CN212287283U - 一种半导体设备epm装置部件洗净喷砂治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢、置台和固定销，所述连接角钢顶部焊接有置台，所述置台顶部焊接有管体且管体内部套设有拉杆，所述置台内部通过轴承安装有制动齿轮，所述制动齿轮一端通过插销固定有连接柱，所述连接柱外侧套设有防护罩且连接柱一端焊接有固定销，所述固定销顶部两端开设预留槽，所述预留槽内部通过转轴连接有防滑块，所述固定销、连接柱和置台外表面均喷涂有防护层。本实用新型可以将待清洁的石墨棒固定住，进行喷砂处理，同时可以翻转，防护性能好，适合被广泛推广和使用。

Description

一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具

技术领域

本实用新型涉及洗净喷砂治具技术领域，特别涉及一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具。

背景技术

对柱形石墨部件进行洗净作业，需要对石墨部件表面进行深度清洗，去除附着的残膜及石墨碎片，常规清洗方法是经过物理及化学清洗后，冲洗，吹干。但因石墨棒较长，以上步骤均由人工手执石墨棒进行操作，特别是喷砂时手执石墨棒极易造成喷砂不均匀，局部喷砂过度，造成石墨棒损坏，为此，我们提出一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢、置台和固定销，所述连接角钢顶部焊接有置台，所述置台顶部焊接有管体且管体内部套设有拉杆，所述置台内部通过轴承安装有制动齿轮，所述制动齿轮一端通过插销固定有连接柱，所述连接柱外侧套设有防护罩且连接柱一端焊接有固定销，所述固定销顶部两端开设预留槽，所述预留槽内部通过转轴连接有防滑块，所述固定销、连接柱和置台外表面均喷涂有防护层。

进一步地，所述拉杆外侧套设有一号弹簧且拉杆底端通过螺纹槽连接有卡板，所述卡板和一号弹簧均位于管体内部。

进一步地，所述防护罩和固定销均位于置台外侧，所述防护层为特氟龙材料制成。

进一步地，所述连接柱外侧一套设有防护套且防护套位于置台一侧。

进一步地，所述防滑块和预留槽之间通过安装槽安装有二号弹簧。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过设置置台、固定销和连接柱，人员使用螺栓将连接角钢固定于平台或结构架两端，将待清洗的石墨棒通过安装槽套在固定销外侧，即可对石墨棒进行喷砂、清洁处理，待石墨棒顶部喷砂完成后，人员拉动拉杆带动卡板上移，使卡板离开制动齿轮一侧，即可转动连接柱带动套在固定销外侧的石墨棒翻转，方便对石墨棒底部进行喷砂，松开拉杆后，一号弹簧推动拉杆底端的卡板插入制动齿轮内部，固定住转动后的制动齿轮和固定销，固定销两端的防滑块在二号弹簧推动下伸出，可以防止石墨棒从固定销上滑出。

2.通过设置防护罩、防护套和防护层，防护套在连接柱和置台之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台内，影响制动齿轮的转动，防护罩套在防护罩外侧，可以对防护套进行保护，避免防护套被砂石的冲击出现破损，防护层为特氟龙材料制成，喷涂于置台、固定销和连接柱表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台、固定销和连接柱生锈、腐蚀。

附图说明

图1为本实用新型一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的置台内部结构示意图。

图3为本实用新型一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的预留槽内部结构示意图。

图4为本实用新型一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的置台、固定销和连接柱外部材料剖面图。

图中：1、连接角钢；2、置台；3、固定销；4、连接柱；5、防护罩；6、管体；7、拉杆；8、防滑块；9、制动齿轮；10、一号弹簧；11、卡板；12、防护套；13、二号弹簧；14、预留槽；15、防护层。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-4所示，一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢1、置台2和固定销3，所述连接角钢1顶部焊接有置台2，所述置台2顶部焊接有管体6且管体6内部套设有拉杆7，所述置台2内部通过轴承安装有制动齿轮9，所述制动齿轮9一端通过插销固定有连接柱4，所述连接柱4外侧套设有防护罩5且连接柱4一端焊接有固定销3，所述固定销3顶部两端开设预留槽14，所述预留槽14内部通过转轴连接有防滑块8，所述固定销3、连接柱4和置台2外表面均喷涂有防护层15。

其中，所述拉杆7外侧套设有一号弹簧10且拉杆7底端通过螺纹槽连接有卡板11，所述卡板11和一号弹簧10均位于管体6内部。

本实施例中如图2所示，一号弹簧10推动拉杆7底端的卡板11插入制动齿轮9内部，固定住转动后的制动齿轮9。

其中，所述防护罩5和固定销3均位于置台2外侧，所述防护层15为特氟龙材料制成。

本实施例中如图1和4所示，防护罩5和固定销3均位于置台2外侧，方便石墨棒通过自身的安装槽安装在固定销3外侧，防护层15为特氟龙材料制成，喷涂于置台2、固定销3和连接柱4表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台2、固定销3和连接柱4生锈、腐蚀。

其中，所述连接柱4外侧一套设有防护套12且防护套12位于置台2一侧。

本实施例中如图2所示，防护套12在连接柱4和置台2之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台2内，影响制动齿轮9的转动。

其中，所述防滑块8和预留槽14之间通过安装槽安装有二号弹簧13。

本实施例中如图3所示，二号弹簧13可以推动防滑块8伸出，防止套在固定销3外侧的石墨棒滑出。

需要说明的是，本实用新型为一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，工作时，人员使用螺栓将连接角钢1固定于平台或结构架两端，将待清洗的石墨棒通过安装槽套在固定销3外侧，即可对石墨棒进行喷砂、清洁处理，待石墨棒顶部喷砂完成后，人员拉动拉杆7带动卡板11上移，使卡板11离开制动齿轮9一侧，即可转动连接柱4带动套在固定销3外侧的石墨棒翻转，方便对石墨棒底部进行喷砂，松开拉杆7后，一号弹簧10推动拉杆7底端的卡板11插入制动齿轮9内部，固定住转动后的制动齿轮9和固定销3，固定销3两端的防滑块8在二号弹簧13推动下伸出，可以防止石墨棒从固定销3上滑出，，防护套12在连接柱4和置台2之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台2内，影响制动齿轮9的转动，防护罩5套在防护罩5外侧，可以对防护套12进行保护，避免防护套12被砂石的冲击出现破损，防护层15为特氟龙材料制成，喷涂于置台2、固定销3和连接柱4表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台2、固定销3和连接柱4生锈、腐蚀。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (2)

1.一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢（1）、置台（2）和固定销（3），其特征在于：所述连接角钢（1）顶部焊接有置台（2），所述置台（2）顶部焊接有管体（6）且管体（6）内部套设有拉杆（7），所述置台（2）内部通过轴承安装有制动齿轮（9），所述制动齿轮（9）一端通过插销固定有连接柱（4），所述连接柱（4）外侧套设有防护罩（5）且连接柱（4）一端焊接有固定销（3），所述固定销（3）顶部两端开设预留槽（14），所述预留槽（14）内部通过转轴连接有防滑块（8），所述固定销（3）、连接柱（4）和置台（2）外表面均喷涂有防护层（15）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，其特征在于：所述拉杆（7）外侧套设有一号弹簧（10）且拉杆（7）底端通过螺纹槽连接有卡板（11），所述卡板（11）和一号弹簧（10）均位于管体（6）内部。

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