CN212025494U

CN212025494U - 一种晶棒取晶车

Info

Publication number: CN212025494U
Application number: CN202020838156.8U
Authority: CN
Inventors: 侯景成
Original assignee: Guangzhou Baichuang Electromechanical Equipment Co ltd
Current assignee: Guangzhou Baichuang Electromechanical Equipment Co ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2020-11-27
Anticipated expiration: 2030-05-19

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒取晶车，涉及晶棒提取技术领域，针对现有的夹具多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后，对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节等问题，现提出如下方案，包括堆高车和晶体，所述堆高车的顶部固定连接有升降机构，所述升降机构的一侧固定连接有旋转组件，所述旋转组件的一侧固定连接有固定板。本实用新型结构简单新颖，自动对晶棒稳固夹持，提高作业的自动化程度，提高工作的效率，可以根据晶棒的外径进行调节固定，提高装置使用的灵活性，适合进行市场推广。

Description

一种晶棒取晶车

技术领域

本实用新型涉及晶棒提取技术领域，尤其涉及一种晶棒取晶车。

背景技术

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用单晶炉把多晶硅加热融化，再用籽晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的晶棒，晶棒从单晶炉中取出时需要利用取晶车接送。随着拉晶技术的快速发展，晶棒的长度越来越长，在可预见的未来，晶棒长度还会继续增加，长晶棒所占的比重将会越来越大。在单晶硅制造技术领域中，由于单晶炉炉台的高度有限，在取晶棒的过程中，晶棒要下降到单晶炉工作平台以下方能取出，晶棒的长度越长，下降到工作平台以下的长度就越长，当晶棒完全离开单晶炉副室减掉籽晶以后需要将晶棒再提升到单晶炉工作平台以上，然后旋转成水平状态转运，对于长晶棒而言，取晶车需要有足够的提升行程才能满足取晶棒要求。随着晶棒长度的大幅变化，晶棒的取运早已不是早期简单工装所能完成的工作，现有的取晶车可以实现将晶棒提取的功能，但是晶棒在进行固定夹持时，多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后在对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节，为此我们提出一种晶棒取晶车。

实用新型内容

本实用新型提出的一种晶棒取晶车，解决了现有的夹具对晶棒进行固定，多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后在对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节等问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶棒取晶车，包括堆高车和晶体，所述堆高车的顶部固定连接有升降机构，所述升降机构的一侧固定连接有旋转组件，所述旋转组件的一侧固定连接有固定板，所述固定板远离旋转组件的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端焊接有转轴，所述转轴远离驱动电机的一端焊接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合传动，所述第二锥齿轮的内圈固定套设有螺纹杆，所述螺纹杆的外圈设有移动杆，所述移动杆上开设有移动槽，所述移动槽的内壁滑动连接有移动块，所述移动块的一侧铰接有支撑杆，所述支撑杆远离移动块的一端铰接有夹具，所述夹具的一侧焊接有推杆。

优选的，堆高车的下方固定安装有基座，所述驱动电机为双轴电机，所述驱动电机的外部设有防护罩，所述防护罩与固定板通过螺栓固定连接，所述固定板的一侧焊接有连接块，所述连接块的内壁固定安装有轴承，所述螺纹杆与轴承的内壁固定连接。

优选的，螺纹杆为双向螺杆，所述固定板靠近第二锥齿轮的一次二沿其长度方向开设有滑槽，所述移动杆的一端焊接有滑块，所述滑块与滑槽的内壁滑动连接，且滑块与滑槽的横截面均为“T”字形结构。

优选的，移动杆上开设有第一通孔，所述螺纹杆贯穿第一通孔，所述第一通孔的内圈设有内螺纹，所述内螺纹与螺纹杆外圈螺纹相互适配。

优选的，夹具的横截面为圆弧形，所述夹具的凸面与支撑杆铰接，所述移动杆上开设有第二通孔，所述推杆贯穿第二通孔，所述推杆贯穿第二通孔的一端焊接有限位块，所述限位块的最大外径大于第二通孔的最大内径，所述推杆的外圈套设有挤压弹簧。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过安装堆高车、旋转组件、晶体、固定板、驱动电机、转轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、螺纹杆、移动杆、滑槽、移动槽、移动块、支撑杆、夹具和推杆等结构，其中驱动电机将转轴和第一锥齿轮转动，使得第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合传动，将螺纹杆转动的同时将移动杆相互靠近，当夹具接触晶棒的外壁时，移动杆继续靠近，使得支撑杆向移动槽的上方移动，通过支撑杆和推杆对晶棒的夹持稳固性提高；该装置结构简单新颖，自动对晶棒稳固夹持，提高作业的自动化程度，提高工作的效率，可以根据晶棒的外径进行调节固定，提高装置使用的灵活性，适合进行市场推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶棒取晶车的正视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶棒取晶车的固定板俯视横截面结构示意图。

图中：1堆高车、2旋转组件、3晶体、4固定板、5驱动电机、6转轴、7第一锥齿轮、8第二锥齿轮、9螺纹杆、10移动杆、11滑槽、12移动槽、13移动块、14支撑杆、15夹具、16推杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种晶棒取晶车，包括堆高车1和晶体3，堆高车1的顶部固定连接有升降机构，升降机构的一侧固定连接有旋转组件2，旋转组件2的一侧固定连接有固定板4，固定板4远离旋转组件2的一侧固定安装有驱动电机5，驱动电机5的输出端焊接有转轴6，转轴6远离驱动电机5的一端焊接有第一锥齿轮7，第一锥齿轮7的一端设有第二锥齿轮8，第二锥齿轮8与第一锥齿轮7啮合传动，第二锥齿轮8的内圈固定套设有螺纹杆9，螺纹杆9的外圈设有移动杆10，移动杆10上开设有移动槽12，移动槽12的内壁滑动连接有移动块13，移动块13的一侧铰接有支撑杆14，支撑杆14远离移动块13的一端铰接有夹具15，夹具15的一侧焊接有推杆16。

堆高车1的下方固定安装有基座，驱动电机5为双轴电机，驱动电机5的外部设有防护罩，防护罩与固定板4通过螺栓固定连接，固定板4的一侧焊接有连接块，连接块的内壁固定安装有轴承，螺纹杆9与轴承的内壁固定连接，螺纹杆9为双向螺杆，固定板4靠近第二锥齿轮8的一次二沿其长度方向开设有滑槽11，移动杆10的一端焊接有滑块，滑块与滑槽11的内壁滑动连接，且滑块与滑槽11的横截面均为“T”字形结构。移动杆10上开设有第一通孔，螺纹杆9贯穿第一通孔，第一通孔的内圈设有内螺纹，内螺纹与螺纹杆9外圈螺纹相互适配，夹具15的横截面为圆弧形，夹具的凸面与支撑杆14铰接，移动杆10上开设有第二通孔，推杆16贯穿第二通孔，推杆16贯穿第二通孔的一端焊接有限位块，限位块的最大外径大于第二通孔的最大内径，推杆16的外圈套设有挤压弹簧。

本实施例中，首先，通过升降机构将固定板4和夹具15下将，启动驱动电机5，驱动电机5的两端输出端将转轴6转动，转轴6将第一锥齿轮7转动，第一锥齿轮7与第二锥齿轮8啮合传动，使得第二锥齿轮将8螺纹杆9转动，螺纹杆9转动的同时将移动杆10沿着固定板4上的滑槽11相互靠近移动，使得夹具15相互靠近，在夹具15的凹面接触到晶体3时，继续将螺纹杆9转动，此时连接杆14将移动块13在移动槽12上推动移动，使得连接杆14将夹具15再次起到支撑的作用，提高夹具15夹持的稳定性，同时驱动电机5为双轴电机，使得晶体3可以通过两对夹具15夹紧，完成夹持后通过升降机构上升拉动，通过旋转组件2对晶体3转动角度。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种晶棒取晶车，包括堆高车（1）和晶体（3），其特征在于，所述堆高车（1）的顶部固定连接有升降机构，所述升降机构的一侧固定连接有旋转组件（2），所述旋转组件（2）的一侧固定连接有固定板（4），所述固定板（4）远离旋转组件（2）的一侧固定安装有驱动电机（5），所述驱动电机（5）的输出端焊接有转轴（6），所述转轴（6）远离驱动电机（5）的一端焊接有第一锥齿轮（7），所述第一锥齿轮（7）的一端设有第二锥齿轮（8），所述第二锥齿轮（8）与第一锥齿轮（7）啮合传动，所述第二锥齿轮（8）的内圈固定套设有螺纹杆（9），所述螺纹杆（9）的外圈设有移动杆（10），所述移动杆（10）上开设有移动槽（12），所述移动槽（12）的内壁滑动连接有移动块（13），所述移动块（13）的一侧铰接有支撑杆（14），所述支撑杆（14）远离移动块（13）的一端铰接有夹具（15），所述夹具（15）的一侧焊接有推杆（16）。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒取晶车，其特征在于，所述堆高车（1）的下方固定安装有基座，所述驱动电机（5）为双轴电机，所述驱动电机（5）的外部设有防护罩，所述防护罩与固定板（4）通过螺栓固定连接，所述固定板（4）的一侧焊接有连接块，所述连接块的内壁固定安装有轴承，所述螺纹杆（9）与轴承的内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒取晶车，其特征在于，所述螺纹杆（9）为双向螺杆，所述固定板（4）靠近第二锥齿轮（8）的一次二沿其长度方向开设有滑槽（11），所述移动杆（10）的一端焊接有滑块，所述滑块与滑槽（11）的内壁滑动连接，且滑块与滑槽（11）的横截面均为“T”字形结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒取晶车，其特征在于，所述移动杆（10）上开设有第一通孔，所述螺纹杆（9）贯穿第一通孔，所述第一通孔的内圈设有内螺纹，所述内螺纹与螺纹杆（9）外圈螺纹相互适配。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒取晶车，其特征在于，所述夹具（15）的横截面为圆弧形，所述夹具的凸面与支撑杆（14）铰接，所述移动杆（10）上开设有第二通孔，所述推杆（16）贯穿第二通孔，所述推杆（16）贯穿第二通孔的一端焊接有限位块，所述限位块的最大外径大于第二通孔的最大内径，所述推杆（16）的外圈套设有挤压弹簧。