CN212492208U - 一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，属于六氟乙烷提纯技术领域，所述制备高纯六氟乙烷的吸附装置包括调温罐，所述调温罐顶端固定安装有温度检测仪，且调温罐右侧固定连接有导管A，所述导管A右侧固定安装有调压罐，所述调压罐顶端固定安装有压力检测仪。本实用新型温度压力调节到所需后六氟乙烷通过导管B进入到吸附罐中，由吸附板进行吸附除去，设备整体可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质，获得更高的纯度，打开由壳体A以及壳体B组成的吸附罐，工作人员可直接将吸附板从U型卡块A以及U型卡块B之间的卡扣连接中拉出，方便对吸附板上所吸附的有机杂质进行清理，适合被广泛推广和使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及六氟乙烷提纯技术领域，尤其涉及一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置。
背景技术
六氟乙烷，又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃，亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。
目前，六氟乙烷在提纯去杂质技术上存在一定不足：1、以往在制备六氟乙烷时有机杂质不易去除的问题；2、以往在提纯六氟乙烷时不易清理所滤杂质的问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，温度压力调节到所需后六氟乙烷通过导管B进入到吸附罐中，由吸附板进行吸附除去，设备整体可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质，获得更高的纯度，打开由壳体A以及壳体 B组成的吸附罐，工作人员可直接将吸附板从U型卡块A以及U型卡块B之间的卡扣连接中拉出，方便对吸附板上所吸附的有机杂质进行清理，可以有效解决背景技术中的问题。
本实用新型提供的具体技术方案如下：
本实用新型提供的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，包括调温罐，所述调温罐顶端固定安装有温度检测仪，且调温罐右侧固定连接有导管A，所述导管A右侧固定安装有调压罐，所述调压罐顶端固定安装有压力检测仪，所述调压罐右侧固定连接有导管B，所述导管B右侧固定安装有吸附罐，所述吸附罐包括壳体A以及壳体B，所述壳体A以及壳体B一侧通过铰链进行活动连接，且壳体A以及壳体B另一侧均镶嵌连接有插块，所述插块呈直线分布，且插块上贯穿有螺杆，所述螺杆末端螺纹连接有螺母，所述吸附罐上端内壁固定连接有顶板，所述顶板底部固定连接有U型卡块A，所述吸附罐底部内壁固定连接有U型卡块B，所述U型卡块A与U型卡块B之间卡扣连接有吸附板。
可选的，所述调温罐左侧开设有进料管。
可选的，所述调温罐外侧壁固定连接有提把A，所述调压罐外侧壁固定连接有提把B。
可选的，所述吸附板包括板体以及吸附剂层，所述吸附剂层涂敷于板体表层。
可选的，所述吸附罐右侧固定连接有导管C，所述导管C末端固定安装有存储罐。
本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型实用，操作方便且使用效果好，六氟乙烷呈气态，通过进料管进入到调温罐中，对内部六氟乙烷进行温度调节，在这一过程中，温度检测仪可以实时监测罐体内部六氟乙烷的温度，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，温度调节到所需温度后六氟乙烷通过导管A进入到调压罐中，由相应增压泵对罐体内部气体进行增压处理，在这一过程中，压力检测仪可以实时监测罐体内部六氟乙烷的压力，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，压力调节到所需压力后六氟乙烷通过导管B进入到吸附罐中，由吸附板进行吸附除去，吸附板上的吸附剂采用专利号CN1455699 所公开的一种生产吸附剂方法，原炭用酸洗涤，然后用水洗涤，将原炭脱氧和或脱水，原炭在温度500-700℃下再碳化，原炭在温度700-900℃下在包含惰性气体、二氧化碳和水蒸汽的混合气体流中活化，从而制备出吸附剂产品，设备整体可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质，获得更高的纯度，从而解决了以往在制备六氟乙烷时有机杂质不易去除的问题。
2、本实用新型中，使用人员通过使用相关工具对螺杆底部的螺母进行拆卸，从而将螺杆从插块上的插孔中取出，铰链活动下打开由壳体A以及壳体B 组成的吸附罐，工作人员可直接将吸附板从U型卡块A以及U型卡块B之间的卡扣连接中拉出，方便对吸附板上所吸附的有机杂质进行清理，从而解决了以往在提纯六氟乙烷时不易清理所滤杂质的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型实施例的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置的吸附板结构示意图；
图3为本实用新型实施例的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置的吸附罐剖视结构示意图；
图中：1、调温罐；2、提把A；3、进料管；4、温度检测仪；5、导管A； 6、调压罐；7、提把B；8、压力检测仪；9、导管B；10、吸附罐；1001、壳体A；1002、壳体B；1003、铰链；1004、插块；11、顶板；12、U型卡块A； 13、U型卡块B；14、吸附板；1401、板体；1402、吸附剂层；15、螺杆；16、螺母；17、导管C；18、存储罐。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面将结合图1～图3，对本实用新型实施例的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置进行详细的说明。
如图1-3所示，一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，包括调温罐1，所述调温罐1顶端固定安装有温度检测仪4，且调温罐1右侧固定连接有导管A5，所述导管A5右侧固定安装有调压罐6，所述调压罐6顶端固定安装有压力检测仪8，所述调压罐6右侧固定连接有导管B9，所述导管B9右侧固定安装有吸附罐10，所述吸附罐10包括壳体A1001以及壳体B1002，所述壳体A1001 以及壳体B1002一侧通过铰链1003进行活动连接，且壳体A1001以及壳体B1002另一侧均镶嵌连接有插块1004，所述插块1004呈直线分布，且插块1004 上贯穿有螺杆15，所述螺杆15末端螺纹连接有螺母16，所述吸附罐10上端内壁固定连接有顶板11，所述顶板11底部固定连接有U型卡块A12，所述吸附罐10底部内壁固定连接有U型卡块B13，所述U型卡块A12与U型卡块 B13之间卡扣连接有吸附板1。
本实施例中如图1-3所示，六氟乙烷呈气态，通过进料管3进入到调温罐 1中，对内部六氟乙烷进行温度调节，在这一过程中，温度检测仪4可以实时监测罐体内部六氟乙烷的温度，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，温度调节到所需温度后六氟乙烷通过导管A5进入到调压罐6中，由相应增压泵对罐体内部气体进行增压处理，在这一过程中，压力检测仪8可以实时监测罐体内部六氟乙烷的压力，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，压力调节到所需压力后六氟乙烷通过导管B9进入到吸附罐10中，由吸附板14进行吸附除去，吸附板14上的吸附剂采用专利号CN1455699 所公开的一种生产吸附剂方法，原炭用酸洗涤，然后用水洗涤，将原炭脱氧和或脱水，原炭在温度500-700℃下再碳化，原炭在温度700-900℃下在包含惰性气体、二氧化碳和水蒸汽的混合气体流中活化，从而制备出吸附剂产品，设备整体可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质，获得更高的纯度，从而解决了以往在制备六氟乙烷时有机杂质不易去除的问题；使用人员通过使用相关工具对螺杆15底部的螺母16进行拆卸，从而将螺杆15从插块1004上的插孔中取出，铰链1003活动下打开由壳体A1001以及壳体B1002组成的吸附罐10，工作人员可直接将吸附板14从U型卡块A12以及U型卡块B13之间的卡扣连接中拉出，方便对吸附板14上所吸附的有机杂质进行清理，从而解决了以往在提纯六氟乙烷时不易清理所滤杂质的问题。
其中，所述调温罐1左侧开设有进料管3。
本实施例中如图1所示，六氟乙烷通过进料管3进入到调温罐1中。
其中，所述调温罐1外侧壁固定连接有提把A2，所述调压罐6外侧壁固定连接有提把B7。
本实施例中如图1所示，提把A2以及提把B7方便工作人员对调温罐1 以及调压罐6进行搬运。
其中，所述吸附板14包括板体1401以及吸附剂层1402，所述吸附剂层 1402涂敷于板体1401表层。
本实施例中如图2所示，吸附板14上的吸附剂采用专利号CN1455699所公开的一种生产吸附剂方法，原炭用酸洗涤，然后用水洗涤，将原炭脱氧和或脱水，原炭在温度500-700℃下再碳化，原炭在温度700-900℃下在包含惰性气体、二氧化碳和水蒸汽的混合气体流中活化，从而制备出吸附剂产品，可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质。
其中，所述吸附罐10右侧固定连接有导管C17，所述导管C17末端固定安装有存储罐18。
本实施例中如图1所示，提纯后的六氟乙烷通过导管C17进入存储罐18 中进行储存。
需要说明的是，本实用新型为一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，工作时，六氟乙烷呈气态，通过进料管3进入到调温罐1中，对内部六氟乙烷进行温度调节，在这一过程中，温度检测仪4可以实时监测罐体内部六氟乙烷的温度，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，温度调节到所需温度后六氟乙烷通过导管A5进入到调压罐6中，由相应增压泵对罐体内部气体进行增压处理，在这一过程中，压力检测仪8可以实时监测罐体内部六氟乙烷的压力，并将相信信息通过直观数值的方式呈现给工作人员查看，压力调节到所需压力后六氟乙烷通过导管B9进入到吸附罐10中，由吸附板14进行吸附除去，吸附板14上的吸附剂采用专利号CN1455699所公开的一种生产吸附剂方法，原炭用酸洗涤，然后用水洗涤，将原炭脱氧和或脱水，原炭在温度500-700℃下再碳化，原炭在温度700-900℃下在包含惰性气体、二氧化碳和水蒸汽的混合气体流中活化，从而制备出吸附剂产品，设备整体可以除去六氟乙烷粗品中的有机杂质，获得更高的纯度，从而解决了以往在制备六氟乙烷时有机杂质不易去除的问题；使用人员通过使用相关工具对螺杆15底部的螺母16进行拆卸，从而将螺杆15从插块1004上的插孔中取出，铰链1003活动下打开由壳体 A1001以及壳体B1002组成的吸附罐10，工作人员可直接将吸附板14从U型卡块A12以及U型卡块B13之间的卡扣连接中拉出，方便对吸附板14上所吸附的有机杂质进行清理，从而解决了以往在提纯六氟乙烷时不易清理所滤杂质的问题；提纯后的六氟乙烷通过导管C17进入存储罐18中进行储存。所述元器件具体的型号为JZK-601Z温度检测仪；GM520压力检测仪。
本实用新型的调温罐1；提把A2；进料管3；温度检测仪4；导管A5；调压罐6；提把B7；压力检测仪8；导管B9；吸附罐10；壳体A1001；壳体B1002； 1003铰链；插块1004；顶板11；U型卡块A12；U型卡块B13；吸附板14；板体1401；吸附剂层1402；螺杆15；螺母16；导管C17；存储罐18部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (5)
1.一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，包括调温罐(1)，其特征在于，所述调温罐(1)顶端固定安装有温度检测仪(4)，且调温罐(1)右侧固定连接有导管A(5)，所述导管A(5)右侧固定安装有调压罐(6)，所述调压罐(6)顶端固定安装有压力检测仪(8)，所述调压罐(6)右侧固定连接有导管B(9)，所述导管B(9)右侧固定安装有吸附罐(10)，所述吸附罐(10)包括壳体A(1001)以及壳体B(1002)，所述壳体A(1001)以及壳体B(1002)一侧通过铰链(1003)进行活动连接，且壳体A(1001)以及壳体B(1002)另一侧均镶嵌连接有插块(1004)，所述插块(1004)呈直线分布，且插块(1004)上贯穿有螺杆(15)，所述螺杆(15)末端螺纹连接有螺母(16)，所述吸附罐(10)上端内壁固定连接有顶板(11)，所述顶板(11)底部固定连接有U型卡块A(12)，所述吸附罐(10)底部内壁固定连接有U型卡块B(13)，所述U型卡块A(12)与U型卡块B(13)之间卡扣连接有吸附板(14)。
2.根据权利要求1所述的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，其特征在于，所述调温罐(1)左侧开设有进料管(3)。
3.根据权利要求1所述的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，其特征在于，所述调温罐(1)外侧壁固定连接有提把A(2)，所述调压罐(6)外侧壁固定连接有提把B(7)。
4.根据权利要求1所述的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，其特征在于，所述吸附板(14)包括板体(1401)以及吸附剂层(1402)，所述吸附剂层(1402)涂敷于板体(1401)表层。
5.根据权利要求1所述的一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置，其特征在于，所述吸附罐(10)右侧固定连接有导管C(17)，所述导管C(17)末端固定安装有存储罐(18)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020380199.6U CN212492208U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202020380199.6U CN212492208U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212492208U true CN212492208U (zh) | 2021-02-09 |
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| CN202020380199.6U Active CN212492208U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种制备高纯六氟乙烷的吸附装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN212492208U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114823326A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法 |
-
2020
- 2020-03-23 CN CN202020380199.6U patent/CN212492208U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114823326A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 | 一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法 |
| CN114823326B (zh) * | 2022-03-30 | 2023-09-12 | 宿州伊维特新材料有限公司 | 一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法 |
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