CN212167037U - 一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。本发明实用性强，易于推广。
Description
技术领域
本发明涉及SiF4尾气处理技术领域，尤其是涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置。
背景技术
四氟化硅，是指一种无色、有毒有刺激性的气味，其主要用于水泥和人造大理石的硬化剂有机物的合成材料。
在制备四氟化硅的过程中会存在一定量的四氟化硅废气，现阶段本公司采用利用低浓度HF溶液进行尾气吸收处理；如本公司于2019年03月05日授权的专利号为201821235890.4，专利名称为一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备所记载；经过一端时间的使用后发现由于四氧化硅反应釜气体的生成量是会有变化的，导致运行系统不稳定，并且长时间存在内部气压波动也极不安全；另外，经过水洗吸收完成的合格气体中还存在一部分的气体中会带走部分用于中和多余的氢氟酸的碱性液体，会造成浪费且会导致外界环境会受到污染。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置。
本发明的技术方案是这样实现的：一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。
优选为：所述罐体上安装有用于推动内部低气压的SiF4气体的推动装置；所述推动装置包括空压机、引气管、单向阀以及压力监控器；所述空压机的输出端通过所述引气管和三通与进气管的中部连通；所述单向阀安装在引气管上；所述压力监控器安装在进气管上。
优选为：所述罐体上还安装有用于冷却气体的冷却装置；所述冷却装置包括水冷凝器和引水管；所述水冷凝器输出端通过所述引水管与缓冲腔连通；所述罐体底部设置有与缓冲腔连通的出水口。
优选为：所述循环碱洗部与尾气风机之间设置有用于将合格尾气中部分碱液回收的气液分离器；所述气液分离器的输入端与循环碱洗部的尾气输出端连通；所述气液分离器上设置有排水口和排气口；所述气液分离器的排气口与尾气风机输入端连通，排水口通过引流管与循环碱洗部中的碱液储存槽连通。
优选为：所述尾气风机的输出口上安装有网格型过滤板。
与现有技术相比较，本发明带来的有益效果为：首先，通过设置有尾气缓冲单元可以防止进入一级循环水洗部的SiF4气体产生剧烈的压力波动，确保气体流量均匀，保证该尾气吸收系统的可以保持平稳运行。
其中，将尾气缓冲罐设置成内部设置有缓冲腔的罐体，罐体内横向设置有螺旋缓冲管，进入尾气缓冲罐内部的气体会经过内部的螺旋缓冲管进行缓冲；实现缓冲压力波动的效果。
螺旋缓冲管的缓冲原理：螺旋缓冲管的管道呈螺旋状，并且横向设置在罐体内，此时螺旋缓冲管存在高低位，当气体进过多次的低位向高位移动，在这个阻力不间断的过程中可以实现气体缓冲的效果；
需要说明的是，空压机和水冷凝装置均通过底座安装在底面上。
1、通过设置有气体推动装置，该推动装置可以根据压力表的值确定在螺旋缓冲管内气压不够时，将通过空压机外界空气带入，以此提高螺旋缓冲管内部的气压确保气体可以进入一级循环水洗部；
2、通过设置有冷却装置，冷却装置可以将通过向缓冲内部添加冷凝水可以起到给螺旋管内部的气体降温的作用，提高气体的稳定性，另外缓冲腔内经过冷凝以后的水可以直接供一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部使用，实现水循环，提高水源利用率；
3、循环碱洗部与尾气风机之间设置有气液分离器，气液分离器排放的尾气内部残留的碱液进行分离、回收；然后将合格的尾气向外排放，在实现资源回收的同时保护环境。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明具体实施方式结构示意图；
图2为尾气缓冲塔的结构示意图；
图3为冷却装置的结构示意图；
图4为水汽分离器的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-2所示，本发明公开了一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部1、二级循环水洗部2、三级循环水洗部3、循环碱洗部4以及尾气风机5；所述一级循环水洗部1、二级循环水洗部2、循环碱洗部3以及尾气风机4依次逐级连通，在本实用新型具体实施方式中，所述一级循环部1的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元60；所述缓冲单元60包括尾气缓冲罐6；所述尾气缓冲罐6包括内部设置有缓冲腔61的罐体62、设置在缓冲腔61内的螺旋缓冲管63以及蝶阀64；所述尾气缓冲罐6上设置有进气管65和出气管66；所述螺旋缓冲管63横向设置缓冲腔61内；且螺旋缓冲管63的两端分别与进气管65和出气管66连通；所述蝶阀64安装在出气管66的输出口内。
在本实用新型具体实施方式中，所述罐体62上安装有用于推动内部低气压的SiF4气体的推动装置7；所述推动装置7包括空压机71、引气管72、单向阀73以及压力监控器74；所述空压机71的输出端通过所述引气管72和三通与进气管65的中部连通；所述单向阀73安装在引气管72上；所述压力监控器74安装在进气管65上。
与现有技术相比较，本发明带来的有益效果为：首先，通过设置有尾气缓冲单元可以防止进入一级循环水洗部的SiF4气体产生剧烈的压力波动，确保气体流量均匀，保证该尾气吸收系统的可以保持平稳运行。
其中，将尾气缓冲罐设置成内部设置有缓冲腔的罐体，罐体内横向设置有螺旋缓冲管，进入尾气缓冲罐内部的气体会经过内部的螺旋缓冲管进行缓冲；实现缓冲压力波动的效果。
螺旋缓冲管的缓冲原理：螺旋缓冲管的管道呈螺旋状，并且横向设置在罐体内，此时螺旋缓冲管存在高低位，当气体进过多次的低位向高位移动，在这个阻力不间断的过程中可以实现气体缓冲的效果；
需要说明的是，空压机和水冷凝装置均通过底座安装在底面上。
另外，通过设置有气体推动装置，该推动装置可以根据压力表的值确定在螺旋缓冲管内气压不够时，将通过空压机外界空气带入，以此提高螺旋缓冲管内部的气压确保气体可以进入一级循环水洗部；通过设置有气体推动装置，该推动装置可以根据压力表的值确定在螺旋缓冲管内气压不够时，将通过空压机外界空气带入，以此提高螺旋缓冲管内部的气压确保气体可以进入一级循环水洗部；
实施例2，与实施例1不同之处为
如图3所示，在本实用新型具体实施方式中，所述罐体62上还安装有用于冷却气体的冷却装置8；所述冷却装置8包括水冷凝器81和引水管82；所述水冷凝器81输出端通过所述引水管82与缓冲腔61连通；所述罐体62底部设置有与缓冲腔61连通的出水口；所述引水管82上安装有截止阀83。
通过采用上述技术方案，通过设置有冷却装置，冷却装置可以将通过向缓冲内部添加冷凝水可以起到给螺旋管内部的气体降温的作用，提高气体的稳定性，另外缓冲腔内经过冷凝以后的水可以直接供一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部使用，实现水循环，提高水源利用率；
实施例3，与实施例2不同之处为
如图4所示，在本实用新型具体实施方式中，所述循环碱洗部4与尾气风机5之间设置有用于将合格尾气中部分碱液回收的气液分离器9；所述气液分离器9的输入端与循环碱洗部4的尾气输出端连通；所述气液分离器9上设置有排水口91和排气口92；所述气液分离器9的排气口92与尾气风机5输入端连通，排水口91通过引流管93与循环碱洗部4中的碱液储存槽连通。
在本实用新型具体实施方式中，所述尾气风机5的输出口上安装有网格型过滤板。
通过采用上述技术方案，循环碱洗部与尾气风机之间设置有气液分离器，气液分离器排放的尾气内部残留的碱液进行分离、回收；然后将合格的尾气向外排放，在实现资源回收的同时保护环境。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。
2.根据权利要求1所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述罐体上安装有用于推动内部低气压的SiF4气体的推动装置；所述推动装置包括空压机、引气管、单向阀以及压力监控器；所述空压机的输出端通过所述引气管和三通与进气管的中部连通；所述单向阀安装在引气管上；所述压力监控器安装在进气管上。
3.根据权利要求1或2所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述罐体上还安装有用于冷却气体的冷却装置；所述冷却装置包括水冷凝器和引水管；所述水冷凝器输出端通过所述引水管与缓冲腔连通；所述罐体底部设置有与缓冲腔连通的出水口。
4.根据权利要求3所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述循环碱洗部与尾气风机之间设置有用于将合格尾气中部分碱液回收的气液分离器；所述气液分离器的输入端与循环碱洗部的尾气输出端连通；所述气液分离器上设置有排水口和排气口；所述气液分离器的排气口与尾气风机输入端连通，排水口通过引流管与循环碱洗部中的碱液储存槽连通。
5.根据权利要求4所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述尾气风机的输出口上安装有网格型过滤板。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114177725A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-03-15 | 太仓市宇格明叶环保设备有限公司 | 一种多模块旋转雾化喷淋塔及其工作方法 |
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- 2020-05-07 CN CN202020737330.XU patent/CN212167037U/zh active Active
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