针32,所述探针32通过与所述PCB板31连接,在测试时通过针尖接触芯片产品的PAD点实现连接测试,所述探针32的针尖坐标由所述工业相机4定位。测试时,将芯片产品移动至所述工业相机4下方,所述工业相机4对产品的PAD点及所述探针32进行定位,所述XYZ自动滑台1根据两个坐标的差异进行移动实现补偿,补偿完成后下压进行测试。由上述可见,本实用新型整体结构简单紧凑、设计合理;通过所述工业相机4获取相关位置信息精确,定位精度高;面对各种尺寸的PAD点都能够精准定位,能够适用于PAD点尺寸较小的芯片。
在本实施例中,所述XYZ自动滑台1的一侧设置有XY手动滑台5,所述XY手动滑台5上设置有安装板6,所述工业相机4设置在所述安装板6上。所述工业相机4通过所述XY手动滑台5可实现在XY两个方向上的移动,从而可以在使用中进行调位,便于使用。
在本实施例中,所述安装板6上还设置有光源7,所述光源7位于所述工业相机4的下方并与所述工业相机4相配合。所述光源7用于增加亮度,防止因周围环境亮度不足而导致所述工业相机4拍摄不清楚,以致使定位不精确的情况出现。
在本实施例中,所述PCB板31上设有安装槽33,所述安装槽33内设置有固定树脂块34,所述固定树脂块34的中部设有方孔35,所述方孔35与所述工业相机4相配合,所述探针32的针根端连接在所述PCB板31的下端,所述探针32的针尖端固定在所述固定树脂块34的下端,所述探针32的针尖位于所述方孔35的下方。所述固定树脂块34用于固定所述探针32,所述方孔35能够使得所述工业相机4拍摄到所述探针32,所述探针32的针尖处在所述方孔35的下端并保持垂直。
在本实施例中,所述安装板6上设有滑槽8,所述滑槽8上滑动配合有滑动块9,所述工业相机4设置在所述滑动块9上,所述滑槽8的一侧设有让位槽10,所述滑动块9的后端设置有连接件11,所述连接件11穿过所述让位槽10并与设置在所述安装板6后端面上的Z轴调整件12相配合。所述工业相机4通过所述滑动块9实现Z方向的上下移动,所述Z轴调整件12用于控制所述滑动块9的移动,从而控制所述工业相机4的高度,因此所述工业相机4可以在使用时进行高度调整。以获得最佳高度。
在本实施例中,它还包括底板13,所述XYZ自动滑台1通过底座14设置在所述底板13上,所述XY手动滑台5通过支架15设置在所述底板13上,由此使所述工业相机4获得一定的高度,通过底板1安装到生产线上,可实现系列化生产,所述针卡安装组件2包括设置在所述XYZ自动滑台1上的连接板16,所述连接板16的下端设置有针卡安装板17,所述针卡安装板17与所述底板13相平行,所述针卡3设置在所述针卡安装板17上,因此所述针卡3通过所述XYZ自动滑台1获得XYZ三个方向的移动,以实现位置调整。
本实用新型的工作原理是:测试前:根据需求通过XYZ自动滑台1自动调整针卡3在XYZ方向上的位置,手动调整工业相机4的位置,使工业相机4位于针卡3的正上方,调整完毕后工业相机4固定不动。测试时:(1)将产品移动至针卡3的正下方,工业相机4进行拍照获取产品上PAD点的位置坐标;(2)工业相机4拍针卡3,获取针卡3上探针32针尖的位置坐标;(3)计算产品PAD点的坐标与探针32针尖坐标的差异;(4)XYZ自动滑台1根据步骤(3)计算的结果进行坐标补偿;(5)针卡3下压使探针32与产品PAD点接触,开始进行测试。
本实用新型利用工业相机4获取探针32针尖和产品PAD点的中心坐标,这种方式消除了系统误差、产品移动的公差、产品PAD点位置度公差等,有效的提高了探针和PAD的对位精度,使测试更稳定。

Claims (6)

1.一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:包括XYZ自动滑台(1),所述XYZ自动滑台(1)上设置有针卡安装组件(2),所述针卡安装组件(2)上设置有针卡(3),所述XYZ自动滑台(1)的一侧设置有工业相机(4),所述工业相机(4)位于所述针卡(3)的上方,所述针卡(3)包括设置在所述针卡安装组件(2)上的PCB板(31),所述PCB板(31)上设有若干根探针(32)。
2.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:所述XYZ自动滑台(1)的一侧设置有XY手动滑台(5),所述XY手动滑台(5)上设置有安装板(6),所述工业相机(4)设置在所述安装板(6)上。
3.根据权利要求2所述的一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:所述安装板(6)上还设置有光源(7),所述光源(7)位于所述工业相机(4)的下方并与所述工业相机(4)相配合。
4.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:所述PCB板(31)上设有安装槽(33),所述安装槽(33)内设置有固定树脂块(34),所述固定树脂块(34)的中部设有方孔(35),所述方孔(35)与所述工业相机(4)相配合,所述探针(32)的针根端连接在所述PCB板(31)的下端,所述探针(32)的针尖端固定在所述固定树脂块(34)的下端,所述探针(32)的针尖位于所述方孔(35)的下方。
5.根据权利要求2所述的一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:所述安装板(6)上设有滑槽(8),所述滑槽(8)上滑动配合有滑动块(9),所述工业相机(4)设置在所述滑动块(9)上,所述滑槽(8)的一侧设有让位槽(10),所述滑动块(9)的后端设置有连接件(11),所述连接件(11)穿过所述让位槽(10)并与设置在所述安装板(6)后端面上的Z轴调整件(12)相配合。
6.根据权利要求1所述的一种微型芯片高精度测试结构,其特征在于:它还包括底板(13),所述XYZ自动滑台(1)通过底座(14)设置在所述底板(13)上,所述XY手动滑台(5)通过支架(15)设置在所述底板(13)上,所述针卡安装组件(2)包括设置在所述XYZ自动滑台(1)上的连接板(16),所述连接板(16)的下端设置有针卡安装板(17),所述针卡安装板(17)与所述底板(13)相平行,所述针卡(3)设置在所述针卡安装板(17)上。
CN202020572555.4U 2020-04-17 2020-04-17 一种微型芯片高精度测试结构 Active CN212540447U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020572555.4U CN212540447U (zh) 2020-04-17 2020-04-17 一种微型芯片高精度测试结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020572555.4U CN212540447U (zh) 2020-04-17 2020-04-17 一种微型芯片高精度测试结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN212540447U true CN212540447U (zh) 2021-02-12

Family

ID=74520399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202020572555.4U Active CN212540447U (zh) 2020-04-17 2020-04-17 一种微型芯片高精度测试结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN212540447U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110333471B (zh) 一种用于飞针测试的探针误差补偿方法
CN109633934B (zh) 点灯压合机构以及点灯治具
CN109830198B (zh) 一种阻抗检测装置
CN105445643A (zh) 一种全自动探针台图像定位系统
CN111638482A (zh) 一种ict夹具探针弹力检测装备
CN111354286A (zh) 超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备
CN213235701U (zh) 一种基于视觉自动定位的高精度Lens耦合贴装设备
CN207424001U (zh) 一种用于柔性oled面板和fpc的自动对位点灯设备
CN212540447U (zh) 一种微型芯片高精度测试结构
CN113976471B (zh) 一种基于3d线共焦传感器的胶量检测标记设备及方法
CN205246712U (zh) 全自动探针台图像定位装置
CN116859544A (zh) 一种微型镜头调焦、安装设备及方法
CN111142007A (zh) 用于一维与二维金手指fpca自动对位与测试装置
CN203219493U (zh) 全自动数字麦克风测试分选机上的测试机构
CN115183961A (zh) 一种探针高精度同步测试机构
CN214309156U (zh) 移动终端红外测温测试机台
CN209560974U (zh) 一种阻抗检测装置
CN210893080U (zh) 一种电子元器件4个pin的共面性检测设备
CN216051879U (zh) 一种悬臂针使用测试装置
CN219609146U (zh) 一种微小间距软板自动测试装置
CN107634438B (zh) 一种采用棱镜影像定位的端子插针装置
CN111862243A (zh) 一种标定相机装置
CN112415793A (zh) 一种液晶屏幕自动压接方法
CN111693390A (zh) 耐弯折测试设备
CN217953816U (zh) 一种探针高精度同步测试机构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant