CN212399197U - 一种抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种抛光装置，包括固定轴和抛光部件，固定轴设在安装座上且供过线导轮套接固定；抛光部件具有圆弧型的抛光部；抛光部面向固定轴；抛光部件受驱动力运动以带动抛光部适于嵌入或退出过线导轮的V型凹槽内，并在嵌入凹槽时所述抛光部的外周壁适于与所述V型凹槽的槽底壁相切抵接；固定轴和抛光部件中的一个受驱动机构的驱动可相对于另一个绕固定轴的轴线转动。由于凹槽的槽底壁一圈分布在一个圆周面上，抛光部的外周壁可与槽底壁相切抵接，固定轴和抛光部中的一个转动一圈，抛光部的外周壁均能够相切抵接在槽底壁一圈壁上，实现对槽底壁一圈进行均匀地抛光，凹槽的槽底壁上几乎不存在毛刺，在输送丝线时，不会划伤丝线的表面。

Description

一种抛光装置

技术领域

本实用新型属于机械加工的技术领域，具体涉及一种抛光装置。

背景技术

键合丝是半导体封装五大重要结构材料之一，随着近年来电子技术的日新月异，智能家电、数码、汽车等产品的不断更新换代，促使半导体封装行业整体规模不断扩展，对封装材料的要求越来越高，要求键合丝的表面无划伤，保持所需的光洁度。

在键合丝的生产过程中，尤其是键合丝在拉拔过程中，键合丝嵌在过线导轮的V型凹槽内，通过驱动力来不断地向前输送键合丝；同时在输送过程中，键合丝穿过拉拔模具，将键合丝的直径拉细。为了键合丝在拉拔过程中形成光滑表面，现有技术中需要先采用倒立的V型刀对过线导轮的V型凹槽的壁面进行精修，之后还需要对V型凹槽的槽底壁进行抛光处理，防止V型凹槽的槽底壁上存在毛刺，若V型凹槽的槽底壁上存在毛刺，在拉拔键合丝过程中，毛刺会划伤键合丝的表面，使键合丝的表面不光滑，造成键合丝的良品率低。

现有技术中对过线导轮的V型凹槽的槽底壁进行抛光处理的方式，通常是操作人员手工拿着砂轮、布轮或砂带对V型凹槽的槽底壁进行手工擦拭抛光，手动方式抛光V型凹槽的槽底壁，一方面对V型凹槽的槽底壁的不同位置处的抛光的程度不一致，引起V型凹槽的槽底被抛光的质量差，另一方面抛光的效率低。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有的过线导轮的抛光通过人工手动擦拭抛光，引起抛光的质量差和效率低的缺陷。

为此，本实用新型提供一种抛光装置，包括

固定轴，设在安装座上且供过线导轮套接固定；

抛光部件，设在所述安装座上，其至少具有圆弧型的抛光部；所述抛光部面向所述固定轴；

所述抛光部件受驱动力运动以带动所述抛光部适于嵌入或退出所述过线导轮的V型凹槽内，并在嵌入V型凹槽时所述抛光部的外周壁适于与所述V型凹槽的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接；

所述固定轴和所述抛光部件中的一个受驱动机构的驱动可相对于另一个绕所述固定轴的轴线转动。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光部件还具有与抛光部连接的安装部；所述抛光部件通过所述安装部设在所述安装座上；所述安装部和所述抛光部形成闭合环。

可选地，上述的抛光装置，所述闭合环呈圆形环。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光部件还具有至少包裹在所述闭合环外周上的抛光布；及将所述抛光布可拆卸地固定在所述安装部上的至少一个固定组件。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光布还覆盖住所述闭合环的内腔。

可选地，上述的抛光装置，所述闭合环采用金属材料制成。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光装置还包括设在所述安装座上的转移机构；所述转移机构包括第一滑动组件，所述抛光部件固定在所述第一滑动组件上，且受所述第一滑动组件的驱动以沿垂直于固定轴的轴向的方向，做嵌入或退出所述V型凹槽的往复直线滑动。

可选地，上述的抛光装置，所述转移机构还包括设在安装座上的第二滑动组件；所述第一滑动组件固定在所述第二滑动组件上，且受所述第二滑动组件的驱动而沿固定轴的轴线做往复直线滑动。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上的吹气机构，所述吹气机构用于朝向所述固定轴方向吹出气体；所述吹气机构和所述抛光部件沿所述固定轴的轴向间隔排布；和/或

所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上或安装座上的供给机构，所述供给机构用于至少向所述抛光部件的抛光布提供抛光液。

可选地，上述的抛光装置，所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上的图像放大器，所述图像放大器位于所述抛光部的上方，用于观测所述V型凹槽的槽底壁。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的抛光装置，包括固定轴和抛光部件，固定轴设在安装座上且供过线导轮套接固定；抛光部件设在所述安装座上，其至少具有圆弧型的抛光部；所述抛光部面向所述固定轴；所述抛光部件受驱动力运动以带动抛光部适于嵌入或退出所述过线导轮的V型凹槽内，并在嵌入凹槽时所述抛光部的外周壁适于与所述V型凹槽的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接；所述固定轴和所述抛光部件中的一个受驱动机构的驱动可相对于另一个绕所述固定轴的轴线转动。

此结构的抛光装置，在对过线导轮的V型凹槽的槽底壁一周进行抛光时，将过线导轮套接并可拆卸地设在固定轴上；抛光部件受驱动力而运动，以带动抛光部嵌入过线导轮的V型凹槽内，抛光部件的外周壁与V型凹槽的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接，则驱动机构驱动固定轴转动进而带动过线导轮转动，或者驱动机构驱动抛光部件绕固定轴的轴线转动，抛光部的外周壁始终与凹槽的槽底壁相切抵接，当驱动机构转动一周，抛光部对凹槽的槽底壁一周抛光一次，重复抛光多次，即可对过线导轮的凹槽的槽底壁一圈进行均匀的抛光，凹槽的槽底壁上几乎不存在毛刺，进而采用该过线导轮输送丝线时，不会划伤丝线的表面，确保丝线表面的光洁度，提高丝线的良品率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1中提供的抛光装置的正侧示意图；

图2为本实用新型实施例1中提供的抛光装置的俯视示意图；

图3为图1中抛光装置的抛光部件与V型凹槽的槽底壁配合的示意图；

附图标记说明：

1-安装座；2-旋转电机；3-调速开关；4-固定轴；5-轴承座；6-图像放大器；7-供给机构；8-抛光部件；81-抛光部；82-安装部；83-抛光布；9-转移机构；10-吹气机构；11-控制器；12-过线导轮；13-V型凹槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种抛光装置，如图1至图3所示，抛光装置包括安装座1、固定轴4、抛光部件8及转移机构9。

其中，如图1所示，固定轴4可转动地设在安装座1上，比如，图1中，安装座1的左右两侧上设置一个轴承座5，固定轴4的两端分别通过一个轴承安装在一个轴承座5上；固定轴4受驱动机构的驱动而在安装座1上转动，比如，驱动机构为旋转电机2，旋转电机2设在安装座1上，旋转电机2的输出转轴通过联轴器与固定轴4的一端连接，从而旋转电机2转动以带动固定轴4转动。

可选地，旋转电机2为直流电机时，驱动机构还包括与直流电机连接的变频器，用于调整直流电机的转速，比如，变频器上设置有调速开关3，通过旋转调速开关3，来调整直流电机的转速。作为，变形还可以直接采用变频电机。

如图3所示，抛光部件8具有圆弧型的抛光部81和安装部82，安装部82与抛光部81连接，以围成一个闭合环，抛光部81面向固定轴4；抛光部件8受转移机构9的驱动而运动以带动抛光部81适于嵌入或退出过线导轮12的V型凹槽13内，并在嵌入凹槽时抛光部81的外周壁适于与V型凹槽的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接。

由于抛光部81的外周壁可与V型凹槽13的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接，V型凹槽的槽底壁一圈呈一个圆周面，则当固定轴4带动安装在上的过线导轮12同步转动一圈时，V型凹槽13的槽底壁一圈的圆周面均能够与抛光部81的外周壁相切抵接，从而抛光部81对V型凹槽的槽底壁一圈进行抛光一次；通过固定轴4带动过线导轮12转动多圈，抛光部81即可对槽底壁的一圈进行抛光多次，从而实现均匀地对槽底壁一圈进行抛光，槽底壁一圈所在的圆周面上几乎不存在毛刺，改善抛光质量，进而采用该过线导轮12输送丝线时，不会划伤丝线的表面，确保丝线表面的光洁度，提高丝线的良品率。

同时，在V型凹槽13的槽底壁进行抛光过程中，先通过转移机构9改变抛光部件8的位置，使抛光部81嵌入V型凹槽13内，并且抛光部81的外周壁相切抵接在V型凹槽13的槽底壁上；之后通过驱动机构来驱动固定轴4转动，抛光部件8保持不动，以实现自动抛光，进一步地提高抛光的效率。最佳地，抛光部的外周壁的宽度与V型凹槽的槽底壁的宽度一致。

抛光部件8通过安装部82设在转移机构9上；安装部82和抛光部81形成闭合环，比如闭合环为椭圆形环，最佳地，闭合环呈圆形环，便于抛光部件8的加工和安装。

抛光部件8还具有包裹在闭合环外周上并覆盖住闭合环的内腔的抛光布83；及将抛光布83可拆卸地固定在安装部82上的至少一个固定组件(图中未示意出)。可选地，抛光布83为无尘布，或者其他的擦拭布。

比如，固定组件为卡箍，将无尘布可拆卸地卡接在安装部82上，或者固定组件还可以为夹具，将无尘布可拆卸地夹持在安装部82上，从而使抛光部件8形成类似“团扇”的结构，现有的团扇的扇布将圆形环外露，扇布只是填充在闭合环的内腔，但本实施例中的抛光部件8的无尘布不仅覆盖闭合环的内腔，还需要将闭合环本身的外周包裹，闭合环外周上的无尘布直接与V型凹槽13的槽底接触，对槽底壁进行抛光。

当然，无尘布在闭合环的内腔中可以为双面，也可以为单面；如果为双面时，无尘布整体套在闭合环外；若为单面时，无尘布的一端需要套接在闭合环的外周上，最好在安装部82处预留部分，预留部分不套无尘布，以供固定组件安装，无尘布的另一端覆盖住闭合环的内腔并朝向预留部分延伸，通过固定组件固定在安装部82的预留部分上。

当抛光部81处的无尘布使用一段时间后，抛光部81处的无尘布被磨损，需要更换无尘布时，可以打开固定组件，转动闭合环上的无尘布，使未被磨损的无尘布转动到抛光部81处，再用固定组件将无尘布固定在安装部82上，从而能够对无尘布进行多次利用，降低抛光装置的成本。

可选地，上述的闭合环采用金属材料制成，比如，铝、铜、铁等，最佳地，闭合环采用弹性的金属材料制成，比如：弹性的金属材料为不锈钢、钨钼等，闭合环具有一定的弹性，当抛光部81抵接在凹槽槽底壁时，闭合环与槽底壁抵接抛光时，具有少量的变形量，缓冲抛光部81受到的集中应力，防止闭合环在抛光部81受到的应力集中过大被折断。需要说明的是：此处的弹性金属丝具有一定变形量，是在能够起到抛光作用的基础上，具有少量的变形量，来起到缓冲作用。当然也可以直接采用无弹性的硬质金属，由于闭合环存在内腔，即使抛光部处的金属丝受到集中应力，金属丝也能够稍微朝向闭合环的内腔弯曲，也能够起到较少的缓冲作用。

转移机构9包括第一滑动组件，抛光部件8固定在第一滑动组件上，且受第一滑动组件的驱动以沿垂直于固定轴4的轴向的方向，做嵌入或退出凹槽的往复直线滑动。

可选地，抛光部件8还包括设在安装部82上并位于闭合环外的支座，抛光部件8通过支座安装在第一滑动组件上。

比如，第一滑动组件为丝杠结构，第一滑动组件在图1和图2中的滑动方向为前后方向，即纸的内外方向，固定轴4的轴向为左右方向，从而通过第一滑动组件的往复直线滑动，来改变抛光部件8的位置，使抛光部件8的抛光部81嵌入V型凹槽内，抛光部81的外周壁抵接在凹槽槽底壁上；或者从V型凹槽内退出。也即，抛光部件8位于固定轴4的前侧或后侧。

最佳地，转移机构9还包括第二滑动组件，第一滑动组件固定在第二滑动组件上，且受第二滑动组件的驱动而沿固定轴4的轴向做往复直线滑动。

比如，第二滑动组件也为丝杠结构，第二滑动组件在图1和图2中的滑动方向为左右方向，从而转移机构9形成一个十字滑台结构；当第一滑动组件驱动抛光部件8的抛光部81退出V型凹槽外后，再通过第二滑动组件的滑动，来改变抛光部件8在固定轴4的轴向上的位置，以实现对固定轴4上不同位置处套设的过线导轮12的V型凹槽的槽底壁进行抛光处理，进一步地提高抛光效率。

每个丝杠结构包括丝杆、配合在丝杆上的丝杆螺母，及与丝杆固定连接的驱动电机，驱动电机驱动丝杆转动，丝杆螺母在丝杆的长度方向滑动。

如图1和图2所示，抛光装置还包括设在第一滑动组件上的吹气机构10，吹气机构10用于朝向固定轴4方向吹出气体；吹气机构10和抛光部件8沿固定轴4的轴向间隔排布，吹气机构10吹出的气体对抛光后的V型凹槽13的槽底壁上存在的抛落下的颗粒物或粉尘进行吹扫，进一步地确保抛光后的V型凹槽的槽底壁上不残留杂质。

可选地，吹气机构10吹出的气体为等离子气体，起到静电除尘的作用，进一步地改善抛光效果。吹气机构10可以为风扇、或者空调、等离子设备等。

如图1所示，抛光装置还包括设在第一滑动组件上或安装座上的供给机构7，供给机构7用于至少向抛光布83提供抛光液，从而使无尘布上含有抛光液，增大无尘布的阻尼摩擦力，以使无尘布更好地摩擦V型凹槽的槽底壁，改善抛光效果。

供给机构7包括储液箱、过滤器、泵浦及输送管，泵浦将储液箱内的抛光液抽入过滤器中进行过滤，过滤后的抛光液进入输送管内，输送管将抛光液输出给无尘布，或者再次输送至储液箱内，可以将无尘布从闭合环中取下来，直接浸泡在储液箱内的抛光液中，之后再将无尘布安装在闭合环上，确保无尘布上所采用的抛光液几乎不含杂质或含有很少量的杂质，进一步确保V型凹槽的槽底壁抛光后，槽底壁上几乎不残留杂质，进一步地改善抛光效果。

如图2所示，抛光装置还包括设在第一滑动组件上的图像放大器6，图像放大器6位于抛光部81的上方，用于观测V型凹槽的槽底壁。比如，图像放大器6为放大镜，放大镜便于随时在线观测抛光部81对V型凹槽的槽底壁的抛光情况，便于在线及时纠正不良的抛光现象，提高抛光后的过线导轮12的良品率。放大镜与上述的抛光部件8、吹气机构10受转移机构9的驱动同步移动，最佳地，如图2所示，抛光部件8和吹气机构10位于固定轴4的同一侧，放大镜位于固定轴4的另外一侧。

最佳地，第一滑动组件上设置安装架，安装架折弯悬空在固定轴4的上方，上述的放大镜设在安装架上。

另外，在安装座1上还设置控制器11，控制器11与转移机构9的丝杠结构的驱动电机及驱动机构的旋转电机2均电连接，控制器11用于控制转移机构9移动的行程，也用于控制旋转电机2的转动。

此实施方式的抛光装置在对过线导轮12进行抛光的工作过程为：

第一、将固定轴4的一端从一个轴承座5上拆卸下来，将多个过线导轮12以串联方式套接固定在固定轴4上，相邻两个过线导轮12之间间隔间距排布；之后，再将固定轴4的该端安装在对应的轴承座5上。

第二、控制器11先开启转移机构的驱动电机动作，转移机构驱动抛光部件8在图1中的前后方向及左右方向移动，以调整抛光部件8的位置，直至抛光部81嵌入一个过线导轮12的V型凹槽内，并且抛光部81的外周壁相切抵接在凹槽的槽底壁上，控制器11控制转移机构停止动作。

第三、控制器11控制旋转电机2转动，并通过变频器来调整旋转电机2的转速，之后旋转电机2驱动固定轴4转动，过线导轮12每转一圈，过线导轮12上的V型凹槽13的槽底壁一圈被抛光部81的无尘布进行摩擦抛光；通过固定轴4的转动多圈，对凹槽的槽底壁一圈抛光多次；待该过线导轮12被抛光完后；转移机构9再移动，将抛光部81先从该过线导轮12的V型凹槽内退出，比如在图1中的前后方向移动；之后再在图1中左右方向移动，改变抛光部件8的位置，使抛光部81位于下一个过线导轮12的V型凹槽处；

比如，上一个过线导轮12在图1中的右侧，下一个过线导轮12在图1中的左侧，则转移机构驱动抛光部件先朝向前侧移动，退出上一个过线导轮的V型凹槽，再朝向左侧移动，驱动抛光部件与下一个过线导轮的V型凹槽正对，再驱动抛光部件朝向后侧移动，直至抛光部的外周壁相切抵接在下一个过线导轮的V型凹槽的槽底壁上为止，此时，刚好吹气机构10正对着抛光好的上一个过线导轮12的V型凹槽的槽口；控制器11控制吹气机构10开始吹气，吹气机构10吹出的气体对抛光的凹槽槽底壁上的抛光落下的粉尘进行吹扫；依次类推，实现对固定轴4上的多个过线导轮12的V型凹槽13的槽底壁的抛光；

在抛光过程中，放大镜和抛光部件8同步移动，放大镜处于抛光部件8正在抛光的过线导轮12的正上方，对正在抛光的V型凹槽的槽底壁抛光的质量进行在线观测，便于及时纠正不良的抛光现象。

第四、当固定轴4上的所有过线导轮12的V型凹槽的槽底壁一圈被抛光后，再将固定轴4的一端从轴承座5上拆卸下来，从固定轴4上取下所有抛光后的过线导轮12；

若对不同直径的过线导轮12进行抛光时，可以通过更换不同直径的固定轴4，对应地更换不同内孔的轴承，将固定轴4安装在安装座1上，以实现对不同直径的过线导轮12的V型凹槽的槽底壁进行抛光。

作为变形实施方式，上述的转移机构9还可以为其他结构，比如，丝杠结构替换为伸缩气缸，或者齿轮与齿条的啮合结构；或者滑块与导轨配合的结构。

作为变形实施方式，抛光布83可以只包裹在闭合环的外周上，不覆盖住闭合环的内腔，也能够实现上述的摩擦抛光功能。

作为进一步的变形实施方式，抛光部件8还可以不设置安装部82，只包括圆弧型的抛光部81，在抛光部81的外周上包裹抛光布83，或者还可以不设置抛光布83，抛光部81的外周壁直接与V型凹槽的槽底壁接触，进行抛光。

作为上述的实施例的变形实施方式，驱动机构还可以不驱动固定轴4转动，而是驱动抛光部件8绕固定轴4的轴线转动，此时过线导轮12套接在固定轴4上，在抛光过程中，过线导轮12保持静止；抛光部81绕转轴的轴线转动，从而抛光部81在凹槽的槽底壁一圈上抵接转动，以实现对过线导轮12进行抛光处理。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种抛光装置，其特征在于，包括

固定轴(4)，设在安装座(1)上且供过线导轮(12)套接固定；

抛光部件(8)，设在所述安装座(1)上，其至少具有圆弧型的抛光部(81)；所述抛光部(81)面向所述固定轴(4)；

所述抛光部件(8)受驱动力运动以带动所述抛光部(81)适于嵌入或退出所述过线导轮(12)的V型凹槽内，并在嵌入V型凹槽时所述抛光部(81)的外周壁适于与所述V型凹槽的槽底壁一圈所在的圆周面相切抵接；

所述固定轴(4)和所述抛光部件(8)中的一个受驱动机构的驱动可相对于另一个绕所述固定轴(4)的轴线转动。

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光部件(8)还具有与抛光部(81)连接的安装部(82)；所述抛光部件(8)通过所述安装部(82)设在所述安装座(1)上；所述安装部(82)和所述抛光部(81)形成闭合环。

3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述闭合环呈圆形环。

4.根据权利要求2或3所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光部件(8)还具有至少包裹在所述闭合环外周上的抛光布(83)；及将所述抛光布(83)可拆卸地固定在所述安装部(82)上的至少一个固定组件。

5.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光布(83)还覆盖住所述闭合环的内腔。

6.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述闭合环采用金属材料制成。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括设在所述安装座(1)上的转移机构；所述转移机构包括第一滑动组件，所述抛光部件(8)固定在所述第一滑动组件上，且受所述第一滑动组件的驱动以沿垂直于固定轴(4)的轴向的方向，做嵌入或退出所述V型凹槽的往复直线滑动。

8.根据权利要求7所述的抛光装置，其特征在于，所述转移机构(9)还包括设在安装座(1)上的第二滑动组件；所述第一滑动组件固定在所述第二滑动组件上，且受所述第二滑动组件的驱动而沿固定轴(4)的轴线做往复直线滑动。

9.根据权利要求7所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上的吹气机构(10)，所述吹气机构(10)用于朝向所述固定轴(4)方向吹出气体；所述吹气机构(10)和所述抛光部件(8)沿所述固定轴(4)的轴向间隔排布；和/或

所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上或安装座上的供给机构(7)，所述供给机构(7)用于至少向所述抛光部件的抛光布(83)提供抛光液。

10.根据权利要求7所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括设在所述第一滑动组件上的图像放大器(6)，所述图像放大器(6)位于所述抛光部(81)的上方，用于观测所述V型凹槽的槽底壁。

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