CN212041254U - 一种带自动滴胶功能的匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带自动滴胶功能的匀胶机，其包括工作台，所述工作台上壁面装配有操作箱，所述操作箱为无底箱体，所述操作箱内水平设置有安装板，所述安装板下壁面螺旋装配有安装架，所述安装架下壁面固定贯穿有点胶管，所述安装板下壁面固定安装有电动推杆，所述电动推杆位于安装架内，所述工作台内嵌装有第一电机，所述第一电机驱动端竖直向上穿出工作台进入到操作箱内，该带自动滴胶功能的匀胶机结构简单，设计合理，在匀胶过程中，省去了人工亲自操作过程，提高了生产效率，能够自动滴胶并精确控制滴胶量，有效减少浪费的同时保证了基片的洁净度，提高了成膜质量，提升产品良率，降低生产成本。

Description

一种带自动滴胶功能的匀胶机

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种带自动滴胶功能的匀胶机。

背景技术

在半导体制造及纳米压印领域，首先需要在基片表面涂覆胶体成膜，然后进行后续光刻或压印工艺，以形成预定的图形层。

目前，最常用的成膜方式为匀胶机匀胶成膜，在晶圆或基片表面匀胶过程中，胶体滴在晶圆或基片中心位置，匀胶机旋转，使晶圆或基板表面均匀的涂覆一层胶体薄膜。

现有的匀胶机仅具备旋涂功能，匀胶前需要人工手动操作将胶体滴在基片中央，这种人工操作方式不易控制滴胶量，易造成浪费，其次，在人工手动操作过程中极易将灰尘等异物带进匀胶机，造成基片污染，匀胶后成膜质量下降，影响后续工艺，最终导致产品良率下降，生产成本增加，为此，我们提出一种带自动滴胶功能的匀胶机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带自动滴胶功能的匀胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带自动滴胶功能的匀胶机，其包括工作台，所述工作台上壁面装配有操作箱，所述操作箱为无底箱体，所述操作箱内水平设置有安装板，所述安装板下壁面螺旋装配有安装架，所述安装架下壁面固定贯穿有点胶管，所述安装板下壁面固定安装有电动推杆，所述电动推杆位于安装架内，所述工作台内嵌装有第一电机，所述第一电机驱动端竖直向上穿出工作台进入到操作箱内，所述第一电机驱动端与工作台之间转动连接，所述第一电机驱动端上装配有支撑座，所述支撑座上壁面开设有放置槽，所述支撑座内装配有真空泵，所述放置槽向下延伸开设有吸孔，所述吸孔与真空泵连通，所述第一电机、电动推杆以及真空泵电源输入端与中央控制系统连接，所述第一电机，电动推杆以及真空泵的信号输入端与中央控制系统信号输出端连接，所述工作台上壁面左侧装配有控制面板，所述控制面板与中央控制系统电性连接，且控制面板信号输出端与中央控制系统信号输入端连接，所述安装板上装配有升降结构；

所述点胶管包括胶管以及活塞杆，所述胶管固定贯穿安装架，所述活塞杆下端滑动位于胶管内，且活塞杆上端与电动推杆伸缩端固定连接。

所述升降结构包括安装于操作箱上壁面的第二电机，所述第二电机驱动端竖直向下进入到操作箱内，且第二电机驱动端与操作箱转动连接，所述第二电机驱动端上装配有第一齿轮，所述第一齿轮四角处啮合装配有第二齿轮，所述第二齿轮上均固定插接有丝杆，所述丝杆上端转动安装于操作箱上壁面，且丝杆下端转动安装于工作台上壁面，两对所述丝杆分别螺旋贯穿安装板四角处，所述第二电机电源输入端与中央控制系统连接，所述第二电机信号输入端与中央控制系统信号输出端连接。

优选的，所述操作箱右侧壁面开设有箱门，且箱门上设置有观察窗。

优选的，所述支撑座侧面环绕设置有防溅外壳，所述防溅外壳下端安装于工作台上。

优选的，所述防溅外壳内表面以及工作台上表面做抗粘表面处理。

优选的，所述工作台四角处装配有万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该带自动滴胶功能的匀胶机结构简单，设计合理，在匀胶过程中，省去了人工亲自操作过程，提高了生产效率，能够自动滴胶并精确控制滴胶量，有效减少浪费的同时保证了基片的洁净度，提高了成膜质量，提升产品良率，降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构示意升降结构结构示意俯视图。

1-工作台、2-操作箱、3-安装板、4-安装架、5-点胶管、6-电动推杆、7-第一电机、8-支撑座、9-放置槽、10-真空泵、11-吸孔、12-控制面板、13- 升降结构、51-胶管、52-活塞杆、131-第二电机、132-第一齿轮、133-第二齿轮、134-丝杆、14-观察窗、15-防溅外壳、16-万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种带自动滴胶功能的匀胶机，其包括工作台1，工作台1上壁面装配有操作箱2，操作箱2为无底箱体，操作箱2内水平设置有安装板3，安装板3下壁面螺旋装配有安装架4，安装架4下壁面固定贯穿有点胶管5，安装板3下壁面固定安装有电动推杆6，电动推杆6位于安装架4内，工作台1内嵌装有第一电机7，第一电机7驱动端竖直向上穿出工作台1进入到操作箱2内，第一电机7驱动端与工作台1 之间转动连接，第一电机7驱动端上装配有支撑座8，支撑座8上壁面开设有放置槽9，支撑座8内装配有真空泵10，放置槽9向下延伸开设有吸孔11，吸孔11与真空泵10连通，第一电机7、电动推杆6以及真空泵10电源输入端与中央控制系统连接，第一电机7，电动推杆6以及真空泵10的信号输入端与中央控制系统信号输出端连接，工作台1上壁面左侧装配有控制面板12，控制面板12与中央控制系统电性连接，且控制面板12信号输出端与中央控制系统信号输入端连接，安装板3上装配有升降结构13；

点胶管5包括胶管51以及活塞杆52，胶管51固定贯穿安装架4，活塞杆52下端滑动位于胶管51内，且活塞杆52上端与电动推杆6伸缩端固定连接。

升降结构13包括安装于操作箱2上壁面的第二电机131，第二电机131 驱动端竖直向下进入到操作箱2内，且第二电机131驱动端与操作箱2转动连接，第二电机131驱动端上装配有第一齿轮132，第一齿轮132四角处啮合装配有第二齿轮133，第二齿轮133上均固定插接有丝杆134，丝杆134上端转动安装于操作箱2上壁面，且丝杆134下端转动安装于工作台1上壁面，两对丝杆134分别螺旋贯穿安装板3四角处，第二电机131电源输入端与中央控制系统连接，第二电机131信号输入端与中央控制系统信号输出端连接。

作为优选方案，更进一步，操作箱2右侧壁面开设有箱门，且箱门上设置有观察窗14。

作为优选方案，更进一步，支撑座8侧面环绕设置有防溅外壳15，防溅外壳15下端安装于工作台1上。

作为优选方案，更进一步，防溅外壳15内表面以及工作台1上表面做抗粘表面处理。

作为优选方案，更进一步，工作台1四角处装配有万向轮16。

在使用时，通过控制面板12输入指令发送到中央控制系统，实现对第一电机7、第二电机131、真空泵10以及电动推杆6的控制，将基片放置于支撑座8的放置槽9内，启动真空泵10，在真空泵10的作用下将基片牢牢吸附到放置槽9下壁面上，随后通过升降结构13带动安装板3下降(升降结构13 运行稳定，避免安装板3倾斜，造成滴胶位置偏移)，通过安装板3下降，使胶管51的针管处靠近基片，当胶管51贴近基片顶端时，启动电动推杆6，电动推杆6伸缩端伸长推动活塞杆52下移，通过活塞杆52下移，将胶管51内的胶滴到基片上，随后升降结构13上升复位，随后启动第一电机7，第一电机7工作，第一电机7工作带动支撑座8开始旋转，开始匀胶，通过防溅外壳15可以避免胶体四处飞溅，保持操作箱2内部清洁，防溅外壳15内壁面以及工作台1上壁面做抗粘处理，便于清洁，通过观察窗14便于观察操作箱 2内部的情况，通过设置的万向轮16，便于装置移动，当通过升降结构13控制安装板3进行升降时，启动第二电机131，第二电机131工作带动第一齿轮 132转动，在第一齿轮132的作用下第二齿轮133开始转动，从而使丝杆134 进行转动，通过两对丝杆134在安装板3上转动，可以带动安装板3进行升降，由于安装架4与安装板3之间螺纹连接，可以将安装架4拆卸，此时活塞杆52与胶管51脱离，向胶管51内填胶，随后将安装架4安装至安装板3 上，继续工作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种带自动滴胶功能的匀胶机，其特征在于，其包括工作台(1)，所述工作台(1)上壁面装配有操作箱(2)，所述操作箱(2)为无底箱体，所述操作箱(2)内水平设置有安装板(3)，所述安装板(3)下壁面螺旋装配有安装架(4)，所述安装架(4)下壁面固定贯穿有点胶管(5)，所述安装板(3)下壁面固定安装有电动推杆(6)，所述电动推杆(6)位于安装架(4)内，所述工作台(1)内嵌装有第一电机(7)，所述第一电机(7)驱动端竖直向上穿出工作台(1)进入到操作箱(2)内，所述第一电机(7)驱动端与工作台(1)之间转动连接，所述第一电机(7)驱动端上装配有支撑座(8)，所述支撑座(8)上壁面开设有放置槽(9)，所述支撑座(8)内装配有真空泵(10)，所述放置槽(9)向下延伸开设有吸孔(11)，所述吸孔(11)与真空泵(10)连通，所述第一电机(7)、电动推杆(6)以及真空泵(10)电源输入端与中央控制系统连接，所述第一电机(7)，电动推杆(6)以及真空泵(10)的信号输入端与中央控制系统信号输出端连接，所述工作台(1)上壁面左侧装配有控制面板(12)，所述控制面板(12)与中央控制系统电性连接，且控制面板(12)信号输出端与中央控制系统信号输入端连接，所述安装板(3)上装配有升降结构(13)；

所述点胶管(5)包括胶管(51)以及活塞杆(52)，所述胶管(51)固定贯穿安装架(4)，所述活塞杆(52)下端滑动位于胶管(51)内，且活塞杆(52)上端与电动推杆(6)伸缩端固定连接，

所述升降结构(13)包括安装于操作箱(2)上壁面的第二电机(131)，所述第二电机(131)驱动端竖直向下进入到操作箱(2)内，且第二电机(131)驱动端与操作箱(2)转动连接，所述第二电机(131)驱动端上装配有第一齿轮(132)，所述第一齿轮(132)四角处啮合装配有第二齿轮(133)，所述第二齿轮(133)上均固定插接有丝杆(134)，所述丝杆(134)上端转动安装于操作箱(2)上壁面，且丝杆(134)下端转动安装于工作台(1)上壁面，两对所述丝杆(134)分别螺旋贯穿安装板(3)四角处，所述第二电机(131)电源输入端与中央控制系统连接，所述第二电机(131)信号输入端与中央控制系统信号输出端连接。

2.根据权利要求1所述的一种带自动滴胶功能的匀胶机，其特征在于，所述操作箱(2)右侧壁面开设有箱门，且箱门上设置有观察窗(14)。

3.根据权利要求1所述的一种带自动滴胶功能的匀胶机，其特征在于，所述支撑座(8)侧面环绕设置有防溅外壳(15)，所述防溅外壳(15)下端安装于工作台(1)上。

4.根据权利要求3所述的一种带自动滴胶功能的匀胶机，其特征在于，所述防溅外壳(15)内表面以及工作台(1)上表面做抗粘表面处理。

5.根据权利要求3所述的一种带自动滴胶功能的匀胶机，其特征在于，所述工作台(1)四角处装配有万向轮(16)。

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