CN212387299U

CN212387299U - 一种晶片承载架抓取机构

Info

Publication number: CN212387299U
Application number: CN202020838395.3U
Authority: CN
Inventors: 洪吉武
Original assignee: Huizhou Mani Microelectronics Technology Co ltd
Current assignee: Huizhou Mani Microelectronics Technology Co ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2021-01-22
Anticipated expiration: 2030-05-19

Abstract

本实用新型涉及晶片生产领域，具体涉及一种晶片承载架抓取机构，包括第一支架以及第二支架，所述的第一支架以及第二支架下方均设置有多个支撑脚，所述的第一支架与第二支架上分别设置有第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件上方设置有Y轴位移组件，所述的Y轴位移组件下方设置有Z轴位移组件。本实用新型设置了X轴位移组件、Y轴位移组件以及Z轴位移组件，实现了多方位的位移，保证装置能够抓取任意位置的承载架，降低了工人的工作量；同时在Z轴位移组件生设置的双头气缸配合夹板，能有效的夹紧承载板，并将其运送到指定的位置处，进一步提高了工作效率。

Description

一种晶片承载架抓取机构

技术领域

本实用新型涉及晶片生产领域，具体涉及一种晶片承载架抓取机构。

背景技术

微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)的制造工艺中，晶片是必不可少的器件之一，晶片从进料到出货通常需要经历切片、晶片加工、质检、中转存放、分拣和包装等工艺，为了在生产的过程中保护晶片不受损坏，通常将多个晶片安置在一片晶片承载架上，再通过各道工序进行加工生产。在现有的技术中，通常是通过人工将晶片承载架放入对应的加工装置中，待加工完成后，再取出送往下一工位进行加工，这样不但加大了工人的劳动强度，同时也大大的降低了生产的效率。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶片承载架抓取机构。

本实用新型采用如下方案实现：

一种晶片承载架抓取机构，包括第一支架以及第二支架，所述的第一支架以及第二支架下方均设置有多个支撑脚，所述的第一支架与第二支架上分别设置有第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件结构完全相同，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件上方设置有Y轴位移组件，所述的Y轴位移组件下方设置有Z轴位移组件。

进一步的，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件均包括设置在第一支架以及第二支架上的平板，所述的平板上均设置有多个X轴导轨，所述的X轴导轨上均设置有多个X轴滑块，所述的X轴滑块上方连接有X轴支撑板，所述的X轴支撑板上方设置有X轴电机，所述的X轴电机与X轴支撑板之间设置有X轴联轴器，所述的X轴支撑板下方与X轴联轴器位置对应处设置有X轴齿轮，所述的平板上设置有与X轴齿轮相匹配的X轴机齿条。

进一步的，所述的Y轴位移组件包括Y轴位移板，所述的Y轴位移板两端分别与第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件中的X轴支撑板固定连接，所述的Y轴位移板上表面设置有第一Y轴导轨，所述的第一Y轴导轨上设置有第一Y轴滑块，所述的第一Y轴滑块上设置有第一Y轴连接板，所述的第一Y轴连接板上方设置有Y轴电机，所述的Y轴电机与第一Y轴连接板之间设置有Y轴联轴器，所述的第一Y轴连接板下方与Y轴联轴器位置对应处设置有第一Y轴齿轮，所述的Y轴位移板上设置有与第一Y轴齿轮相匹配的第一Y轴机齿条。

进一步的，所述的Z轴位移组件包括设置在Y轴位移板侧面的第二Y轴导轨，所述的第二Y轴导轨上设置有第二Y轴滑块，所述的第二Y轴滑块上连接有第二Y轴连接板，所述的第二Y轴连接板与第一Y轴连接板垂直连接，所述第二Y轴连接板的侧面设置有Z轴气缸，所述Z轴气缸的活塞杆连接有双头气缸，所述双头气缸的左右活塞杆均连接有用于夹紧物体的夹板，所述夹板面对双头气缸的一面均设置有用于增加摩擦力的磨砂部。

进一步的，所述X轴电机与Y轴电机的侧面均设置有用于连接电源的电源插口以及用于连接数控模块的数字接口。

对比现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型设置了X轴位移组件、Y轴位移组件以及Z轴位移组件，实现了多方位的位移，保证装置能够抓取任意位置的承载架，降低了工人的工作量；同时在Z轴位移组件生设置的双头气缸配合夹板，能有效的夹紧承载板，并将其运送到指定的位置处，进一步提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种晶片承载架抓取机构的整体结构示意图。

图2为本实用新型中局部A的放大图。

图3为本实用新型中局部B的放大图。

图4为本实用新型中X轴位移组件的另一角度示意图。

图5为本实用新型中Y轴位移组件的另一角度示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型，下面将结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步详细描述。

参照图1至图5，本实用新型提供了一种晶片承载架抓取机构，包括第一支架11以及第二支架12，所述的第一支架11以及第二支架12下方均设置有多个支撑脚13，所述的第一支架11与第二支架12上分别设置有第一X轴位移组件2以及第二X轴位移组件3，所述的第一X轴位移组件2与第二X轴位移组件3结构完全相同，所述的第一X轴位移组件2与第二X轴位移组件3上方设置有Y轴位移组件4，所述的Y轴位移组件4下方设置有Z轴位移组件5。

第一X轴位移组件2与第二X轴位移组件3均包括设置在第一支架11以及第二支架12上的平板21，所述的平板21上均设置有多个X轴导轨22，所述的X轴导轨22上均设置有多个X轴滑块23，所述的X轴滑块23上方连接有X轴支撑板24，所述的X轴支撑板24上方设置有X轴电机25，所述的X轴电机25与X轴支撑板24之间设置有X轴联轴器26，所述的X轴支撑板24下方与X轴联轴器26位置对应处设置有X轴齿轮27，所述的平板21上设置有与X轴齿轮27相匹配的X轴机齿条28。具体工作时，两个X轴电机同步运转，在X轴联轴器的辅助下匀速转动X轴齿轮，保证Y轴位移组件能平稳位移。

Y轴位移组件4包括Y轴位移板41，所述的Y轴位移板41两端分别与第一X轴位移组件2以及第二X轴位移组件3中的X轴支撑板24固定连接，所述的Y轴位移板41上表面设置有第一Y轴导轨42，所述的第一Y轴导轨42上设置有第一Y轴滑块43，所述的第一Y轴滑块43上设置有第一Y轴连接板44，所述的第一Y轴连接板44上方设置有Y轴电机45，所述的Y轴电机45与第一Y轴连接板44之间设置有Y轴联轴器46，所述的第一Y轴连接板44下方与Y轴联轴器46位置对应处设置有第一Y轴齿轮47，所述的Y轴位移板41上设置有与第一Y轴齿轮47相匹配的第一Y轴机齿条48。工作时，Y轴电机配合Y轴联轴器匀速转动Y轴齿轮，使得Z轴位移组件能够稳定的在Y轴方向上位移，从而准确的到达晶片承载板的正上方。

Z轴位移组件5包括设置在Y轴位移板41侧面的第二Y轴导轨51，所述的第二Y轴导轨51上设置有第二Y轴滑块52，所述的第二Y轴滑块52上连接有第二Y轴连接板53，所述的第二Y轴连接板53与第一Y轴连接板44垂直连接，所述第二Y轴连接板53的侧面设置有Z轴气缸54，所述Z轴气缸54的活塞杆连接有双头气缸55，所述双头气缸55的左右活塞杆均连接有用于夹紧物体的夹板56，所述夹板56面对双头气缸55的一面均设置有用于增加摩擦力的磨砂部57。具体实施时，可以根据实际的工作需要，更换夹板的规格或者形状，以满足不同晶片承载板或其他物体的需要。

同时，X轴电机25与Y轴电机45的侧面均设置有用于连接电源的电源插口61以及用于连接数控模块的数字接口62，在具体实施时与外接电控模块连接，能对设备进行精准控制，保证夹板能到达指定位置对晶片承载架进行抓取工作。

具体实施时，本装置可与电控模块连接（如PLC控制器等），同时可外接摄像模块以观察承载架的位置，进一步保证抓取的精确度，保障设备的正常运行。具体工作时，本装置先通过外接摄像模块确定晶片承载架的位置，而后驱动两个X轴电机同步运转，转动X轴齿轮，配合X轴机齿条达到X轴方向位移的目的；同理，通过驱动Y轴电机运转，转动Y轴齿轮，配合Y轴机齿条达到Y轴方向位移的目的。待Z轴位移组件到达晶片承载架上方时，Z轴气缸启动并下压双头气缸，待高度合适时，双头气缸启动收紧活塞杆，夹板将晶片承载架夹紧后，Z轴气缸启动抬升双头气缸，并通过X轴位移组件以及Y轴位移组件配合将晶片承载架运送到指定位置，随后双头气缸启动，夹板松开晶片承载架，完成抓取动作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本发明的描述中，“多个”、“若干个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语 “连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

虽然对本实用新型的描述是结合以上具体实施例进行的，但是，熟悉本技术领域的人员能够根据上述的内容进行许多替换、修改和变化，是显而易见的。因此，所有这样的替代、改进和变化都包括在附后的权利要求的范围内。

Claims

1.一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，包括第一支架（11）以及第二支架（12），所述的第一支架（11）以及第二支架（12）下方均设置有多个支撑脚（13），所述的第一支架（11）与第二支架（12）上分别设置有第一X轴位移组件（2）以及第二X轴位移组件（3），所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）结构完全相同，所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）上方设置有Y轴位移组件（4），所述的Y轴位移组件（4）下方设置有Z轴位移组件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）均包括设置在第一支架（11）以及第二支架（12）上的平板（21），所述的平板（21）上均设置有多个X轴导轨（22），所述的X轴导轨（22）上均设置有多个X轴滑块（23），所述的X轴滑块（23）上方连接有X轴支撑板（24），所述的X轴支撑板（24）上方设置有X轴电机（25），所述的X轴电机（25）与X轴支撑板（24）之间设置有X轴联轴器（26），所述的X轴支撑板（24）下方与X轴联轴器（26）位置对应处设置有X轴齿轮（27），所述的平板（21）上设置有与X轴齿轮（27）相匹配的X轴机齿条（28）。

3.根据权利要求2所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的Y轴位移组件（4）包括Y轴位移板（41），所述的Y轴位移板（41）两端分别与第一X轴位移组件（2）以及第二X轴位移组件（3）中的X轴支撑板（24）固定连接，所述的Y轴位移板（41）上表面设置有第一Y轴导轨（42），所述的第一Y轴导轨（42）上设置有第一Y轴滑块（43），所述的第一Y轴滑块（43）上设置有第一Y轴连接板（44），所述的第一Y轴连接板（44）上方设置有Y轴电机（45），所述的Y轴电机（45）与第一Y轴连接板（44）之间设置有Y轴联轴器（46），所述的第一Y轴连接板（44）下方与Y轴联轴器（46）位置对应处设置有第一Y轴齿轮（47），所述的Y轴位移板（41）上设置有与第一Y轴齿轮（47）相匹配的第一Y轴机齿条（48）。

4.根据权利要求3所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的Z轴位移组件（5）包括设置在Y轴位移板（41）侧面的第二Y轴导轨（51），所述的第二Y轴导轨（51）上设置有第二Y轴滑块（52），所述的第二Y轴滑块（52）上连接有第二Y轴连接板（53），所述的第二Y轴连接板（53）与第一Y轴连接板（44）垂直连接，所述第二Y轴连接板（53）的侧面设置有Z轴气缸（54），所述Z轴气缸（54）的活塞杆连接有双头气缸（55），所述双头气缸（55）的左右活塞杆均连接有用于夹紧物体的夹板（56），所述夹板（56）面对双头气缸（55）的一面均设置有用于增加摩擦力的磨砂部（57）。

5.根据权利要求4所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述X轴电机（25）与Y轴电机（45）的侧面均设置有用于连接电源的电源插口（61）以及用于连接数控模块的数字接口（62）。