CN212161770U - 一种晶圆的旋转升降传送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种晶圆旋转升降传送机构。所述晶圆旋转升降传送机构包括固定机台、移动机台、升降机构和旋转机构，所述固定机台固定安装在制造设备上，所述移动机台在所述固定机台上可以上下滑动，所述升降机构和所述旋转机构均安装在所述移动机台上。本实用新型结构较为简单，易于维护，占用空间少，并且可以同时完成旋转和升降两个传送动作。

Description

一种晶圆的旋转升降传送机构

技术领域

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种晶圆的旋转升降传送机构。

背景技术

随着半导体工艺技术的发展，对半导体生产制造的设备也提出了更高的要求，需要将晶圆在各工艺腔体中进行传送，同时，半导体制造设备对于工作空间的利用率有着极高的要求，需要在狭小的空间里进行传送。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种占用极少空间，即可对晶圆进行旋转与升降两种传送方式的传送机构。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种晶圆旋转升降传送机构，包括固定机台、移动机台、升降机构和旋转机构，所述固定机台固定安装在制造设备上，所述移动机台在所述固定机台上可以上下滑动，所述升降机构和所述旋转机构均安装在所述移动机台上。所述固定机台包括滑轨和马达固定座，所述滑轨竖直固定安装在所述固定机台背面，所述马达固定座固定安装在所述固定机台上，所述马达固定座有两个竖直开孔。

所述升降机构包括升降驱动马达、升降传动齿轮、升降丝杆齿轮和升降丝杆；所述升降驱动马达安装在所述马达固定座下，所述升降驱动马达的传动轴竖直穿过所述马达固定座的一个开孔安装有所述升降传动齿轮，所述升降丝杆齿轮安装在所述升降丝杆上，与所述升降传动齿轮啮合传动，所述升降丝杆竖直穿过所述固定机台与所述移动机台。

所述旋转机构包括旋转驱动马达、旋转驱动马达传动轴、旋转传动斜齿轮、第一齿轮组、第二齿轮组、旋转杆斜齿轮和旋转杆；所述旋转驱动马达安装在所述移动机台远离所述固定机台的一端，所述旋转驱动马达传动轴竖直穿过所述旋转传动斜齿轮，安装在移动机台上，所述第一齿轮组和所述第二齿轮组垂直安装于所述移动机台的竖直平面上，所述旋转杆竖直穿过所述移动机台，所述旋转杆斜齿轮安装在所述旋转杆上部；所述旋转传动斜齿轮与所述第一齿轮组中的第一斜齿轮啮合传动，所述第一齿轮组和所述第二齿轮组通过设置在所述两组齿轮组中的日内瓦齿轮组联动，所述旋转杆斜齿轮与所述第二齿轮组中的梯形斜齿轮啮合传动。所述第一齿轮组包括第一日内瓦齿轮、第二日内瓦齿轮、第一斜齿轮、第一齿轮座、安装垫圈、第一轴承、第二轴承、轴间垫圈和第一日内瓦齿轮座，所述第一轴承、所述轴间垫圈和所述第二轴承由外向内依次安装在所述第一齿轮座上；所述第一日内瓦齿轮和所述第二日内瓦齿轮由外向内依次安装在所述第一日内瓦齿轮座上；所述第一日内瓦齿轮座安装在所述第一轴承和所述第二轴承上；所述第一斜齿轮安装在所述第二轴承上，所述安装垫圈安装在所述第一齿轮座的最外端；所述第二日内瓦齿轮和所述第一斜齿轮通过螺栓相对固定，同时转动，所述第一齿轮座固定安装在所述移动机台上。所述第二齿轮组包括第三日内瓦齿轮、梯形斜齿轮、第二日内瓦齿轮座、轴承固定外圈、轴承、第二齿轮座、轴承固定底圈、第三轴承、齿轮座垫圈；所述日内瓦齿轮座、所述第三轴承、所述齿轮座垫圈和所述轴承固定底圈由外向内依次安装在所述第二齿轮座上，所述第三日内瓦齿轮、所述梯形斜齿轮和所述轴承由外向内依次安装在所述第二日内瓦齿轮座上，所述轴承固定外圈套在所述轴承上同时所述轴承固定外圈通过螺栓固定安装在所述移动机台上，所述第三日内瓦齿轮、所述梯形斜齿轮、所述第二日内瓦齿轮座和所述轴承固定底圈通过螺栓相对固定，同时转动，所述第二齿轮座固定安装在所述移动机台上，所述第一日内瓦齿轮与所述第三日内瓦齿轮配合安装在同一竖直平面上，所述第二日内瓦齿轮与所述梯形斜齿轮配合安装在同一竖直平面上。

优选的，所述移动机台在所述滑轨的对应位置安装有滑块，所述滑块与所述滑轨配合滑动。

优选的，所述第三日内瓦齿轮开有一径向的传动槽，在所述传动槽的两侧设有对称的圆弧形开口面，所述圆弧形开口面的弧度与所述第一日内瓦齿轮的外圆弧度吻合。

优选的，所述第一日内瓦齿轮在朝向第二齿轮组轴心的位置开有一避让所述传动槽的圆弧形开口面。

优选的，所述第二日内瓦齿轮朝向第二齿轮组轴心延伸有一传动套筒平台，所述平台上下两端设有对称的L型斜齿轮挡片，所述传动套筒平台外侧安装有一传动套筒，所述传动套筒安装在所述传动槽内。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

(1)本实用新型占用空间少，并且可以同时完成旋转和升降两个传送动作。

(2)本实用新型结构较为简单，易于维护。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的轴侧视图；

图2为本实用新型的转动机构齿轮组爆炸图；

图3为本实用新型的后视图；

图4为本实用新型第一齿轮组轴向剖视图；

图5为本实用新型第二齿轮组轴向剖视图；

图6为本实用新型移动机台零件图；

图7为本实用新型第一日内瓦齿轮的部分结构示意图。

具体实施方式

见图1、图2、图4和图6，本实用新型具有固定机台1、移动机台2、升降机构3和旋转机构4，移动机台2通过滑块21安装在固定机台1的滑轨11上。升降机构3和旋转机构4都安装在移动机台2上。固定机台1还包括马达固定座12，滑轨11竖直固定安装在固定机台1背面，马达固定座 12固定安装在固定机台1上，马达固定座12有两个竖直开孔。

升降机构3包括升降驱动马达31、升降传动齿轮32、升降丝杆齿轮33 和升降丝杆34；升降驱动马达31安装在马达固定座12下，升降驱动马达 31的传动轴竖直穿过马达固定座31的一个开孔安装有升降传动齿轮32，升降丝杆齿轮33安装在升降丝杆34上，与升降传动齿轮32啮合传动，升降丝杆34竖直穿过固定机台1与移动机台2。

旋转机构4包括旋转驱动马达41、旋转驱动马达传动轴42、旋转传动斜齿轮43、第一齿轮组44、第二齿轮组45、旋转杆斜齿轮46和旋转杆47。第一齿轮组44包括第一日内瓦齿轮441、第二日内瓦齿轮442、第一斜齿轮443、第一齿轮座444、安装垫圈445、第一轴承446、第二轴承447、轴间垫圈448和第一日内瓦齿轮座449，第一轴承446、轴间垫圈448和第二轴承447由外向内依次安装在第一齿轮座444上；第一日内瓦齿轮441和第二日内瓦齿轮442由外向内依次安装在第一日内瓦齿轮座449上；第一日内瓦齿轮441座安装在第一轴承446和第二轴承447上；第一斜齿轮443 安装在第二轴承447上，安装垫圈445安装在第一齿轮座444的最外端；第二日内瓦齿轮442和第一斜齿轮443通过螺栓相对固定，同时转动，第一齿轮座444固定安装在移动机台2上。第二齿轮组45包括第三日内瓦齿轮451、梯形斜齿轮452、第二日内瓦齿轮座453、轴承固定外圈454、轴承455、第二齿轮座456、轴承固定底圈457、第三轴承458、齿轮座垫圈 459；第二日内瓦齿轮座453、第三轴承458、齿轮座垫圈459和轴承固定底圈457由外向内依次安装在第二齿轮座456上，第三日内瓦齿轮451、梯形斜齿轮452和轴承455由外向内依次安装在第二日内瓦齿轮座453上，轴承固定外圈454套在轴承455上同时轴承固定外圈454通过螺栓固定安装在移动机台2上，第三日内瓦齿轮451、梯形斜齿轮452、第二日内瓦齿轮座453和轴承固定底圈457通过螺栓相对固定，同时转动，第二齿轮座456固定安装在移动机台2上，第一日内瓦齿轮441与第三日内瓦齿轮451 配合安装在同一竖直平面上，第二日内瓦齿轮442与梯形斜齿轮452配合安装在同一竖直平面上。旋转驱动马达41安装在移动机台2远离固定机台 1的一端，旋转驱动马达传动轴42竖直穿过旋转传动斜齿轮43，安装在移动机台2上，第一齿轮组44和第二齿轮组45垂直安装于移动机台2的竖直平面上，旋转杆47竖直穿过移动机台2，旋转杆斜齿轮46安装在47旋转杆上部；旋转传动斜齿轮43与第一齿轮组44中的第一斜齿轮443啮合传动，第一齿轮组44和第二齿轮组45通过设置在所述两组齿轮组中的日内瓦齿轮组联动，旋转杆斜齿轮46与第二齿轮组45中的梯形斜齿轮452 啮合传动。

优选的，第三日内瓦齿轮451开有一径向的传动槽4511，在传动槽4511 的两侧设有对称的圆弧形开口面4512，圆弧形开口面4512的弧度与第一日内瓦齿轮441的外圆弧度吻合。

优选的，第一日内瓦齿轮441在朝向第二齿轮组45轴心的位置开有一避让传动槽4511的圆弧形开口面4411。

优选的，第一日内瓦齿轮442朝向第二齿轮组45轴心延伸有一传动套筒平台，平台上下两端设有对称的L型斜齿轮挡片4421，传动套筒平台外侧安装有一传动套筒4422，传动套筒4422安装在传动槽4511内。

本实用新型的工作原理为：

升降时，升降指令通过电信号传送给升降驱动马达31，升降驱动马达 31通过升降传动齿轮32带动升降丝杆齿轮33转动，进而使得升降丝杆34 转动，此时，移动机台2通过滑块21即可在固定机台1上的滑轨11上实现上下升降。

旋转时，旋转指令通过电信号传送给旋转驱动马达41，带动旋转传动斜齿轮43旋转，再通过与之啮合的第一斜齿轮443带动整个第一齿轮组44 转动，此时传动套筒4422在传动槽4511内运动，拨动第二齿轮组45转动，此时第二齿轮组45中的梯形斜齿轮452带动与之啮合的旋转杆斜齿轮46 转动，从而使得旋转杆47实现180°水平左右旋转。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述晶圆旋转升降传送机构包括固定机台、移动机台、升降机构和旋转机构，所述固定机台固定安装在制造设备上，所述移动机台在所述固定机台上可以上下滑动，所述升降机构和所述旋转机构均安装在所述移动机台上。

2.根据权利要求1所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述固定机台包括滑轨和马达固定座，所述滑轨竖直固定安装在所述固定机台背面，所述马达固定座固定安装在所述固定机台上，所述马达固定座有两个竖直开孔。

3.根据权利要求2所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述升降机构包括升降驱动马达、升降传动齿轮、升降丝杆齿轮和升降丝杆；所述升降驱动马达安装在所述马达固定座下，所述升降驱动马达的传动轴竖直穿过所述马达固定座的一个开孔安装有所述升降传动齿轮，所述升降丝杆齿轮安装在所述升降丝杆上，与所述升降传动齿轮啮合传动，所述升降丝杆竖直穿过所述固定机台与所述移动机台。

4.根据权利要求2所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述移动机台在所述滑轨的对应位置安装有滑块，所述滑块与所述滑轨配合滑动。

5.根据权利要求1所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述旋转机构包括旋转驱动马达、旋转驱动马达传动轴、旋转传动斜齿轮、第一齿轮组、第二齿轮组、旋转杆斜齿轮和旋转杆；所述旋转驱动马达安装在所述移动机台远离所述固定机台的一端，所述旋转驱动马达传动轴竖直穿过所述旋转传动斜齿轮，安装在移动机台上，所述第一齿轮组和所述第二齿轮组垂直安装于所述移动机台的竖直平面上，所述旋转杆竖直穿过所述移动机台，所述旋转杆斜齿轮安装在所述旋转杆上部；所述旋转传动斜齿轮与所述第一齿轮组中的第一斜齿轮啮合传动，所述第一齿轮组和所述第二齿轮组通过设置在所述两组齿轮组中的日内瓦齿轮组联动，所述旋转杆斜齿轮与所述第二齿轮组中的梯形斜齿轮啮合传动。

6.根据权利要求5所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述第一齿轮组包括第一日内瓦齿轮、第二日内瓦齿轮、第一斜齿轮、第一齿轮座、安装垫圈、第一轴承、第二轴承、轴间垫圈和第一日内瓦齿轮座，所述第一轴承、所述轴间垫圈和所述第二轴承由外向内依次安装在所述第一齿轮座上；所述第一日内瓦齿轮和所述第二日内瓦齿轮由外向内依次安装在所述第一日内瓦齿轮座上；所述第一日内瓦齿轮座安装在所述第一轴承和所述第二轴承上；所述第一斜齿轮安装在所述第二轴承上，所述安装垫圈安装在所述第一齿轮座的最外端；所述第二日内瓦齿轮和所述第一斜齿轮通过螺栓相对固定，同时转动，所述第一齿轮座固定安装在所述移动机台上。

7.根据权利要求6所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述第二齿轮组包括第三日内瓦齿轮、梯形斜齿轮、第二日内瓦齿轮座、轴承固定外圈、轴承、第二齿轮座、轴承固定底圈、第三轴承、齿轮座垫圈；所述日内瓦齿轮座、所述第三轴承、所述齿轮座垫圈和所述轴承固定底圈由外向内依次安装在所述第二齿轮座上，所述第三日内瓦齿轮、所述梯形斜齿轮和所述轴承由外向内依次安装在所述第二日内瓦齿轮座上，所述轴承固定外圈套在所述轴承上同时所述轴承固定外圈通过螺栓固定安装在所述移动机台上，所述第三日内瓦齿轮、所述梯形斜齿轮、所述第二日内瓦齿轮座和所述轴承固定底圈通过螺栓相对固定，同时转动，所述第二齿轮座固定安装在所述移动机台上，所述第一日内瓦齿轮与所述第三日内瓦齿轮配合安装在同一竖直平面上，所述第二日内瓦齿轮与所述梯形斜齿轮配合安装在同一竖直平面上。

8.根据权利要求7所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述第三日内瓦齿轮开有一径向的传动槽，在所述传动槽的两侧设有对称的圆弧形开口面，所述圆弧形开口面的弧度与所述第一日内瓦齿轮的外圆弧度吻合。

9.根据权利要求8所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述第一日内瓦齿轮在朝向第二齿轮组轴心的位置开有一避让所述传动槽的圆弧形开口面。

10.根据权利要求8所述的晶圆旋转升降传送机构，其特征在于：所述第二日内瓦齿轮朝向第二齿轮组轴心延伸有一传动套筒平台，所述平台上下两端设有对称的L型斜齿轮挡片，所述传动套筒平台外侧安装有一传动套筒，所述传动套筒安装在所述传动槽内。

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