CN212297864U - 一种真空隔离阀及具有其的真空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种真空隔离阀及具有其的真空系统，属于真空阀门技术领域；真空隔离阀包括：阀体，具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端，阀体内滑动设置有适于通过开口端朝向真空腔室内伸入的阀板；阀座，适于设于真空腔室的内侧壁上，阀座上具有适于与真空腔室的通气孔进行连通的阀孔，阀孔适于与阀板配合进行封闭。本实用新型的阀板的移动空间为阀体以及真空腔室，阀板朝向和背离阀座移动实现对阀孔开合；阀板在移动过程中，不与外界接触，故不会扬起微尘，保证真空腔室内部的真空环境一直处于洁净状态，能够满足更高、更特殊的真空需求。

Description

一种真空隔离阀及具有其的真空系统

技术领域

本实用新型涉及真空阀门技术领域，具体涉及一种真空隔离阀及具有其的真空系统。

背景技术

真空行业已发展成为工业体系中的不可或缺的一部分，真空行业离不开真空阀门，一般的真空阀门需要由驱动、阀体、阀座、阀板和密封圈组成，并且阀板位于真空腔室的外部。

上述的真空阀门，阀板在运动过程中，容易扬起微尘，满足不了真空某些特殊场合的需要。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的真空阀门的阀板运动过程中容易扬起微尘，达不到某些特殊场合的真空需求的缺陷，从而提供一种能够减少阀板扬尘的真空阀门及具有其的真空系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的真空隔离阀，包括：

阀体，具有适于连通在真空腔室的外侧壁上的开口端，所述阀体内滑动设置有适于通过所述开口端朝向所述真空腔室内伸入的阀板；

阀座，适于设于所述真空腔室的内侧壁上，所述阀座上具有适于与所述真空腔室的通气孔进行连通的阀孔，所述阀孔适于与所述阀板配合进行封闭。

作为优选方案，所述阀座一体成型于所述真空腔室的内壁上。

作为优选方案，所述阀体内具有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内滑动设有活塞，所述第二腔体内适于容纳所述阀板，所述阀板通过阀杆与所述活塞连接；

所述第一腔体和所述第二腔体之间设有密封组件，所述阀杆可滑动地密封穿过所述密封组件。

作为优选方案，所述密封组件内设有差分抽气结构，所述差分抽气结构包括：

差分抽气腔，为围绕所述阀杆设置的环形，所述差分抽气腔分别与所述阀体的第一腔体和第二腔体保持密封；

差分抽气孔，一端与所述差分抽气腔连通，另一端适于与抽气装置连通。

作为优选方案，所述差分抽气结构还包括：

差分抽气环，同心设置在所述差分抽气腔内，与所述阀杆和所述差分抽气腔的内壁之间均具有间隙；

弹性密封圈，同心设置在所述差分抽气腔内，并在所述差分抽气环的两侧分别设置有至少一个。

作为优选方案，所述阀体的第二腔体通过第一密封法兰与所述真空腔室的外侧壁密封连接。

作为优选方案，所述第一密封法兰与所述真空腔室的外侧壁之间还同心设置有第二密封法兰。

一种真空系统，具有上述方案中任一项所述的真空隔离阀。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的真空隔离阀，阀板的移动空间为阀体以及真空腔室，阀板朝向和背离阀座移动实现对阀孔开合；阀板在移动过程中，不与外界接触，故不会扬起微尘，保证真空腔室内部的真空环境一直处于洁净状态，能够满足更高、更特殊的真空需求。

2.本实用新型提供的真空隔离阀，阀座一体成型于真空腔室的内壁上，不仅缩小了隔离阀整体的体积，还提高了阀座与真空腔室的密闭性。

3.本实用新型提供的真空隔离阀，隔离阀处于打开状态时，阀板移动至第二腔体内，使阀板与真空腔室脱离，互不干涉；另外，第二腔体内有增加其他部件的设置空间，来适应用户的不同需求。

4.本实用新型提供的真空隔离阀，在第一腔体与第二腔体之间加设的差分抽气结构，使第一腔体与第二腔体存有一个差分抽气腔；当第一腔体与第二腔体间因压差过大出现漏气现象时，空气先进入差分抽气腔，抽气装置能够将空气抽走而避免进入真空腔室，从而保证了真空腔室的真空度。

5.本实用新型提供的真空隔离阀，差分抽气环与弹性密封圈配合设置，使差分抽气腔分别与第一腔体、第二腔体密封隔离。

6.本实用新型提供的真空隔离阀，第二密封法兰的设置，增加了第二腔体的容纳空间。

7.本实用新型提供的真空系统，由于具有上述方案中任一项所述的真空隔离阀，依次具有上述方案中任一项所述的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中提供的真空隔离阀的主视剖视图。

图2为图1的A区域的放大视图。

图3为图1的B区域的放大视图。

图4为图1的C区域的放大视图。

图5为阀板的立体结构示意图。

附图标记说明：

1、密封端盖；2、缸体；3、第一密封法兰；4、第一腔体；5、第二腔体；6、连通孔；7、活塞；8、阀板；9、阀杆；10、真空腔室；11、第一气源孔；12、第二气源孔；13、第一到位开关；14、第二到位开关；15、第一触杆；16、第一滑动套；17、第一压簧；18、第二触杆；19、第二滑动套；20、第二压簧；21、第二密封法兰；22、第一密封螺钉；23、第二密封螺钉；24、阀座；25、差分抽气孔；26、差分抽气环；27、弹性密封圈；28、压圈；29、弹性挡圈；30、凸起。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供了真空隔离阀，包括：阀体、阀板8、阀座24以及真空腔室10。

如图1所示，阀体包括密封端盖1、缸体2以及第一密封法兰3，所述密封端盖1、所述缸体2以及所述第一密封法兰3依次密封连接，所述阀体通过所述第一密封法兰3与所述真空腔室10连通；所述缸体2具有贯通其轴线的第一腔体4，所述第一密封法兰3内部具有第二腔体5，所述第一密封法兰3的朝向所述缸体2的一端具有贯穿所述连通孔6，所述连通孔6连通所述第一腔体4与所述第二腔体5；所述第一腔体4内滑动地连接有活塞7，所述活塞7的周向上套设有密封圈，所述活塞7通过所述密封圈与所述第一腔体4的内壁密封接触，将所述第一腔体4分隔成互不连通的两部分；所述活塞7的中心处垂直地连接有阀杆9，所述阀杆9的一端穿过所述连通孔6并伸入所述第二腔体5内，所述阀杆9的背离所述活塞7的一端连接有阀板8，所述阀杆9能够驱动所述阀板8伸入所述真空腔室10。

如图2、图3所示，所述活塞7的两侧分别设有气源孔与到位开关，所述气源孔分别为第一气源孔11与第二气源孔12，所述到位开关分别为第一到位开关13和第二到位开关14。所述第一气源孔11开设在所述密封端盖1上并连通外界与所述第一腔体4，所述第二气源开设在所述第一密封法兰3的朝向所述缸体2的一端、并连通外界与所述第一腔体4；所述第一到位开关13连接在所述密封端盖1上，所述第一到位开关13与所述第一触动组件配合，实现对所述活塞7的限位。所述第二到位开关14连接在所述第一密封法兰3上，所述第二到位开关14与所述第二触动组件配合，实现对所述活塞7的限位；所述第一触动组件包括：第一触杆15、第一滑动套16以及第一压簧17，所述第一滑动套16垂直连接在所述密封端盖1上，所述第一压簧17套设于所述第一滑动套16的内腔中；所述第一触杆15套设于所述第一压簧17内，一端朝向所述活塞7，另一端朝向所述第一到位开关13。所述第二触动组件包括：第二触杆18、第二滑动套19以及第二压簧20，所述第二滑动套19垂直连接在所述第一密封法兰3上，所述第二压簧20套设于所述第二滑动套19的内腔中；所述第二触杆18套设于所述第二压簧20内，一端朝向所述活塞7，另一端朝向所述第二到位开关14。

如图3所示，所述第一腔体4和所述第二腔体5之间设有密封组件，所述密封组件设置在所述第一密封法兰3的连通孔6内，所述连通孔6为阶梯孔，所述阀杆9可滑动地密封穿过所述密封组件。所述密封组件内设有差分抽气结构，所述差分抽气结构包括：差分抽气腔、差分抽气孔25、差分抽气环26以及弹性密封圈27；所述弹性密封圈27具有两个，分别套设在所述阀杆9上，朝向所述第二腔体5的所述弹性密封圈27与所述连通孔6的内壁抵接，背离所述第二腔体5的所述弹性密封圈27通过压圈28与弹性挡圈29进行轴向限位；两个所述弹性密封圈27之间的区域构成所述差分抽气腔，所述差分抽气腔为围绕所述阀杆9设置的环形，并分别与所述第一腔体4和第二腔体5保持密封；所述差分抽气环26同心设置在所述差分抽气腔内，并分别与两个所述弹性密封圈27抵接，所述差分抽气环26与所述阀杆9和所述差分抽气腔的内壁之间均具有间隙；所述差分抽气孔25开设于所述第一密封法兰3上，一端与所述差分抽气腔连通，另一端与抽气装置连通。

如图4所示，所述第一密封法兰3与所述真空腔室10之间连接有第二密封法兰21；所述第一密封法兰3与所述第二密封法兰21同心设置，并用第一密封螺钉22以及密封圈密封连接；所述第二密封法通过第二密封螺钉23以及密封圈密封连接在所述真空腔室10的外壁上，所述第二密封法兰21增加了第二腔体5的容纳空间；所述真空腔室10的背离所述阀体的一侧设有与外界连通的通气孔；所述阀座24一体成型于所述真空腔室10的内壁上，所述阀座24上开设有阀孔，所述阀孔与所述通气孔连通；所述阀杆9推动所述阀板8朝向所述真空腔室10移动，并对所述阀孔进行封堵，使所述真空腔室10不与外界连通。

如图5所示，所述阀板8的朝向所述阀杆9的一端设有弧形的凸起30，当所述阀板8插入所述阀孔后，所述凸起30的背离所述阀杆9的侧面紧贴所述阀座24的外壁、实现对所述阀孔的密封。

上述的真空隔离阀能够应用到真空系统中。

工作原理：

当所述第一气源孔11进气时，推动所述活塞7朝向所述真空腔室10方向移动，所述活塞7撞击所述第二触杆18，使所述第二触杆18触发所述第二到位开关14的到位信号，实现对活塞7的限位；同时，所述阀杆9带动所述阀板8伸入所述阀座24的阀孔内，实现了所述阀板8对所述阀孔的封堵，使所述真空腔室10不与外界连通。

当所述真空腔室10不与外界连通时，所述第一腔体4与所述第二腔体5间存有较大的压差；若出现漏气现象时，空气先进入差分抽气腔，抽气装置能够将空气抽走而避免进入真空腔室10，从而保证了真空腔室10的真空度。

当所述第二气源孔12进气时，推动所述活塞7背离所述真空腔室10方向移动，所述第二到位开关14的到位信号解除；同时，所述阀杆9带动所述阀板8脱离所述阀座24的阀孔内，使所述真空腔室10与外界连通；所述活塞7继续移动至撞击所述第一触杆15，使所述第一触杆15触发所述第一到位开关13的到位信号，实现对活塞7的限位；与此同时，所述阀杆9带动所述阀板8进入所述第二腔体5。

阀板8的移动空间为第二腔体5以及真空腔室10，阀板8朝向和背离阀座24移动实现对阀孔开合；阀板8在移动过程中，不与外界接触，故不会扬起微尘，保证真空腔室10内部的真空环境一直处于洁净状态，能够满足更高、更特殊的真空需求。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种真空隔离阀，其特征在于，包括：

阀体，具有适于连通在真空腔室(10)的外侧壁上的开口端，所述阀体内滑动设置有适于通过所述开口端朝向所述真空腔室(10)内伸入的阀板(8)；

阀座(24)，适于设于所述真空腔室(10)的内侧壁上，所述阀座(24)上具有适于与所述真空腔室(10)的通气孔进行连通的阀孔，所述阀孔适于与所述阀板(8)配合进行封闭。

2.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于，所述阀座(24)一体成型于所述真空腔室(10)的内壁上。

3.根据权利要求1或2所述的真空隔离阀，其特征在于，所述阀体内具有第一腔体(4)和第二腔体(5)，所述第一腔体(4)内滑动设有活塞(7)，所述第二腔体(5)内适于容纳所述阀板(8)，所述阀板(8)通过阀杆(9)与所述活塞(7)连接；

所述第一腔体(4)和所述第二腔体(5)之间设有密封组件，所述阀杆(9)可滑动地密封穿过所述密封组件。

4.根据权利要求3所述的真空隔离阀，其特征在于，所述密封组件内设有差分抽气结构，所述差分抽气结构包括：

差分抽气腔，为围绕所述阀杆(9)设置的环形，所述差分抽气腔分别与所述阀体的第一腔体(4)和第二腔体(5)保持密封；

差分抽气孔(25)，一端与所述差分抽气腔连通，另一端适于与抽气装置连通。

5.根据权利要求4所述的真空隔离阀，其特征在于，所述差分抽气结构还包括：

差分抽气环(26)，同心设置在所述差分抽气腔内，与所述阀杆(9)和所述差分抽气腔的内壁之间均具有间隙；

弹性密封圈(27)，同心设置在所述差分抽气腔内，并在所述差分抽气环(26)的两侧分别设置有至少一个。

6.根据权利要求3所述的真空隔离阀，其特征在于，所述阀体的第二腔体(5)通过第一密封法兰(3)与所述真空腔室(10)的外侧壁密封连接。

7.根据权利要求6所述的真空隔离阀，其特征在于，所述第一密封法兰(3)与所述真空腔室(10)的外侧壁之间还同心设置有第二密封法兰(21)。

8.根据权利要求4或5所述的真空隔离阀，其特征在于，所述阀体的第二腔体(5)通过第一密封法兰(3)与所述真空腔室(10)的外侧壁密封连接。

9.根据权利要求8所述的真空隔离阀，其特征在于，所述第一密封法兰(3)与所述真空腔室(10)的外侧壁之间还同心设置有第二密封法兰(21)。

10.一种真空系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的真空隔离阀。

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