CN212388104U - 一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，包括真空镀膜箱体，支撑底座，水冷管组件，多功能氧化铝陶瓷工件架，抽真空连接管，溅射镀膜电子枪，真空度表，温度表，加热棒，基料壳体，旋转电机，约束挂环，收纳管，固定挂钩，固定耳板，密封夹紧板和锁紧螺栓。本实用新型将氧化铝陶瓷工件的不同放置在置物托盘上或者挂置在置物挂钩上，满足不同工件镀膜的使用；旋转电机带动进行转动旋转，保障喷涂的均匀，保证镀膜质量，增加氧化铝陶瓷的硬度；利用水循环在上部横管，进水管接管，纵向冷却管，下部横管和回流水管接管流动，进行水冷操作；为防止基料壳体的关闭，用固定挂钩挂在约束挂环上进行约束，起到约束限位的作用。

Description

一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置

技术领域

本实用新型属于氧化铝陶瓷技术领域，尤其涉及一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置。

背景技术

氧化铝陶瓷是一种以氧化铝为主体的陶瓷材料，用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。需要注意的是需用超声波进行洗涤。氧化铝陶瓷是一种用途广泛的陶瓷，因为其优越的性能，在现代社会的应用已经越来越广泛，满足于日用和特殊性能的需要。

为了增强氧化铝陶瓷，显著提高其力学强度，国外新推一种氧化铝陶瓷强化工艺。该工艺新颖简单，所采取的技术手段是在氧化铝陶瓷表面，采用电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相蒸镀方法，镀上一层硅化合物薄膜，在1200℃～1580℃的加热处理，使氧化铝陶瓷钢化。

经强化的氧化铝陶瓷的力学强度可在原基础上大幅度增长，获得具有超高强度的氧化铝陶瓷

但是现有的氧化铝陶瓷还存在着不便于进行冷却降温和氧化铝陶瓷基材放置不方便的问题。

由鉴于此，发明一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置是非常必要的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，以解决现有的氧化铝陶瓷不便于进行冷却降温和氧化铝陶瓷基材放置不方便的问题。

一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，包括真空镀膜箱体，支撑底座，水冷管组件，多功能氧化铝陶瓷工件架，抽真空连接管，溅射镀膜电子枪，真空度表，温度表，加热棒，基料壳体，旋转电机，约束挂环，收纳管，固定挂钩，固定耳板，密封夹紧板和锁紧螺栓；

所述的真空镀膜箱体螺栓连接在支撑底座的上部中间位置；所述的抽真空连接管镶嵌在真空镀膜箱体的上部左侧中间位置；所述的溅射镀膜电子枪螺栓连接在真空镀膜箱体的后壁上部中间位置；所述的真空度表和温度表分别镶嵌在真空镀膜箱体的左侧上部位置；所述的真空镀膜箱体；所述的基料壳体铰链合页连接在真空镀膜箱体的右侧；所述的加热棒分别螺栓连接在真空镀膜箱体的内壁。

优选的，所述的约束挂环螺栓连接在基料壳体的后壁左下侧；所述的收纳管活动镶嵌在真空镀膜箱体的前部右下侧；所述的固定挂钩螺纹连接在收纳管的内部下侧位置；所述的固定耳板焊接在真空镀膜箱体的左下侧；所述的密封夹紧板焊接在基料壳体的右侧下部位置。

优选的，所述的水冷管组件包括上部横管，进水管接管，纵向冷却管，下部横管，回流水管接管和固定卡片，所述的进水管接管螺纹连接在上部横管的上部右侧位置；所述的纵向冷却管一端螺纹连接在上部横管的下部，另一端螺纹连接在下部横管的上部；所述的回流水管接管螺纹连接在下部横管的下部右侧位置；所述的固定卡片活动套接在上部横管和下部横管的表面。

优选的，所述的多功能氧化铝陶瓷工件架包括旋转轴，滚珠轴承，置物挂钩，支撑托盘，旋转管和置物托盘，所述的滚珠轴承分别套接在旋转轴的上端和旋转轴的外表面下部位置；所述的置物挂钩分别螺纹连接在旋转轴的左右两侧；所述的支撑托盘螺纹连接在旋转轴的外表面下部位置；所述的旋转管套接在旋转轴的外表面并位于支撑托盘的上部；所述的置物托盘螺钉连接在旋转管的外表面。

优选的，所述的水冷管组件螺钉连接在基料壳体的内侧表面；所述的多功能氧化铝陶瓷工件架纵向镶嵌在基料壳体的内部中间位置；所述的旋转电机螺栓连接在基料壳体的下部中间位置。

优选的，所述的真空度表设置温度表的上部。

优选的，所述的固定耳板设置有两个；所述的固定耳板的内部左侧开设有通孔；所述的密封夹紧板的内部开设有螺纹孔。

优选的，所述的锁紧螺栓贯穿密封夹紧板与固定耳板螺纹连接。

优选的，所述的固定卡片具体采用不锈钢抱箍片；所述的固定卡片与基料壳体的内壁螺栓连接设置。

优选的，所述的进水管接管和回流水管接管相连通；所述的进水管接管和回流水管接管分别采用L型不锈钢管。

优选的，所述的支撑托盘设置下部设置的滚珠轴承的上部。

优选的，所述的旋转轴贯穿基料壳体的下壁中间位置联轴器连接在旋转电机的输出轴上。

优选的，所述的置物挂钩具体采用不锈钢挂钩；所述的置物挂钩设置有多个；所述的置物托盘具体采用内凹的不锈钢盘；所述的置物托盘设置有多个。

优选的，所述的旋转电机和溅射镀膜电子枪分别于外部控制设备相连接；所述的抽真空连接管与外部抽真空设备相连接；所述的进水管接管和回流水管接管分别与外部水冷设备相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、根据需要镀膜的氧化铝陶瓷工件的不同放置在置物托盘上或者挂置在置物挂钩上，满足不同工件镀膜的使用；

2、在旋转电机的作用下起到转动旋转的作用，保障喷涂的均匀，保证镀膜质量，增加氧化铝陶瓷的硬度；

3、利用水循环在上部横管，进水管接管，纵向冷却管，下部横管和回流水管接管流动，进行水冷操作，并查看温度表的温度变化，在喷涂完毕完成后，打开基料壳体，对工件进行取用；

4、为防止基料壳体的关闭，用固定挂钩挂在约束挂环上进行约束，起到约束限位的作用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的基料壳体关闭状态的结构示意图。

图3是本实用新型的水冷管组件的结构示意图。

图4是本实用新型的多功能氧化铝陶瓷工件架的结构示意图。

图中：

1、真空镀膜箱体；2、支撑底座；3、水冷管组件；31、上部横管；32、进水管接管；33、纵向冷却管；34、下部横管；35、回流水管接管；36、固定卡片；4、多功能氧化铝陶瓷工件架；41、旋转轴；42、滚珠轴承；43、置物挂钩；44、支撑托盘；45、旋转管；46、置物托盘；5、抽真空连接管；6、溅射镀膜电子枪；7、真空度表；8、温度表；9、加热棒；10、基料壳体；11、旋转电机；12、约束挂环；13、收纳管；14、固定挂钩；15、固定耳板；16、密封夹紧板；17、锁紧螺栓。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

实施例：

如附图1至附图2所示，本实用新型提供一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，包括真空镀膜箱体1，支撑底座2，水冷管组件3，多功能氧化铝陶瓷工件架4，抽真空连接管5，溅射镀膜电子枪6，真空度表7，温度表8，加热棒9，基料壳体10，旋转电机11，约束挂环12，收纳管13，固定挂钩14，固定耳板15，密封夹紧板16和锁紧螺栓17；

所述的真空镀膜箱体1螺栓连接在支撑底座2的上部中间位置；所述的抽真空连接管5镶嵌在真空镀膜箱体1的上部左侧中间位置；所述的溅射镀膜电子枪6螺栓连接在真空镀膜箱体1的后壁上部中间位置；所述的真空度表7和温度表8分别镶嵌在真空镀膜箱体1的左侧上部位置；所述的真空镀膜箱体1；所述的基料壳体10铰链合页连接在真空镀膜箱体1的右侧；所述的加热棒9分别螺栓连接在真空镀膜箱体1的内壁。

如附图3所示，上述实施方案中，具体的，所述的约束挂环12螺栓连接在基料壳体10的后壁左下侧；所述的收纳管13活动镶嵌在真空镀膜箱体1的前部右下侧；所述的固定挂钩14螺纹连接在收纳管13的内部下侧位置；所述的固定耳板15焊接在真空镀膜箱体1的左下侧；所述的密封夹紧板16焊接在基料壳体10的右侧下部位置。

如附图4所示，上述实施方案中，具体的，所述的水冷管组件3包括上部横管31，进水管接管32，纵向冷却管33，下部横管34，回流水管接管35和固定卡片36，所述的进水管接管32螺纹连接在上部横管31的上部右侧位置；所述的纵向冷却管33一端螺纹连接在上部横管31的下部，另一端螺纹连接在下部横管34的上部；所述的回流水管接管35螺纹连接在下部横管34的下部右侧位置；所述的固定卡片36活动套接在上部横管31和下部横管34的表面。

上述实施方案中，具体的，所述的多功能氧化铝陶瓷工件架4包括旋转轴41，滚珠轴承42，置物挂钩43，支撑托盘44，旋转管45和置物托盘46，所述的滚珠轴承42分别套接在旋转轴41的上端和旋转轴41的外表面下部位置；所述的置物挂钩43分别螺纹连接在旋转轴41的左右两侧；所述的支撑托盘44螺纹连接在旋转轴41的外表面下部位置；所述的旋转管45套接在旋转轴41的外表面并位于支撑托盘44的上部；所述的置物托盘46螺钉连接在旋转管45的外表面。

上述实施方案中，具体的，所述的水冷管组件3螺钉连接在基料壳体10的内侧表面；所述的多功能氧化铝陶瓷工件架4纵向镶嵌在基料壳体10的内部中间位置；所述的旋转电机11螺栓连接在基料壳体10的下部中间位置。

上述实施方案中，具体的，所述的真空度表7设置温度表8的上部；所述的固定耳板15设置有两个；所述的固定耳板15的内部左侧开设有通孔；所述的密封夹紧板16的内部开设有螺纹孔；所述的锁紧螺栓17贯穿密封夹紧板16与固定耳板15螺纹连接；所述的固定卡片36具体采用不锈钢抱箍片；所述的固定卡片36与基料壳体10的内壁螺栓连接设置。

上述实施方案中，具体的，所述的进水管接管32和回流水管接管35相连通；所述的进水管接管32和回流水管接管35分别采用L型不锈钢管。

上述实施方案中，具体的，所述的支撑托盘44设置下部设置的滚珠轴承42的上部；所述的旋转轴41贯穿基料壳体10的下壁中间位置联轴器连接在旋转电机11的输出轴上；所述的置物挂钩43具体采用不锈钢挂钩；所述的置物挂钩43设置有多个；所述的置物托盘46具体采用内凹的不锈钢盘；所述的置物托盘46设置有多个。

上述实施方案中，具体的，所述的加热棒9，旋转电机11和溅射镀膜电子枪6分别于外部控制设备相连接；所述的抽真空连接管5与外部抽真空设备相连接；所述的进水管接管32和回流水管接管35分别与外部水冷设备相连接。

上述实施方案中，具体的，所述的旋转电机11具体采用型号为86BYG250C的电机；所述的溅射镀膜电子枪6具体采用型号为JT-S2200的电子枪；所述的真空度表7具体采用型号的TE2000仪表；所述的温度表8具体采用型号为WSS-411的仪表；所述的加热棒9具体采用不锈钢加热棒。

工作原理

本实用新型在使用时，连接好外部控制设备和运行设备，根据需要镀膜的氧化铝陶瓷工件的不同放置在置物托盘46上或者挂置在置物挂钩43上，满足不同工件镀膜的使用；在外部抽真空机的作用下进行抽真空，并对真空度表7进行查看；在旋转电机11的作用下起到转动旋转的作用，保障喷涂的均匀，保证镀膜质量，增加氧化铝陶瓷的硬度；利用水循环在上部横管31，进水管接管32，纵向冷却管33，下部横管34和回流水管接管35流动，进行水冷操作，并查看温度表8的温度变化，在喷涂完毕完成后，打开基料壳体10，对工件进行取用；为防止基料壳体10的关闭，用固定挂钩14挂在约束挂环12上进行约束，起到约束限位的作用。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，该增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，包括真空镀膜箱体(1)，支撑底座(2)，水冷管组件(3)，多功能氧化铝陶瓷工件架(4)，抽真空连接管(5)，溅射镀膜电子枪(6)，真空度表(7)，温度表(8)，加热棒(9)，基料壳体(10)，旋转电机(11)，约束挂环(12)，收纳管(13)，固定挂钩(14)，固定耳板(15)，密封夹紧板(16)和锁紧螺栓(17)；

所述的真空镀膜箱体(1)螺栓连接在支撑底座(2)的上部中间位置；所述的抽真空连接管(5)镶嵌在真空镀膜箱体(1)的上部左侧中间位置；所述的溅射镀膜电子枪(6)螺栓连接在真空镀膜箱体(1)的后壁上部中间位置；所述的真空度表(7)和温度表(8)分别镶嵌在真空镀膜箱体(1)的左侧上部位置；所述的真空镀膜箱体(1)；所述的基料壳体(10)铰链合页连接在真空镀膜箱体(1)的右侧；所述的加热棒(9)分别螺栓连接在真空镀膜箱体(1)的内壁。

2.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的约束挂环(12)螺栓连接在基料壳体(10)的后壁左下侧；所述的收纳管(13)活动镶嵌在真空镀膜箱体(1)的前部右下侧；所述的固定挂钩(14)螺纹连接在收纳管(13)的内部下侧位置；所述的固定耳板(15)焊接在真空镀膜箱体(1)的左下侧；所述的密封夹紧板(16)焊接在基料壳体(10)的右侧下部位置。

3.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的水冷管组件(3)包括上部横管(31)，进水管接管(32)，纵向冷却管(33)，下部横管(34)，回流水管接管(35)和固定卡片(36)，所述的进水管接管(32)螺纹连接在上部横管(31)的上部右侧位置；所述的纵向冷却管(33)一端螺纹连接在上部横管(31)的下部，另一端螺纹连接在下部横管(34)的上部；所述的回流水管接管(35)螺纹连接在下部横管(34)的下部右侧位置；所述的固定卡片(36)活动套接在上部横管(31)和下部横管(34)的表面。

4.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的多功能氧化铝陶瓷工件架(4)包括旋转轴(41)，滚珠轴承(42)，置物挂钩(43)，支撑托盘(44)，旋转管(45)和置物托盘(46)，所述的滚珠轴承(42)分别套接在旋转轴(41)的上端和旋转轴(41)的外表面下部位置；所述的置物挂钩(43)分别螺纹连接在旋转轴(41)的左右两侧；所述的支撑托盘(44)螺纹连接在旋转轴(41)的外表面下部位置；所述的旋转管(45)套接在旋转轴(41)的外表面并位于支撑托盘(44)的上部；所述的置物托盘(46)螺钉连接在旋转管(45)的外表面。

5.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的水冷管组件(3)螺钉连接在基料壳体(10)的内侧表面；所述的多功能氧化铝陶瓷工件架(4)纵向镶嵌在基料壳体(10)的内部中间位置；所述的旋转电机(11)螺栓连接在基料壳体(10)的下部中间位置。

6.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的固定耳板(15)设置有两个；所述的固定耳板(15)的内部左侧开设有通孔；所述的密封夹紧板(16)的内部开设有螺纹孔。

7.如权利要求1所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的锁紧螺栓(17)贯穿密封夹紧板(16)与固定耳板(15)螺纹连接。

8.如权利要求3所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的固定卡片(36)具体采用不锈钢抱箍片；所述的固定卡片(36)与基料壳体(10)的内壁螺栓连接设置。

9.如权利要求3所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的进水管接管(32)和回流水管接管(35)相连通；所述的进水管接管(32)和回流水管接管(35)分别采用L型不锈钢管。

10.如权利要求4所述的增加氧化铝陶瓷力学强度的镀膜装置，其特征在于，所述的置物挂钩(43)具体采用不锈钢挂钩；所述的置物挂钩(43)设置有多个；所述的置物托盘(46)具体采用内凹的不锈钢盘；所述的置物托盘(46)设置有多个。

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