CN212060494U - Tft产品测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，特别涉及一种TFT产品测试装置。所述TFT产品测试装置，包括：控制器、底座以及设置在底座上的运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件，运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件均与控制器通讯连接；运动组件包括测试治具、Y向驱动件、Z向驱动件、X向驱动件和旋转驱动件；Z向驱动件与Y向驱动件传动连接，X向驱动件与Z向驱动件传动连接，旋转驱动件与Z向驱动件传动连接，测试治具与旋转驱动件传动连接。本实用新型提供的TFT产品测试装置能够实现对待测产品四个方向上的移动，从而能够使TFT准确达到测试位，与针卡通讯组件和生物识别组件完成连接，实现了自动化对位连通，使得测试效率高。

Description

TFT产品测试装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，特别涉及一种TFT产品测试装置。

背景技术

超声波指纹识别技术已经得到了广泛应用，TFT(薄膜晶体管)为超声波指纹模组系列的指纹识别区部分，TFT与超声波指纹模组主体通过“bonding”工序组装在一起，形成完整的超声波指纹模组芯片。对TFT产品测试，主要是为了通过卡控TFT产品的良率来提高超声波模组主体与TFT完成bonding之后完整的模组的测试良率因此在对TFT和超声波模组主体“bonding”之前有必要对TFT产品进行测试。

目前市场上已有的TFT产品测试装置不能实现待测试产品的自动对位连通进行测试，导致测试效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种TFT产品测试装置，以解决现有技术中的TFT产品测试装置测试效率低的技术问题。

本实用新型提供一种TFT产品测试装置，包括：控制器、底座以及设置在所述底座上的运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件，所述运动组件、所述生物识别组件和所述针卡通讯组件均与所述控制器通讯连接；

所述运动组件包括测试治具、Y向驱动件、Z向驱动件、X向驱动件和旋转驱动件；所述Z向驱动件与所述Y向驱动件传动连接，所述X向驱动件与所述Z向驱动件传动连接，所述旋转驱动件与所述Z向驱动件传动连接，所述测试治具与所述旋转驱动件传动连接。

进一步地，TFT产品测试装置还包括与所述控制器通讯连接的视觉定位组件，所述视觉定位组件用于对测试治具进行定位；所述生物识别组件和针卡通讯组件对角设置，所述视觉定位组件和所述运动组件对角设置。

进一步地，所述针卡通讯组件包括探针卡、针卡安装板和针卡支撑块，所述针卡支撑块与所述底座连接，所述针卡安装板安装在所述针卡支撑块上，所述探针卡固定在所述针卡安装板上，所述针卡安装板向靠近所述运动组件的方向伸出所述针卡支撑块设置；

所述运动组件还包括限位板，所述限位板的第一端高于所述限位板的第二端，所述限位板的第一端与所述测试治具固定连接，所述限位板的第二端能够与所述针卡安装板抵接。

进一步地，所述针卡通讯组件还包括调平件，所述调平件与所述针卡安装板连接，以调整所述针卡安装板的水平度。

进一步地，所述针卡通讯组件还包括X向调节件和Y向调节件；所述X向调节件与所述支撑块连接，所述Y向调节件与所述底座连接，或者所述Y向调节件与所述支撑块连接，所述X向调节件与所述底座连接。

进一步地，所述针卡通讯组件还包括测试板卡安装板、超声波模组测试板和连接柱，所述测试板卡安装板的一端与所述支撑块固定连接，所述测试板卡安装板的一端向远离所述运动组件的方向延伸，所述连接柱的一端与所述测试板卡安装板连接，另一端与所述超声波模组测试板连接。

进一步地，所述生物识别组件包括固定座、升降驱动件和生物识别压头，所述固定座与所述底座固定连接，所述升降驱动件与所述固定座连接，所述升降驱动件与所述生物识别压头传动连接，以驱动所述生物识别压头上下运动。

进一步地，所述生物识别组件还包括横向导轨、滑动板和生物识别支架，所述横向导轨固定在所述固定座上，所述滑动板滑设在所述横向导轨上，所述生物识别支架固定在所述滑动板上，所述升降驱动件设置在所述生物识别支架上。

进一步地，所述生物识别组件还包括测试位固定件，所述测试位固定件设置在所述横向导轨上，以固定所述滑动板的位置。

进一步地，所述升降驱动件包括动力件、直线滑轨、锁紧块、转接块和导向轴，所述动力件与所述直线滑轨的上部连接，所述直线滑轨滑设在所述生物识别支架上；

所述直线滑轨的下端与所述锁紧块的上部连接，所述锁紧块的下部与所述转接块通过调节螺丝连接，且所述调节螺丝的轴线位于竖直方向，所述导向轴穿过所述转接块和所述锁紧块，所述导向轴的轴线位于水平方向，所述转接块与所述生物识别压头连接。

进一步地，所述生物识别组件还包括缓冲件，所述缓冲件的一端与所述锁紧块连接，所述锁紧块的另一端与所述生物识别支架连接。

本实用新型提供的TFT产品测试装置，包括：控制器、底座以及设置在底座上的运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件，运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件均与控制器通讯连接；运动组件包括测试治具、Y向驱动件、Z向驱动件、X向驱动件和旋转驱动件；Z向驱动件与Y向驱动件传动连接，X向驱动件与Z向驱动件传动连接，旋转驱动件与Z向驱动件传动连接，测试治具与旋转驱动件传动连接。

测试治具上用于放置待测产品，控制器可Y向驱动件、Z向驱动件和X向驱动件综合运动可以带动测试治具沿三个方向移动，旋转驱动件能够带动测试治具转动，运动组件能够实现在四个方向上对待测产品进行位置调整，从而能够使待测产品到达测试位，运动组件将待测产品送至测试位后，针卡通讯组件上的探针与待测产品上的测试点接触，而后生物识别组件中的生物识别压头(模拟人体手指)压住待测产品的生物识区，根据针卡通讯组件的电信号输出与良品的产品所产生的电信号进行对比，结果一致(允许存在误差)，则说明待测产品合格。本实用新型提供的TFT产品测试装置能够实现对待测产品四个方向上的移动，从而能够使TFT准确达到测试位，与针卡通讯组件和生物识别组件完成连接，实现了自动化对位连通，使得测试效率高。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据本实用新型实施例的TFT产品测试装置的结构示意图；

图2是图1所示的TFT产品测试装置中运动组件的结构示意图；

图3是图1所示的TFT产品测试装置中生物识别组件的一视角结构示意图；

图4是图1所示的TFT产品测试装置中生物识别组件的另一视角结构示意图；

图5是图1所示的TFT产品测试装置中针卡通讯组件的结构示意图；

图6是图5所示的针卡通讯组件中转角滑台的结构示意图；

图7是图1所示的TFT产品测试装置中视觉定位组件的结构示意图。

图中：1－运动组件；11－测试治具；12－弯接；13－限位板；14－垫块；15－垫片；16－三轴精密滑台；17－滑台安装板；18－拖链安装块；19－拖链；110－直线模组；111－伺服电机；

2－生物识别组件；21－底板；22－安装支架；23－加强件；24－线轨安装板；25－加强肋板；26－线轨垫高块；27－固定块；28－线轨；29－滑动板；210－生物识别支架；211－步进电机；212－齿轮；213－电机安装板；214－固定板；215－缓冲块；216－光电传感器；217－齿条安装块；218－齿条；219－第一配重块；220－第二配重块；221－直线导轨；222－传感器挡片；223－第一锁紧块；224－第二锁紧块；225－拉簧支柱；226－转接块；227－导向轴；228－安装座；229－无头螺丝；230－转接板；231－梁式传感器；232－搭扣固定块；233－搭扣；234－生物识别安装座；235－无油衬套；236－等高螺栓；237－生物识别压头；238－压簧；240－生物识别安装板；241－拉簧固定件；242－拉簧；

3－针卡通讯组件；31－探针卡；32－针卡安装板；33－针卡支撑块；34－转角滑台；35－针卡交叉滚子型滑台；36－测试板卡安装板；37－超声波模组测试板；38－连接柱；39－调平固定板；341－上转角滑台；342－下转角滑台；

4－视觉定位组件；41－相机；42－相机固定件；43－侧拍光源支撑件；44－镜头固定件；45－定位交叉滚子型滑台；46－相机固定支撑板；47－定位支架；48－定位支架支撑板；410－紧固件；

5－底座。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图5所示，本实用新型提供一种TFT产品测试装置，包括：控制器、底座以及设置在底座5上的运动组件1、生物识别组件2和针卡通讯组件3，运动组件1、生物识别组件2和针卡通讯组件3均与控制器通讯连接；运动组件1包括测试治具11、Y向驱动件、Z向驱动件、X向驱动件和旋转驱动件；Z向驱动件与Y向驱动件传动连接，X向驱动件与Z向驱动件传动连接，旋转驱动件与Z向驱动件传动连接，测试治具11与旋转驱动件传动连接。

本实施例中，测试治具11上用于放置待测产品，控制器可控制Y向驱动件、Z向驱动件和X向驱动件综合运动，从而带动测试治具11沿三个方向移动，旋转驱动件能够带动测试治具11转动，运动组件1能够实现在四个方向上对待测产品进行位置调整，从而能够使待测产品到达测试位，运动组件1将待测产品送至测试位后，针卡通讯组件3上的探针与待测产品上的测试点接触，而后生物识别组件2中的生物识别压头237(模拟人体手指)压住待测产品的生物识区，根据针卡通讯组件3的电信号输出与良品的产品所产生的电信号进行对比，结果一致(允许存在误差)，则说明待测产品合格。

本实施例提供的TFT产品测试装置能够实现对待测产品四个方向上的移动，从而能够使TFT准确达到测试位，与针卡通讯组件3和生物识别组件2完成连接，实现了自动化对位连通，使得测试效率高。

如图1所示，在上述实施例基础之上，进一步地，TFT产品测试装置还包括与控制器通讯连接的视觉定位组件4；生物识别组件2和针卡通讯组件3对角设置，视觉定位组件4和运动组件1对角设置。

本实施例中，视觉定位组件4能够对测试治具11进行定位，而TFT产品固定在测试治具上，间接地视觉装置实现对TFT产品的定位，并将测试治具11的位置信息(也可以理解为TFT产品的位置信息)实时发送给控制器，控制器根据测试治具11当前位置(也可以理解为TFT产品的当前位置)与指定测试位的差距来控制运动组件1运动，从而能够精准控制运动组件1的运动，使待测产品的对位更加精准，使测试效率更高。

生物识别组件2和针卡通讯组件3对角设置，视觉定位组件4和运动组件1对角设置，这种结构使得TFT产品测试装置的结构紧凑，设计合理。

其中，如图7所示，视觉定位组件4包括：相机41、相机固定件42、侧拍光源支撑件43、定位交叉滚子型滑台45和相机41支撑固定板214；相机41安装在相机固定件42上，相机固定件42和侧拍光源支撑件43连接，相机41的镜头通过镜头固定件44连接侧拍光源支撑件43上，定位交叉滚子型滑台45的一侧和侧拍光源支撑件43连接，定位交叉滚子型滑台45的另一侧和相机固定支撑板46连接，相机41高度位置调整好后，通过紧固件410一侧连接侧拍光源支撑件43，另一侧连接相机固定支撑板46。定位支架47和相机固定支撑板46连接，中间用定位支架支撑板48固定。

如图2所示，在上述实施例基础之上，进一步，运动组件1中的Y向驱动件、Z向驱动件以及X向驱动件均可采用电动伸缩杆、齿轮齿条结构或者滚珠丝杠结构。旋转驱动件可采用电机或者采用蜗轮蜗杆结构。Y向驱动件、Z向驱动件和旋转驱动件可直接采用三轴精密滑台16。

需要说明的是，Z向位于竖直方向，X向和Y向均位于水平方向，且X向垂直于Z向，Y向既与X向垂直，又与Z向垂直。

如图2所示，在上述实施例基础之上，进一步，测试治具11包括测试板，测试板中空设置，测试板的顶面设有多个气孔，测试板的侧面设有出气口，出气口用于连接抽气装置。

本实施例中，将待测产品放置在测试板上后，通过弯接12将抽气装置与出气口连接，从而对测试板进行抽气，从而使测试板内形成真空，从而将待测产品吸附，实现固定待测产品的目的，采用真空负压固定待测产品，能够避免待测产品受到损伤。当然还可以在测试板上设置台阶，从而对待测产品进行限位。

如图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，针卡通讯组件3包括探针卡31、针卡安装板32和针卡支撑块33，针卡支撑块33与底座5连接，针卡安装板32安装在针卡支撑块33上，探针卡31固定在针卡安装板32上，针卡安装板32向靠近运动组件1的方向伸出针卡支撑块33设置；运动组件1还包括限位板13，限位板13的第一端高于限位板13的第二端，限位板13的第一端与测试治具11固定连接，限位板13的第二端能够与针卡安装板32抵接。

本实施例中，设置限位板13能够对测试治具11的上升进行限制，当测试治具11在Z向驱动件的带动下上升时，如果限位板13的第二端与针卡安装板32抵接，则能够阻止测试治具11继续上升，从而避免测试治具11撞坏通讯组件的探针卡31，限位板13能够在针卡支撑块33的安装空间限制下，限制待测产品的最大升高高度。

进一步地，可在限位板13的第二端设置垫块14和多个垫片15，垫块14固定在限位板的第二端，多个垫片15堆叠在垫块14上，可根据具体安装空间来调整垫片15的数量，从而能够保证在测试治具11撞到探针卡31前，垫片15就与针卡安装板32抵接。

具体地，如图2所示，限位板呈Z形设置，Y向驱动件包括直线模组110和与直线模组110传动连接的伺服电机111，运动组件1还包括滑台安装板17、拖链安装块18和拖链19，三轴精密滑台16与限位板连接，来实现产品的X、Z向运动以及旋转角度补偿，三轴精密滑台16的下部与滑台安装板17连接，滑台安装板17的一侧还和拖链安装块18连接，滑台安装板的下方与直线模组110连接，拖链19和拖链安装块18连接方便电线等连接线移动。

如图1和图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，针卡通讯组件还包括调平件，调平件与针卡安装板32连接，以调整针卡安装板32的水平度。

本实施例中，通过调平件可以根据待测产品的水平度来调整安装板的水平度，从而实现探针卡31与待测产品平行，从而保障探针卡31的探针能够与待测产品上的测试点完全接触，从而保障测试准确度。

其中，调平件的结构形式可为多种，例如：调平件包括球关节，安装板通过球关节与针卡支撑块33转动连接，可利用摩擦力实现安装板与针卡支撑块33之间的相对位置固定，或者采用调节螺丝实现固定。

作为一种可选方案，如图6所示，调平件包括调平固定板39和转角滑台34(转角滑台34可采用常规结构)，如：转角滑台34包括上转角滑台341、下转角滑台342和设置在下转角滑台上的调节柄，上转角滑台341的底部设有弧形凸起，下转角滑台342的顶部设有与弧形凸起相配合的凹槽，调节柄用于调整上转角滑台341相对下转角滑台342的位置；上转角滑台341与针卡安装板32连接，下转角滑台与针卡支撑块33连接，调平固定板39的一端与针卡安装板32固定连接，调平固定板39的另一端与针卡支撑块33固定连接，以将上转角滑台和下转角滑台相对固定。

本实施例中，上转角转台可相对下转角转台沿凹槽的弧形在竖直平面内摆动，从而实现对安装板的水平度的调整，当转角滑台完成调解后，将调平固定板39的一端与针卡安装板32固定连接，调平固定板39的另一端与针卡支撑块33固定连接，以将上转角滑台341和下转角滑台342相对固定，该调平件结构简单，使调节过程平稳。

如图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，针卡通讯组件还包括X向调节件和Y向调节件；X向调节件与针卡支撑块33连接，Y向调节件与底座连接，或者Y向调节件与针卡支撑块33连接，X向调节件与底座连接。

需要说明的是X向调节件和Y向调节件均在水平面内活动，且X向与Y向垂直。

本实施例中，设置X向调节件和Y向调节件，可实现对安装板在X向和Y向上的移动，从而实现对探针卡31位置的调整，进一步方便运动组件1带动待测产品对位连通，进一步提高测试效率。

其中，X向调节件和Y向调节件均可以采用电动伸缩杆、齿轮齿条结构或者滚珠丝杠结构。

可选地，采用针卡交叉滚子型滑台35集成X向调节件和Y向调节件，结构紧凑，占用空间少。

如图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，针卡通讯组件3还包括测试板卡安装板36、超声波模组测试板37和连接柱38，测试板卡安装板36的一端与针卡支撑块33固定连接，测试板卡安装板36的一端向远离运动组件1的方向延伸，连接柱38的一端与测试板卡安装板36连接，另一端与超声波模组测试板37连接。

本实施例中，采用测试板卡安装板36和超声波模组测试板37完成对待测产品的测试，测试板卡安装板36和超声波模组测试板37设置针卡支撑块33远离运动组件1的一侧，结构合理紧凑。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，生物识别组件2包括固定座、升降驱动件和生物识别压头237，固定座与底座固定连接，升降驱动件与固定座连接，升降驱动件与生物识别压头237传动连接，以驱动生物识别压头237上下运动。

本实施例中，升降驱动件能够带动生物识别压头237上升或者下降，从而实现压在待测产品的指纹识别区，从而完成实验。

其中升降驱动件可以为电动伸缩杆或者滚珠丝杠结构。

作为一种可选方案，如图3和图4所示，升降驱动件包括动力件，动力件包括步进电机211、齿轮212和齿条218，步进电机211固定在固定架上，步进电机211的动力输出轴与齿轮212固定连接，齿轮212与齿条218啮合传动，齿条218与生物识别压头237传动连接。

本实施例中，通过齿轮212带动齿条218上下运动，从而带动生物识别压头237上下运动，能够实现精密控制，避免生物识别压头237压坏待测产品。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，生物识别组件2还包括横向导轨、滑动板29和生物识别支架210，横向导轨固定在固定座上，滑动板29滑设在横向导轨上，生物识别支架固定在滑动板29上，升降驱动件设置在生物识别支架上。

本实施例中，横向导轨沿水平方延伸，且沿远离针卡通讯组件3的方向延伸，从而使结构紧凑布局合理。滑动板29能够在横向导轨上滑动，则可实现设置调试位，可将滑动板29滑设至横向滑轨的远离针卡通讯组件3的位置时设为调试位，在真正测试前，可先通过运动组件1将待测产品运至测试位，在此位置调整探针卡的平行度与待测产品的平行度一致，将探针卡31的位置固定，然后将待测产品移动至调试位，在此位置调整对生物识别压头237的平行度进行调整，使其与待测产品平行，以保障实际测试过程中，压头能够将产品压紧，从而避免在真正测试过程中出现问题，也是为了保障测试效率。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，生物识别组件2还包括测试位固定件，测试位固定件设置在横向导轨上，以固定滑动板29的位置。

本实施例中，在横向导轨上设置测试位固定件，测试位固定件对滑动板29的位置进行固定，从而避免滑动板29在测试过程发生移动导致测试失败。

其中，测试位固定件的结构形式可以多种，例如在横向导轨上的位于测试位处设置电磁铁，当滑动板29在测试位时，给电磁铁通电使其产生吸力将滑动板29吸住(当然滑动板29需采用能够被磁性吸住的材料)。

作为一种可选方案，测试位固定件包括多个固定块27，固定块27与横向导轨可拆卸连接，如，螺栓连接或者卡接等，当滑动板29位于测试位时，通过多个固定块27固定在滑动板29的两侧从而将滑动板29夹住固定。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，升降驱动件还包括直线滑轨、锁紧块、转接块226和导向轴227，齿条218与直线滑轨的上部连接，直线滑轨滑设在生物识别支架上；直线滑轨的下端与锁紧块的上部连接，锁紧块的下部与转接块226通过调节螺丝连接，且调节螺丝的轴线位于竖直方向，导向轴227穿过转接块和锁紧块，导向轴227的轴线位于水平方向，转接块226与生物识别压头237连接。

本实施例中，锁紧块通过调节螺丝与转接块226在竖直方向上形成连接，而锁紧块又通过导向轴227与转接块226在水平方向上实现转动连接，锁紧块能够以导向轴227为中心转动，具体地，调节螺丝可以为四个，四个调节螺丝分布在锁紧块的四个角处，通过调整四个调节螺丝的高低，来调整锁紧块的水平度，从而调整生物识别压头237的水平度。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，生物识别组件2还包括梁式传感器231和压头安装座228，梁式传感器231连接在转接块226的下方，压头安装座228与梁式传感器231连接，生物识别压头237设置压头安装座228上。

本实施例中，梁式传感器231是能够检测压头受到的压力，并将检测到的压力值传输给控制器，控制器可通过压力值来判断生物识别压头237是否将待测产品压紧，进一步提高测试效率。

如图3和图4所示，在上述实施例基础之上，进一步地，生物识别组件2还包括缓冲件，缓冲件的一端与锁紧块连接，锁紧块的另一端与生物识别支架连接。

本实施例中，设置缓冲件能够防止步进电机211断电时，下面的生物识别压头237等部件向下的冲击力过大，从而避免撞坏探针。

其中缓冲件可以为阻尼缓冲器，还可为拉簧242等。

如图3和图4所示，具体地：

固定座包括底板21、相对设置的两个安装支架22和加强板，底板21的下部与底座5固定连接，底板21的上部和两个安装支架22连接，两个安装支架22之间通过加强件23连接增加强度。

横向导轨包括线轨28、线轨安装板24、加强肋板25、线轨垫高块26和滑块，线轨安装板24固定在安装支撑架上，一个安装支撑架与线轨安装板24之间连接有加强肋板25，加强肋板25可增加线轨28的稳定性，两个线轨垫高块26分别连接在线轨安装板24两侧，四个固定块27连接在线轨安装板24上，两个线轨垫高块26上方分别连接线轨28，滑块滑设在线轨28上，滑动板29与滑块固定连接。

转接板230可包括与安装座连接的第一部，以及与锁紧块连接的第二部，第一部固定在第二部上。锁紧块包括第一锁紧块223和第二锁紧块224，调节螺丝采用无头螺丝229。

步进电机211的轴端和齿轮212连接，电机安装板213的一侧和步进电机211连接，另一侧和固定板214连接，固定板214的一侧安装缓冲块215，固定板214的另一侧安装光电传感器216，齿条218固定在齿条安装块217的一侧上，齿条安装块217的另一侧和第二配重块220连接，第一配重块219和第二配重块220连接后再和直线导轨221的上部连接，传感器挡片222和第二配重块220连接，直线导轨221的下部和第一锁紧块223、第二锁紧块224连接(第一锁紧块223和第二锁紧块224将直线导轨221的下部夹住)，第二锁紧块224上安装拉簧支柱225，第二锁紧块224和转接块226的第二部之间插入导向轴227，转接块226和安装座228的第一部之间也插入导向轴227(第一部与安装座之间的导向轴的轴向与第二部与第二锁紧块之间的导向轴的轴向相交)，在第二锁紧块224和转接块226的第二部之间且位于导向轴227的两侧安装调节用的无头螺丝229。

设置转接板230和安装座228的一侧连接，并和梁式传感器231安装在一起，梁式传感器231的下方安装搭扣固定块232，搭扣固定块232的两侧安装搭扣233，同时搭扣233的另一侧固定在L型生物识别安装座234上，两个无油衬套235装入生物识别安装座234上，用等高螺栓236连接生物识别安装座234和生物识别压头237，并插入压簧238，实现弹性缓冲，在生物识别压头237的型腔内安装柔性压头，生物识别安装板240分别和直线导轨221、电机安装板213以及拉簧固定件241连接，将拉簧支柱225安装在拉簧固定件241上，并安装拉簧242。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管上述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。另外，公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

Claims (10)

1.一种TFT产品测试装置，其特征在于，包括：控制器、底座以及设置在所述底座上的运动组件、生物识别组件和针卡通讯组件，所述运动组件、所述生物识别组件和所述针卡通讯组件均与所述控制器通讯连接；

所述运动组件包括测试治具、Y向驱动件、Z向驱动件、X向驱动件和旋转驱动件；所述Z向驱动件与所述Y向驱动件传动连接，所述X向驱动件与所述Z向驱动件传动连接，所述旋转驱动件与所述Z向驱动件传动连接，所述测试治具与所述旋转驱动件传动连接。

2.根据权利要求1所述的TFT产品测试装置，其特征在于，还包括与所述控制器通讯连接的视觉定位组件，所述视觉定位组件用于对测试治具进行定位；所述生物识别组件和针卡通讯组件对角设置，所述视觉定位组件和所述运动组件对角设置。

3.根据权利要求2所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述针卡通讯组件包括探针卡、针卡安装板和针卡支撑块，所述针卡支撑块与所述底座连接，所述针卡安装板安装在所述针卡支撑块上，所述探针卡固定在所述针卡安装板上，所述针卡安装板向靠近所述运动组件的方向伸出所述针卡支撑块设置；

所述运动组件还包括限位板，所述限位板的第一端高于所述限位板的第二端，所述限位板的第一端与所述测试治具固定连接，所述限位板的第二端能够与所述针卡安装板抵接。

4.根据权利要求3所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述针卡通讯组件还包括调平件，所述调平件与所述针卡安装板连接，以调整所述针卡安装板的水平度。

5.根据权利要求4所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述针卡通讯组件还包括X向调节件和Y向调节件；所述X向调节件与所述支撑块连接，所述Y向调节件与所述底座连接，或者所述Y向调节件与所述支撑块连接，所述X向调节件与所述底座连接。

6.根据权利要求3所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述针卡通讯组件还包括测试板卡安装板、超声波模组测试板和连接柱，所述测试板卡安装板的一端与所述支撑块固定连接，所述测试板卡安装板的一端向远离所述运动组件的方向延伸，所述连接柱的一端与所述测试板卡安装板连接，另一端与所述超声波模组测试板连接。

7.根据权利要求2所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述生物识别组件包括固定座、升降驱动件和生物识别压头，所述固定座与所述底座固定连接，所述升降驱动件与所述固定座连接，所述升降驱动件与所述生物识别压头传动连接，以驱动所述生物识别压头上下运动。

8.根据权利要求7所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述生物识别组件还包括横向导轨、滑动板和生物识别支架，所述横向导轨固定在所述固定座上，所述滑动板滑设在所述横向导轨上，所述生物识别支架固定在所述滑动板上，所述升降驱动件设置在所述生物识别支架上。

9.根据权利要求8所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述生物识别组件还包括测试位固定件，所述测试位固定件设置在所述横向导轨上，以固定所述滑动板的位置。

10.根据权利要求8所述的TFT产品测试装置，其特征在于，所述升降驱动件包括动力件、直线滑轨、锁紧块、转接块和导向轴，所述动力件与所述直线滑轨的上部连接，所述直线滑轨滑设在所述生物识别支架上；

所述直线滑轨的下端与所述锁紧块的上部连接，所述锁紧块的下部与所述转接块通过调节螺丝连接，且所述调节螺丝的轴线位于竖直方向，所述导向轴穿过所述转接块和所述锁紧块，所述导向轴的轴线位于水平方向，所述转接块与所述生物识别压头连接。

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