CN212517246U - 一种pet膜双面快速镀膜、涂覆设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，包括沿第一方向输送PET膜的放卷机构，第一镀膜机构，第一烘干压延机构，用于将PET膜的正反面翻转的换向机构，与第一镀膜机构结构相同设置在第一烘干压延机构的正上方的第二镀膜机构，与第一烘干压延机构的结构相同的第二烘干压延机构，用于沿第二方向回收PET膜的收卷机构；本实用新型设置多个真空腔体，并在各自的腔体内分别设置上述机构，将电池极片PET膜依次通过上述各个机构，一次性完成铝膜、铜膜的加工成型，以及涂覆正、负极材料的功能，可在一个放卷、收卷过程中完成电池正极金属电极、正极材料、负极金属电极、负极材料的加工，使锂离子电池的生产过程简化，提高生产效率，降低成本。

Description

一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备

技术领域

本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，更具体的说是涉及一种PET 膜双面快速镀膜、涂覆设备。

背景技术

铜箔、铝箔因其具有良好的导电性、质地较软、价格相对低廉等优势，所以被选择作为锂电池电极集流体的主要材料。目前铜箔、铝箔的制备方法常采用压延法。虽然压延法获得的铜箔、铝箔延展性较好，但却有生产工艺复杂、极限厚度较大、宽度受轧辊长度限制等缺点。

现有锂离子电池的生产过程是在铜箔和铝箔上分别涂上负极材料和正极材料，经过烘烤和压延完成。金属箔的表面粗糙度、厚度、厚度均匀性等因素对锂电池的性能均有较大影响。

本实用新型采用真空磁控溅射镀膜技术，一次性完成铝膜、铜膜的加工成型。设备同时具有涂覆正、负极材料的功能，即可在一个放卷、收卷过程中完成包括锂离子电池正极金属电极、正极材料、负极金属电极、负极材料的加工，使锂离子电池的生产过程简化，降低成本。其中溅射过程(即镀铝膜、铜膜过程)原理为真空溅射镀膜原理，在真空环境下，氩气通过电场磁场产生辉光放电产生等离子体，正离子轰击溅射靶材，溅射出的粒子沉积在基片上，形成镀膜。

因此，如何提供一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一，提供了一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，包括多个真空腔体以及分别设置在独立的真空腔体内的沿第一方向输送PET膜的放卷机构；

第一镀膜机构，所述第一镀膜机构设置在所述放卷机构和第一烘干压延机构之间，所述第一镀膜机构包括镀膜装置和沿第一方向排列的多个冷却辊，所述镀膜装置设置在多个所述冷却辊的上方，多个所述冷却辊的进料端和出料端均设有压紧辊；

第一烘干压延机构，所述第一烘干压延机构包括加热装置和沿第一方向排列的多个加热辊，所述加热装置设置在多个所述加热辊的上方，多个所述加热辊的进料端与多个所述冷却辊的出料端对应，且多个所述加热辊的进料端设有涂覆机构，其出料端设有压延机构；

第二镀膜机构，所述第二镀膜机构与所述第一镀膜机构结构相同，设置在所述第一烘干压延机构的正上方；

换向机构，所述换向机构的两端分别对应所述第一烘干压延机构的出料端与所述第二镀膜机构的进料端，且所述换向机构用于将所述PET膜的正反面翻转，使所述PET膜的未加工面沿第二方向输送；

第二烘干压延机构，所述第二烘干压延机构与所述第一烘干压延机构的结构相同，所述第二烘干压延机构的进料端与所述第二镀膜机构的出料端对应；

收卷机构，所述收卷机构与所述第二烘干压延机构的压延机构对应，用于沿第二方向回收PET膜；

控制器，所述控制器均与上述各个机构电连接。

通过上述方案，本实用新型设置多个真空腔体，并在各自的腔体内分别设置放卷机构、镀膜机构、烘干压延机构、换向机构和收卷机构，将电池极片PET膜依次通过上述各个机构，一次性完成铝膜、铜膜的加工成型，以及涂覆正、负极材料的功能，可在一个放卷、收卷过程中完成电池正极金属电极、正极材料、负极金属电极、负极材料的加工，使锂离子电池的生产过程简化，提高生产效率，降低成本。

进一步的，还包括过渡机构，所述过渡机构分别设置在所述第一镀膜机构与第一烘干压延机构之间，所述第二镀膜机构与第二烘干压延机构之间；

所述过渡机构包括缓冲辊、支撑架、多个过渡辊、上限位开关和下限位开关，所述支撑架两侧对应设有竖直导轨，所述缓冲辊两端与所述竖直导轨滑动连接，多个所述过渡辊分布在所述缓冲辊的两侧，且间隔错落设置；所述竖直滑轨上位于所述缓冲辊的上方和下方，分别安装有所述上限位开关和所述下限位开关，所述上限位开关和所述下限位开关均与所述控制器电连接。

采用上述方案的有益效果是，由于PET膜很薄所以多个部位需要过渡辊实现传动，保证PET膜的平整，由于PET膜运动过程中，缓冲辊两侧PET膜的速度有微小差异，导致缓冲辊会产生上、下运动，这样缓冲辊就沿着导轨上、下移动，维持PET膜输送的张紧效果；上、下限位开关的激活情况作为输入信号进入控制器，当缓冲辊向下运动达到下限位开关时，说明收卷电机速度过慢了，控制器按照设定对收卷电机进行增速，而当缓冲辊向上运动达到上限位开关时，控制器按照设定对收卷电机进行减速，从而保证缓冲辊在设定范围内运动，保持恒定张力，并使放卷过程平顺进行。

进一步的，所述缓冲辊的两端可拆卸连接有配重块。

采用上述方案的有益效果是，缓冲辊可以在竖直导轨内上下移动，由于 PET膜张力的大小由缓冲辊的重量决定，根据薄膜的厚度来调整缓冲辊的重量，可在缓冲辊的两端加配重块来调整张力大小，以保持恒定张力，使放卷过程平顺进行。

进一步的，所述镀膜机构包括：

升降驱动件，所述升降驱动件设置在所述真空腔体的外部顶端，其驱动杆贯穿所述真空腔体的顶板与内部的溅射镀膜组件固定连接；

溅射镀膜组件，所述溅射镀膜组件包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构，所述阴极结构固定连接在所述屏蔽罩内与所述控制器电连接，且所述阴极结构的底部设有阴极靶材，所述屏蔽罩的顶部与所述支撑连接板通过水冷连接件固定连接，所述支撑连接板的下方固定连接有遮挡板，所述遮挡板上均匀开设有多个矩形孔；

水冷装置，所述水冷装置设置在所述真空腔体中，包括水冷软管、水冷接头和所述水冷连接件，所述水冷连接件为贯穿所述支撑连接板的管状结构，所述水冷连接件的底端与所述阴极结构对应；所述水冷接头设置在所述真空腔体的顶部并外接冷却水，所述水冷软管一端连接所述水冷接头的底端，另一端与所述水冷连接件的顶端连通。

采用上述方案的有益效果是，通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射，同时保证阴极溅射稳定和基材上形成的膜层厚度一致性较好，并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板，使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则，并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同，每条镀膜层之间均有间隙，方便后续切割和连接电极线；并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温冷却。

进一步的，所述加热装置包括红外加热管和安装架，所述安装架两侧沿长度方向对应开设有多个安装孔，多个所述红外加热管与所述安装孔一一对应，所述红外加热管两端分别固定在所述安装架两侧的所述安装孔中，每个所述红外加热管均与所述控制器电连接。

进一步的，所述压延机构包括推动件、轴承和压辊，所述压辊水平设置在多个所述加热辊的出料端的正上方，与位于下方的所述加热辊同步传动连接，所述压辊的两端套接有所述轴承，所述推动件设置在所述轴承的上方并与所述控制器电连接，其驱动端与所述轴承固定连接。

采用上述方案的有益效果是，通过控制推动件，实现调整压辊与下方加热辊的距离，以改变作用在基材表面涂覆材料的作用力，调节电极材料膜的厚度。

进一步的，所述涂覆机构包括刮刀、储料罐、涂覆材料控制开关和涂覆材料过渡辊，所述储料罐顶部连接有进料管，所述进料管设有两个并分别设有阀门；所述储料罐的底部具有喷料口，所述喷料口与所述涂覆材料过渡辊对应，所述涂覆材料过渡辊水平设置在多个所述加热辊的进料端的正上方，与位于下方的所述加热辊同步传动连接，所述涂覆材料过渡辊的一侧设置有所述刮刀，所述刮刀与所述控制器电连接，所述刮刀的刀刃与所述涂覆材料过渡辊之间留有用于活性物质混合剂经过的间隙。

采用上述方案的有益效果是，控制器可以控制刮刀做微量转动，改变与涂覆材料过渡辊之间的缝隙，以此实现涂覆材料以期望的厚度覆在基材上；外部采用两个通道供给涂覆材料，保证生产持续进行，设置阀门也可以调节进料的流量。

进一步的，所述镀膜机构、所述涂覆机构和所述压延机构中还设有用于检测镀膜和涂覆厚度的超声波测厚仪，所述超声波测厚仪与所述控制器电连接。

采用上述方案的有益效果是，通过超声波测厚仪实时监测镀膜厚度和涂覆材料厚度，反馈给控制器，通过控制器改变溅射阴极的溅射功率来改变溅射镀膜的厚度，或控制推动件及刮刀调节涂覆材料的厚度，使最终得到的电池电极有更小更均匀的厚度，能使相同体积和重量情况下的电池能量大幅提升，同时本机构易于控制，采用本实用新型可以使锂离子电池单层厚度约达 50μm(其中铝膜2μm+正极材料10μm+介质+铜膜1μm+负极材料10μm)左右，使电池的体积减少近50％，由于电极部分的厚度明显减小，因此使电池的重量大幅降低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的结构示意图。

图2为本实用新型过渡机构的结构示意图。

图3为本实用新型缓冲辊的结构示意图。

图4为本实用新型镀膜装置的结构示意图。

图5为本实用新型冷却辊在真空腔体中的连接示意图。

图6为本实用新型涂覆机构的结构示意图。

图7为本实用新型刮刀的结构示意图。

图8为本实用新型压延机构的结构示意图

图9为本实用新型加热装置的结构示意图。

图10为本实用新型超声波测厚仪的工作流程图。

图11为本实用新型温度测量仪的工作流程图。

图12为本实用新型缓冲辊调节的工作流程图。

其中：

10-放卷机构；20-第一镀膜机构；21-冷却辊；201-升降驱动件；202- 溅射镀膜组件；203-支撑连接板；204-屏蔽罩；205-阴极结构；206-水冷连接件；207-遮挡板；208-水冷软管；209-水冷接头；

30-第一烘干压延机构；31-加热装置；311-红外加热管；312-安装架；32- 加热辊；

40-涂覆机构；41-刮刀；42-储料罐；43-涂覆材料过渡辊；421-搅拌轮；

44-喷料口；

50-压延机构；51-推动件；52-压辊；53-滑块；

60-第二镀膜机构；70-换向机构；80-第二烘干压延机构；90-收卷机构；

100-过渡机构；101-缓冲辊；102-支撑架；103-过渡辊；104-上限位开关； 105-下限位开关；1011-配重块；

110-磁流体密封件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本实用新型实施例公开了一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，包括多个真空腔体以及分别设置在独立的真空腔体内的：沿第一方向输送PET膜的放卷机构10，第一镀膜机构20，第一烘干压延机构30，第二镀膜机构60，换向机构70，第二烘干压延机构80，收卷机构90和PLC控制器，PLC控制器均与上述机构电连接，其中，上述机构所在的真空腔体内两侧均设有固定安装板，各真空腔体之间留有可供PET膜通过的开口，开口大小略大于PET 膜，以便PET膜顺利通过各个真空腔体；

具体的，第一镀膜机构20设置在放卷机构10和第一烘干压延机构30之间，第一镀膜机构20包括镀膜装置和沿第一方向排列的并相互传动连接的多个冷却辊21，冷却辊21采用双层套管结构，内管为进水管外管为出水管，实现冷却水的流进流出，多个冷却辊21上套设有不锈钢冷却带作为传送带，使 PET膜与不锈钢冷却带完全贴合，不锈钢冷却带通过水冷辊进行冷却，镀膜装置设置在不锈钢冷却带的上方，包括：升降驱动件201、溅射镀膜组件202 和水冷组件，升降驱动件201设置在真空腔体的外部顶端，可以是气缸或液压缸，其驱动杆贯穿真空腔体的顶板与内部的溅射镀膜组件202固定连接；溅射镀膜组件202包括支撑连接板203、屏蔽罩204和阴极结构205，阴极结构205固定连接在屏蔽罩204内与控制器电连接，且阴极结构205的底部设有阴极靶材，屏蔽罩204的顶部与支撑连接板203通过水冷连接件206固定连接，支撑连接板203的下方固定连接有遮挡板207，遮挡板207上均匀开设有多个矩形孔；水冷组件设置在真空腔体中，包括水冷软管208、水冷接头 209和水冷连接件206，水冷连接件206为贯穿支撑连接板203的管状结构，水冷连接件206的底端与阴极结构205对应；水冷接头209设置在真空腔体的顶部并外接冷却水，水冷软管208一端连接水冷接头209的底端，另一端与水冷连接件206的顶端连通；多个冷却辊21的进料端和出料端均设有压紧辊，需要说明的是，第一镀膜机构20所在的真空腔体内两侧均设有固定安装板，压紧辊的两端所对应的固定安装板上设有竖直导轨，压紧辊两端设置有轴承，轴承与导轨滑动连接，依靠压紧辊自身重量压紧薄膜。

有利的是，在不锈钢冷却带的上方可以设有多个相互独立的镀膜装置，每个镀膜装置可将一定厚度的金属膜镀到PET膜上，增加镀膜装置的数量可使镀膜厚度增加。

第一烘干压延机构30包括加热装置31和沿第一方向排列的并相互传动连接的多个加热辊32，加热装置31设置在多个加热辊32的上方，多个加热辊32的进料端与多个冷却辊21的出料端对应，且多个加热辊32的进料端设有涂覆机构40，其出料端设有压延机构50，可以采用电磁加热辊，并由电机直接驱动，其余电磁加热辊由同步带和同步轮连接和传递动力，各电磁加热辊受PLC控制器控制，有利于调节每一个加热辊的温度；

涂覆机构40包括刮刀41、储料罐42和涂覆材料过渡辊43，储料罐42 顶部连接有进料管，进料管设有两个并分别设有阀门；储料罐42的底部具有喷料口44，喷料口44与涂覆材料过渡辊43对应，涂覆材料过渡辊43水平设置在多个加热辊32的进料端的正上方，与位于下方的加热辊32同步传动连接，需要说明的是，第一烘干压延机构30所在的真空腔体内两侧均设有固定安装板，涂覆材料过渡辊43两端安装有轴承，轴承与两侧固定安装板连接使涂覆材料过渡辊43在一个固定的位置上转动，并且涂覆材料过渡辊43通过同步轮和同步带与加热辊32传动连接。

涂覆材料过渡辊43的一侧设有刮刀41，刮刀41的刀轴的两端通过轴承固定在两侧的固定安装板上，刀轴的一端通过磁流体密封件与真空腔体的内壁密封连接，并伸出真空腔体，通过联轴器与外部的减速电机传动连接，减速电机与控制器电连接，控制器可控制刀轴做微量转动，调节刀刃与涂覆材料过渡辊之间的缝隙，以改变涂覆材料的厚度，刮刀41与涂覆材料过渡辊43 的侧面抵接。

压延机构50包括推动件51、轴承和压辊52，压辊52水平设置在多个加热辊32的出料端的正上方，压辊52的两端套接有轴承，两侧的固定安装板上的导轨均滑动连接有滑块53，推动件51设置在滑块53的上方并与控制器电连接，其驱动端与滑块53固定连接，带动滑块53在导轨上下运动；

在一个具体的实施例中，推动件51包括驱动电机和竖向设置的丝杆，丝杆的底端与滑块固定连接，丝杆的顶端与驱动电机固定连接，驱动电机与控制器电连接。

有利的，第一烘干压延机构中还设有温度测量仪，探测红外加热装置和每个加热辊的温度，可采用PT100热电偶，测得的温度与目标温度进行对比，通过PLC控制器调整红外加热管或电磁加热辊发热的功率来使实际温度达到设定的目标温度。

更有利的是，储料罐42内设有搅拌轮421，将储存罐里的涂覆材料进行搅拌，使材料配比和粘度保持均匀。

在一个具体的实施例中，加热装置31包括红外加热管311和安装架312，安装架312两侧沿长度方向对应开设有多个安装孔，多个红外加热管311与安装孔一一对应，红外加热管311两端分别固定在安装架312两侧的安装孔中。

第二镀膜机构60与第一镀膜机构20结构相同，设置在第一烘干压延机构30的正上方，用于沿第二方向输送PET膜；第二烘干压延机构80与第一烘干压延机构30的结构相同，第二烘干压延机构80的进料端与第二镀膜机构60的出料端对应；收卷机构90与第二烘干压延机构80的压延机构50对应，用于沿第二方向回收PET膜；其中电磁加热辊、压紧辊、冷却辊、涂覆过渡辊均采用不锈钢镀铬镜面，且均采用固定在两侧固定安装板的安装方式，一端通过磁流体密封件110与真空腔体连接，并伸出真空腔体外与外部动力传输，多个电磁加热辊之间与多个冷却辊之间在真空腔体内采用同步轮同步带的方式传动，冷却辊21进水的一端伸出真空腔体的外部，与真空腔体的连接处采用磁流体密封件110密封连接。

在一个具体的实施例中，为维持PET膜传送过程的恒定张力，还包括过渡机构100，过渡机构100分别设置在第一镀膜机构20与第一烘干压延机构 30之间，第二镀膜机构60与第二烘干压延机构80之间；过渡机构100包括缓冲辊101、支撑架102、多个过渡辊103、上限位开关104和下限位开关105，由于PET膜很薄，所以多个部位需要过渡辊传动来维持张力，过渡辊和缓冲辊均采用铝管表面镜面氧化处理，保证PET膜的平整，支撑架102两侧对应设有竖直导轨，缓冲辊101两端与竖直导轨滑动连接，多个过渡辊103分布在缓冲辊101的两侧，通过轴承固定在固定安装板上且间隔错落设置；竖直滑轨上位于缓冲辊101的上方和下方，分别安装有上限位开关104和下限位开关105，上、下限位开关均包括一对光电开关，每对光电开关均由型号为 E3JK-5L的发射器和E3JK-5DM1的接收器组成，且均与控制器电连接。

有利的是，缓冲辊101的两端可拆卸连接有配重块1011，缓冲辊可以在竖直导轨内上下移动，由于PET膜张力的大小由缓冲辊的重量决定，根据薄膜的厚度来调整缓冲辊的重量，可在缓冲辊的两端加配重块来调整张力大小，以保持恒定张力，使放卷过程平顺进行，配重块采用ABS塑料材质。

为进一步优化上述技术方案，在镀膜装置、涂覆机构40和压延机构50 中还设有用于检测镀膜和涂覆厚度的超声波测厚仪，采用TT700超声波测厚仪与控制器电连接。

在一个具体的实施例中，换向机构70的两端分别对应第一烘干压延机构 30的出料端与第二镀膜机构60的进料端，且换向机构70用于将PET膜的正反面翻转，使PET膜的未加工面沿第二方向输送，具体的，换向机构70包括两个呈上下布置的张紧装置，每个张紧装置也包括缓冲辊101、支撑架102、多个过渡辊103、上限位开关104和下限位开关105，其结构与过渡机构100 类似，即能使PET膜传输过程中保持恒定张力使放卷过程平顺进行，又完成了PET膜正反面的翻转，将PET膜传送给第二镀膜机构60的进料端。

在另一个具体的实施例中，放卷机构包括由电机驱动的放卷轮和张紧装置，收卷机构包括由电机驱动的收卷轮和张紧装置，采用张紧装置的目的也是为了使PET膜传输过程中保持恒定张力使收、放卷过程平顺进行。

一种连续PET塑料膜双面快速表面镀膜、涂覆方法，包括以下步骤：

(1)通过放卷机构的过渡辊和缓冲辊的作用和调解，将PET膜输送到镀膜机构的真空腔体，并通过压紧辊的作用，使PET膜与不锈钢冷却带完全贴合，不锈钢冷却带通过水冷辊进行冷却，上方的阴极结构通过金属靶材，向基材的一面溅射铜膜；

(2)镀完一面铜膜的PET膜经过过渡机构，继续通过过渡辊、缓冲辊，进入第一烘干压延机构，由涂覆材料过渡辊将负极材料涂覆在刚镀好的铜膜上，红外加热器、电磁加热辊烘烤负极材料，而后通过压延机构的压延过程达到需要的材料密度和致密性，负极材料的涂覆宽度由喷料口的宽度决定，厚度主要由材料涂覆的厚度和压延机构决定；

(3)PET膜经过换向机构通过过渡辊、缓冲辊的作用和调解下，使基材的另一面朝上，继续进入溅射镀铝膜的第二镀膜机构，镀膜过程与镀铜膜过程相同；

(4)PET膜继续进入过渡机构，通过过渡辊、缓冲辊再进入第二烘干压延机构来进行正极材料的涂覆，该过程与负极材料的涂覆相同；

(5)镀好的PET膜进入收卷机构，通过过渡辊、缓冲辊，以及收卷轮将镀膜完毕的PET膜收卷，整个镀膜过程完成。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，包括多个真空腔体以及分别设置在独立的真空腔体内的：

沿第一方向输送PET膜的放卷机构(10)；

第一镀膜机构(20)，所述第一镀膜机构(20)设置在所述放卷机构(10)和第一烘干压延机构(30)之间，所述第一镀膜机构(20)包括镀膜装置和沿第一方向排列的并相互传动连接的多个冷却辊(21)，所述镀膜装置设置在多个所述冷却辊(21)的上方，多个所述冷却辊(21)的进料端和出料端均设有压紧辊；

第一烘干压延机构(30)，所述第一烘干压延机构(30)包括加热装置(31)和沿第一方向排列的并相互传动连接的多个加热辊(32)，所述加热装置(31)设置在多个所述加热辊(32)的上方，多个所述加热辊(32)的进料端与多个所述冷却辊(21)的出料端对应，且多个所述加热辊(32)的进料端设有涂覆机构(40)，其出料端设有压延机构(50)；

第二镀膜机构(60)，所述第二镀膜机构(60)与所述第一镀膜机构(20)结构相同，设置在所述第一烘干压延机构(30)的正上方；

换向机构(70)，所述换向机构(70)的两端分别对应所述第一烘干压延机构(30)的出料端与所述第二镀膜机构(60)的进料端，且所述换向机构(70)用于将所述PET膜的正反面翻转，使所述PET膜的未加工面沿第二方向输送；

第二烘干压延机构(80)，所述第二烘干压延机构(80)与所述第一烘干压延机构(30)的结构相同，所述第二烘干压延机构(80)的进料端与所述第二镀膜机构(60)的出料端对应；

收卷机构(90)，所述收卷机构(90)与所述第二烘干压延机构(80)的压延机构(50)对应，用于沿第二方向回收PET膜；

控制器，所述控制器均与上述各个机构电连接。

2.根据权利要求1所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，还包括过渡机构(100)，所述过渡机构(100)分别设置在所述第一镀膜机构(20)与第一烘干压延机构(30)之间，所述第二镀膜机构(60)与第二烘干压延机构(80)之间；

所述过渡机构(100)包括缓冲辊(101)、支撑架(102)、多个过渡辊(103)、上限位开关(104)和下限位开关(105)，所述支撑架(102)两侧对应设有竖直导轨，所述缓冲辊(101)两端与所述竖直导轨滑动连接，多个所述过渡辊(103)分布在所述缓冲辊(101)的两侧，且间隔错落设置；所述竖直导轨上位于所述缓冲辊(101)的上方和下方，分别安装有所述上限位开关(104)和所述下限位开关(105)，所述上限位开关(104)和所述下限位开关(105)均与所述控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述缓冲辊(101)的两端可拆卸连接有配重块(1011)。

4.根据权利要求1所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述镀膜装置包括：

升降驱动件(201)，所述升降驱动件(201)设置在所述真空腔体的外部顶端，其驱动杆贯穿所述真空腔体的顶板与内部的溅射镀膜组件(202)固定连接；

溅射镀膜组件(202)，所述溅射镀膜组件(202)包括支撑连接板(203)、屏蔽罩(204)和阴极结构(205)，所述阴极结构(205)固定连接在所述屏蔽罩(204)内与所述控制器电连接，且所述阴极结构(205)的底部设有阴极靶材，所述屏蔽罩(204)的顶部与所述支撑连接板(203)通过水冷连接件(206)固定连接，所述支撑连接板(203)的下方固定连接有遮挡板(207)，所述遮挡板(207)上均匀开设有多个矩形孔；

水冷组件，所述水冷组件设置在所述真空腔体中，包括水冷软管(208)、水冷接头(209)和所述水冷连接件(206)，所述水冷连接件(206)为贯穿所述支撑连接板(203)的管状结构，所述水冷连接件(206)的底端与所述阴极结构(205)对应；所述水冷接头(209)设置在所述真空腔体的顶部并外接冷却水，所述水冷软管(208)一端连接所述水冷接头(209)的底端，另一端与所述水冷连接件(206)的顶端连通。

5.根据权利要求1所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述加热装置(31)包括红外加热管(311)和安装架(312)，所述安装架(312)两侧沿长度方向对应开设有多个安装孔，多个所述红外加热管(311)与所述安装孔一一对应，所述红外加热管(311)两端分别固定在所述安装架(312)两侧的所述安装孔中，每个所述红外加热管(311)均与所述控制器电连接。

6.根据权利要求1所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述压延机构(50)包括推动件(51)、轴承和压辊(52)，所述压辊(52)水平设置在多个所述加热辊(32)的出料端的正上方，与位于下方的所述加热辊(32)同步传动连接，所述压辊(52)的两端套接有所述轴承，所述推动件(51)设置在所述轴承的上方并与所述控制器电连接，其驱动端与所述轴承固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述涂覆机构(40)包括刮刀(41)、储料罐(42)和涂覆材料过渡辊(43)，所述储料罐(42)顶部连接有进料管，所述进料管设有两个并分别设有阀门；所述储料罐(42)的底部具有喷料口(44)，所述喷料口(44)与所述涂覆材料过渡辊(43)对应，所述涂覆材料过渡辊(43)水平设置在多个所述加热辊(32)的进料端的正上方，与位于下方的所述加热辊同步传动连接，所述涂覆材料过渡辊(43)的一侧设置有所述刮刀(41)，所述刮刀(41)与所述控制器电连接，所述刮刀(41)的刀刃与所述涂覆材料过渡辊(43)之间留有用于活性物质混合剂经过的间隙。

8.根据权利要求7所述的一种PET膜双面快速镀膜、涂覆设备，其特征在于，所述镀膜装置、所述涂覆机构(40)和所述压延机构(50)中还设有用于检测镀膜和涂覆厚度的超声波测厚仪，所述超声波测厚仪与所述控制器电连接。

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