CN212475385U - 一种柔性屏搬运载台 - Google Patents
一种柔性屏搬运载台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212475385U CN212475385U CN202020198185.2U CN202020198185U CN212475385U CN 212475385 U CN212475385 U CN 212475385U CN 202020198185 U CN202020198185 U CN 202020198185U CN 212475385 U CN212475385 U CN 212475385U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flexible screen
- negative pressure
- stage
- microscope carrier
- platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本申请提供一种柔性屏搬运载台,所述搬运载台包括载台基座(1)和设置于所述载台基座(1)上方的载台本体(2),所述载台基座(1)与所述载台本体(2)之间形成负压腔(3),所述载台本体(2)中密布有微孔,所述载台本体(2)的抗弯强度至少为80Mpa,在所述负压腔提供负压后,所述载台本体通过微孔对放置于其上的柔性屏施加均匀的吸附力,从而柔性屏被牢固地吸附于载台上,并且,由于所施加的负压均匀,被搬运的柔性屏表面不会出现吸附凹点,从而,由相机采集的图像中不会产生由于吸附凹点而形成的影响检测的缺陷影像。
Description
技术领域
本申请属于光学设备领域,特别涉及一种柔性屏搬运载台。
背景技术
柔性屏,例如,柔性OLED显示屏为显示屏行业发展趋势,市场对其需求越来越大,但是,柔性屏自动化生产中采用传统硬质屏产线设备难以搬运,具体地,用于搬运LCD硬屏的载台可以使用铝合金等硬质材料,在载台上开设真空吸附孔,将硬质屏放置于所述载台后通过所述真空吸附孔对所搬运的硬质屏进行真空吸附,由于该设备提供的真空吸附只能吸附局部区域,因此,直接使用该设备柔性屏会使柔性屏的未吸附区域翘起,造成柔性屏不平整,并且,一般硬质载台上开设的吸附孔较大,真空吸附时会在柔性屏上形成吸附凹点,图1示出柔性屏在传统硬质屏搬运载台上被吸附后表面结构示意图,如图1所示,圆框中标示的浅表凹点可以通过,但是,方框中标示的吸附凹坑会导致由相机所采集的图像上产生缺陷影像,但是这些缺陷影像可能为假缺陷,增加柔性屏质量检测难度。
实用新型内容
为解决传统搬运载台对搬运柔性屏幕搬运不友好,为后续检测步骤带来干扰等问题,本申请提供一种柔性屏搬运载台,所述载台具有微孔复合结构,抗弯强度为80Mpa,从而,可以通过密布于所述载台上的微孔吸附放置于载台上的柔性屏,使得柔性屏能够均匀稳定地吸附于所述载台上,并且不会在柔性屏表面形成任何吸附凹点,便于后续质量检测。
本申请的目的在于提供一种柔性屏搬运载台,所述搬运载台包括载台基座1和设置于所述载台基座1上方的载台本体2,所述载台基座1与所述载台本体2之间形成负压腔3,所述载台本体2中密布有微孔,所述载台本体2的抗弯强度至少为80Mpa。
本申请人发现,利用具有微孔结构的材料制造载台本体,可以利用微孔孔道与负压腔连通,对放置于所述载台本体上的柔性屏利用负压进行吸附固定,由于微孔密集分布于所述载台本体上,微孔的分布可以认为是均匀的,并且,所述微孔的孔径很小,因此,本申请提供的搬运载台对柔性屏产生的吸附力可以认为是均匀的,并且,所述柔性屏的形变小,不会产生明显的吸附凹点。
在一种可实现的方式中,所述载台本体2中微孔的孔径为10~15μm,使得微孔与负压腔之间形成通畅的气流通路,并且,不会在柔性屏上形成明显的吸附凹点。
进一步地,所述载台本体2中微孔的密度至少为约800万个/cm3,从而为负压吸附提供充足的负压孔道。
在一种可实现的方式中,所述负压腔3的形状与所搬运柔性屏的形状相似,在本实例中所述“相似”是指几何意义上的相似,即,柔性屏的平面形状与负压腔3的平面形状是相似图形,并且,所述负压腔3的尺寸大于所搬运柔性屏的尺寸,使得被搬运的柔性屏能够被完全地吸附于所述搬运载台上。例如,吸附区域为方形面状,并且,吸附区域比待检测产品在载台上的接触面积大,可以理解的是,吸附区域的具体形状也可以定制。
在一种可实现的方式中,所述载台本体2的厚度为15~20mm,从而在载台本体中形成通畅的负压气道,并且,所述载台本体2能够保持不变形。
在一种可实现的方式中,所述载台本体2表面平行度为8~12μm,表面平整度为8~12μm,表面阻抗为106~109Ω,以提高搬运柔性屏的安全性。
在一种可实现的方式中,在所述负压腔3中设置有用于支撑所述载台本体2的加强筋,从而进一步避免载台本体2在负压状态下发生形变。
在一种可实现的方式中,所述载台基座1中无微孔,从而使所述载台仅在负压腔所对应的载台本体2部分形成负压,提高待搬运柔性屏在所述搬运载台上的吸附力。
在一种可实现的方式中,在所述载台基座1设置有至少一个与所述负压腔3连通的真空气管接头4,以便与负压泵连通。
与现有技术相比,本申请提供的柔性屏搬运载台在载台本体上密布有微孔,在载台本体与载台基座之间设置负压腔,所述负压腔与待搬运柔性屏的形状相似,并且尺寸略大于待搬运载台的尺寸,使得载台本体上的微孔与负压腔连通,在所述负压腔提供负压后,所述载台本体通过微孔对放置于其上的柔性屏施加均匀的吸附力,从而柔性屏被牢固地吸附于载台上,并且,由于所施加的负压均匀,被搬运的柔性屏表面不会出现吸附凹点,从而,由相机采集的图像中不会产生由于吸附凹点而形成的影响检测的缺陷影像。
附图说明
图1示出柔性屏在传统硬质屏搬运载台上被吸附后表面结构示意图;
图2示出本申请提供一种柔性屏搬运载台的结构示意图;
图3示出图2所示结构的俯视结构示意图。
附图标记说明
1-载台基座,2-载台本体,3-负压腔,4-真空气管接头。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明,其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时,除非另有表示,不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本实用新型相一致的所有实施方式。相反,它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本实用新型的一些方面相一致方法的例子。
下面通过具体的实施例对本申请提供的柔性屏搬运载台进行详细阐述。
图2示出本申请提供一种柔性屏搬运载台的主视结构示意图,图3示出图2所示结构的俯视结构示意图,如图2和图3所示,所述柔性屏搬运载台包括载台基座1和设置于所述载台基座1上方的载台本体2,所述载台基座1与所述载台本体2之间形成负压腔3。
在本实例中,所述载台本体2中密布有微孔,所述微孔在所述载台本体2中不规分布,即,载台本体2由多孔材料制造,所述多孔材料中的微孔是在制备所述多孔材料的过程中形成,所述多孔材料的结构类似人造海绵的结构。
在本实例中,所述载台本体2中微孔的孔道错布相通,使得所述载台本体2内部形成贯通所述载台本体2上下表面的气道,为所述载台本体2表面与待搬运柔性屏之间形成负压吸附提供基础。
在本实例中,所述载台本体2中微孔的孔径为10~15μm,一方面能够使得所述微孔与负压腔之间形成通畅的气流通路,另一方面,该微孔不会在待地搬运柔性屏上形成明显的吸附凹点,从而为后续采集柔性屏图像以及柔性屏质检造成干扰。
进一步地,所述载台本体2中微孔的密度至少为约800万个/cm3,从而为负压吸附提供充足的负压孔道。
在本实例中,所述载台本体2的抗弯强度至少为80Mpa,所述载台本体2的厚度为15~20mm,从而在载台本体中形成通畅的负压气道,并且能够使所述载台本体2在负压状态下保持形态稳定而不变形。
在本实例中,所述载台本体2表面平行度为8~12μm,表面平整度为8~12μm,从而使得所述载台本体2表面平整,避免柔性屏在搬运过程中在载台本体2上受损伤。
进一步地,所述载台本体2表面阻抗为106~109Ω,以提高搬运柔性屏的安全性。
在本实例中,所述负压腔3的形状与所搬运的柔性屏的形状相似,并且,所述负压腔3 的尺寸大于所搬运柔性屏的尺寸,使得被搬运的柔性屏能够被完全地吸附于所述搬运载台上,而不会发生边缘翘起来而造成柔性屏不平整的现象。
在本实例中,在所述负压腔3中可以设置有用于支撑所述载台本体2的加强筋,从而进一步避免载台本体2在负压状态下发生形变。可选地,所述加强筋可以使用具有多孔结构的刚性材料制造。
本申请对加强筋的结构以及形态不做特别限定,可以使用现有技术中任意一种能够用作加强筋的结构,以不妨碍负压腔与载台本体之间的负压连接为优选。
在本实例中,所述载台基座1中无微孔,从而使所述载台本体2仅在负压腔所对应的部分形成负压,提高待搬运柔性屏在所述搬运载台上的吸附力。
在本实例中,在所述载台基座1设置有至少与所述负压腔3连通的真空气管接头4,以便与负压泵连通,其中,至少一个真空气管接头4用于向所述负压腔3中提供负压,而其余真空气管接头4中至少一个搬运结束后释放负压,使得所述柔性屏从所述搬运载台上脱离。
本申请提供的柔性屏搬运载台利用具有微孔结构的材料制造载台本体,在载台本体与载台基座之间设置负压腔,所述负压腔与待搬运柔性屏的形状相似,并且尺寸略大于待搬运载台的尺寸,利用载台本体上的微孔与负压腔连通,在所述负压腔提供负压后,所述载台本体通过微孔对放置于其上的柔性屏施加均匀的吸附力,从而柔性屏被牢固地吸附于载台上,四周无翘起,平面度较好,并且,由于所施加的负压均匀,所述微孔的孔径很小,但吸附面积大,能够牢固吸附,并且,被搬运的柔性屏表面不会出现明显的吸附凹点,微孔所导致柔性屏的微小变形量不会影响检测,因此,本申请提供的搬运载台对柔性屏产生的吸附力可以认为是均匀的,从而,由相机采集的图像中不会产生由于吸附凹点而形成的影响检测的缺陷影像。
以下以一实例说明本申请提供的柔性屏搬运载台的工作过程:
将待搬运柔性屏置于所述搬运载台的载台本体上方的吸附区域,在所述搬运载台上设置两个气管接头,其中,一个气管接头封堵,另一个气管接头接通负压,负压通过该气管接头进入内部负压腔,再通过载台本体贯穿至载台上表面,对柔性屏进行吸附,将搬运载台固定于模组上进行后续的移栽检测。
以上结合具体实施方式和范例性实例对本申请进行了详细说明,不过这些说明并不能理解为对本申请的限制。本领域技术人员理解,在不偏离本申请精神和范围的情况下,可以对本申请技术方案及其实施方式进行多种等价替换、修饰或改进,这些均落入本申请的范围内。本申请的保护范围以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种柔性屏搬运载台,其特征在于,所述搬运载台包括载台基座(1)和设置于所述载台基座(1)上方的载台本体(2),所述载台基座(1)与所述载台本体(2)之间形成负压腔(3),所述载台本体(2)中密布有微孔,所述载台本体(2)的抗弯强度至少为80Mpa。
2.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述载台本体(2)中微孔的孔径为10~15μm。
3.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述载台本体(2)中微孔的密度至少为约800万个/cm3。
4.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述负压腔(3)的形状与所搬运的柔性屏的形状相似,并且,所述负压腔(3)的尺寸大于所搬运柔性屏的尺寸。
5.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述载台本体(2)的厚度为15~20mm。
6.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述载台本体(2)表面平行度为8~12μm,表面平整度为8~12μm,表面阻抗为106~109Ω。
7.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,在一种可实现的方式中,在所述负压腔(3)中设置有用于支撑所述载台本体(2)的加强筋。
8.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,所述载台基座(1)中无微孔。
9.根据权利要求1所述的搬运载台,其特征在于,在所述载台基座(1)设置有至少一个与所述负压腔(3)连通的真空气管接头(4)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020198185.2U CN212475385U (zh) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 一种柔性屏搬运载台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020198185.2U CN212475385U (zh) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 一种柔性屏搬运载台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN212475385U true CN212475385U (zh) | 2021-02-05 |
Family
ID=74414644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202020198185.2U Active CN212475385U (zh) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 一种柔性屏搬运载台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN212475385U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114476739A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-05-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性材料加热搬运系统和方法 |
-
2020
- 2020-02-21 CN CN202020198185.2U patent/CN212475385U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114476739A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-05-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性材料加热搬运系统和方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN212475385U (zh) | 一种柔性屏搬运载台 | |
JP4841412B2 (ja) | 基板貼合せ装置 | |
TW200914920A (en) | Apparatus for manufacturing bonded substrate | |
CN103376059A (zh) | 光学检测装置 | |
CN111170042A (zh) | 一种柔性屏搬运载台 | |
TW201445122A (zh) | 基板彎曲裝置、基板彎曲檢查裝置以及方法 | |
CA2604458A1 (en) | Method of manufacturing ceramic porous membrane | |
KR20150113397A (ko) | 플렉시블 디스플레이 및 곡면 커버 부재의 합착 장치 및 합착 방법 | |
CN106654065A (zh) | 一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法 | |
JP2014031270A (ja) | シート貼付方法及びシート貼付装置 | |
JP2014129189A (ja) | ガラス積層体の製造方法 | |
TWM355236U (en) | Carrier platform structure for vacuum suction apparatus | |
JP6290989B2 (ja) | マイクロニードル製造装置 | |
KR101695482B1 (ko) | 플렉시블 디스플레이 패널용 접합 장치 | |
US10777378B2 (en) | Transmission electron microscope micro-grid and method for making the same | |
JP2003094370A (ja) | 真空吸着パッド及びそれを用いた真空吸着装置 | |
CN209624402U (zh) | 一种卷带双面cof自动光学检测装置 | |
TWM630301U (zh) | 部分薄膜剝離結構(二) | |
JP5373008B2 (ja) | 基板貼合せ方法 | |
DE102016218771B4 (de) | Wafer-Träger, Verfahren zu dessen Herstellung und Verfahren zum Tragen eines Wafers | |
US10784141B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing display device | |
JP4018951B2 (ja) | 印刷用ブランケットの製造方法 | |
TWI274744B (en) | Tray for cutting panel and panel manufacturing method using the same | |
CN109406518A (zh) | 一种卷带双面cof自动光学检测装置及检测方法 | |
CN219907836U (zh) | 显示面板的支撑装置以及处理设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |