CN113843908A - 晶棒上料工装 - Google Patents

Abstract

本发明公开了晶棒上料工装，属于上料工装技术领域，原上料工装只是简单的将晶棒抬起搬离输送线，通过另一旋转工装旋转，需要供机器人往复抓手取料，效率低，上料周期长，晶棒上料工装，包括上料框架，上料框架上固定安装有下封板、上封板，下封板、上封板上端固定连接有顶板，顶板上表面固定安装有升降装置，由原先两台设备集成为一台设备，通过升降装置带动晶棒本体上升，并通过旋转装置带动晶棒本体旋转，能简化工艺流程，节省上料节拍，并且缩短了上料周期；上料装置设有有缓冲器能使晶棒本体在升降时具有缓冲减震效果，同时通过防坠气缸推动第二挡块并贴合限位块底端，防止晶棒本体与升降装置突然坠落，有效保护晶棒本体。

Description

晶棒上料工装

技术领域

本发明涉及上料工装技术领域，具体为晶棒上料工装。

背景技术

输送线将晶棒输送到上料工装取料处，原上料工装只是简单的将晶棒抬起搬离输送线，供机器人抓手取料，从上料工装取料后需要放至旋转工装将晶棒翻面，然后机器人再次取料，才可往线切机上料，以往的这种取料工艺过程，需要经过两台设备进行中转才可对线切机进行上料动作，不但增加设备的占用空间，投入增加，同时上料流程过于繁琐，并且容易影响上料的节拍，使上料周期延长，生产效率低，为此我们提出晶棒上料工装用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供晶棒上料工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶棒上料工装，包括上料框架，所述上料框架上固定安装有下封板、上封板，所述下封板、上封板上端固定连接有顶板，所述顶板上表面固定安装有升降装置，所述下封板、上封板侧面固定安装有电箱，所述下封板、上封板另侧固定设有滑轨，所述滑轨上下端处均固定安装有缓冲装置，所述滑轨上滑动连接有夹持组件，所述夹持组件内卡接有晶棒本体，所述夹持组件外侧固定安装有夹持动力装置，所述升降装置与滑轨滑动卡接，所述升降装置底端转动卡接夹持组件，所述升降装置内侧固定安装有旋转装置，所述旋转装置与夹持组件内侧固定连接，所述下封板侧面固定安装有防坠装置，所述防坠装置与升降装置底端活动贴合连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述滑轨上滑动卡接有直线导轨，所述直线导轨与升降装置固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述升降装置包括有升降气缸，所述升降气缸固定设于顶板上表面，所述升降气缸活动贯穿顶板，并固定连接有浮动接头，所述浮动接头外卡接有L形连接座，所述L形连接座底端固定连接有升降底板，所述升降底板侧面固定连接有限位块，所述限位块底端活动贴合防坠装置，所述升降底板表面固定连接有零位标识，所述零位标识底端与夹持组件转动贴合连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述防坠装置包括有防坠气缸，所述防坠气缸固定连接有固定座，所述固定座内侧固定设于下封板外侧表面，所述固定座上固定设有导套，所述防坠气缸活塞杆活动贯穿导套，并固定连接有第二挡块，所述第二挡块滑动设于导套内，所述第二挡块上表面与限位块底面活动贴合。

作为本发明的一种优选技术方案，所述夹持组件包括有上板、侧板以及旋转底板，所述上板与两个侧板固定连接，所述上板与侧板之间固定连接有筋板，所述旋转底板侧面固定连接有第一挡块，所述第一挡块上端转动贴合零位标识底端，所述旋转底板内侧固定安装旋转装置，所述旋转底板表面固定设有十字滑道，所述旋转底板表面固定连接夹持动力装置，所述十字滑道外滑动卡接有两个滑块，所述滑块外侧固定连接有滑板，所述滑板分别与侧板一端固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述缓冲装置包括有缓存器，所述缓存器固定连接有L形支架，所述L形支架固定设于滑轨上下端处，所述缓存器贯穿L形支架，并滑动卡接有球杆。

作为本发明的一种优选技术方案，所述夹持动力装置包括有夹紧气缸，所述夹紧气缸固定连接有底座，所述底座固定设于旋转底板表面，所述夹紧气缸活塞杆固定连接有连接盘，所述连接盘内侧固定连接侧板外侧。

作为本发明的一种优选技术方案，所述旋转装置包括有电机，所述电机固定连接有减速箱，所述减速箱固定设于升降底板内侧，所述电机输出端转动设于减速箱内，并固定连接有第一转轴，所述第一转轴另端固定连接有齿轮，所述齿轮啮合连接有回转支承，所述回转支承外设有护罩，回转支承内固定连接有第二转轴，所述第二转轴另端固定连接旋转底板内侧表面。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1.由原先两台设备集成为一台设备，通过升降装置带动晶棒本体上升，并通过旋转装置带动晶棒本体旋转，能简化工艺流程，节省上料节拍，并且缩短了上料周期；

2.上料装置设有缓冲器能使晶棒本体在升降时具有缓冲减震效果，同时通过防坠气缸推动第二挡块并贴合限位块底端，防止晶棒本体与升降装置突然坠落，有效保护晶棒本体。

附图说明

图1为本发明结构示意图，

图2为本发明升降装置与旋转装置连接结构示意图，

图3为本发明升降装置与防坠装置结构示意图。

图4为本发明旋转装置结构示意图，

图5为本发明升降底板结构示意图，

图6为本发明夹持组件结构示意图，

图7为本发明回转支承与旋转底板连接结构示意图。

图中：1、上料框架；11、下封板；12、上封板；13、滑轨；14、直线导轨；15、顶板；2、电箱；3、夹持组件；31、上板；32、侧板；33、筋板；34、十字滑道；35、滑块；36、滑板；37、旋转底板；371、第一挡块；5、晶棒本体；6、夹持动力装置；61、夹紧气缸；62、底座；63、连接盘；7、缓冲装置；71、缓存器；72、L形支架；73、球杆；8、升降装置；81、升降气缸；82、浮动接头；84、升降底板；841、L形连接座；842、零位标识；843、限位块；9、旋转装置；91、电机；92、减速箱；93、第一转轴；94、齿轮；95、护罩；96、回转支承；961、第二转轴；10、防坠装置；101、防坠气缸；102、固定座；103、导套；104、第二挡块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：如图1-7所示，本发明提供了晶棒上料工装，包括上料框架1，所述上料框架1上固定安装有下封板11、上封板12，所述下封板11、上封板12上端固定连接有顶板15，上料框架1能稳定被安装，所述顶板15上表面固定安装有升降装置8，升降装置8被固定安装，所述下封板11、上封板12侧面固定安装有电箱2，所述下封板11、上封板12另侧固定设有滑轨13，所述滑轨13上下端处均固定安装有缓冲装置7，通过缓冲装置7对升降装置8进行缓冲，所述滑轨13上滑动连接有夹持组件3，所述夹持组件3内卡接有晶棒本体5，夹持组件3用于夹持固定晶棒本体5，所述夹持组件3外侧固定安装有夹持动力装置6，通过夹持动力装置6使夹持组件3工作，所述升降装置8与滑轨13滑动卡接，所述升降装置8底端转动卡接夹持组件3，从而升降装置8能带动夹持组件3升降工作，所述升降装置8内侧固定安装有旋转装置9，所述旋转装置9与夹持组件3内侧固定连接，从而旋转装置9能被升降装置8带动升降，同时，旋转装置9能带动夹持组件3进行旋转，所述下封板11侧面固定安装有防坠装置10，通过防坠装置10对晶棒本体5进行防下坠操作，所述防坠装置10与升降装置8底端活动贴合连接，防止设备由于异常突然断气后掉落。

进一步的，所述滑轨13上滑动卡接有直线导轨14，所述直线导轨14与升降装置8固定连接，从而升降装置8能沿滑轨13稳定上下滑动。

进一步的，所述升降装置8包括有升降气缸81，所述升降气缸81固定设于顶板15上表面，升降气缸81被固定安装，所述升降气缸81活动贯穿顶板15，并固定连接有浮动接头82，升降气缸81带动浮动接头82上下移动，所述浮动接头82外卡接有L形连接座841，从而浮动接头82与L形连接座841能一起移动，所述L形连接座841底端固定连接有升降底板84，从而L形连接座841带动升降底板84上下移动，所述升降底板84侧面固定连接有限位块843，所述限位块843底端活动贴合防坠装置10，通过防坠装置10对限位块843进行限位，防止设备由于异常突然断气后掉落，所述升降底板84表面固定连接有零位标识842，所述零位标识842底端与夹持组件3转动贴合连接，从而能实现夹持组件3的初始位置进行限定，便于复位和连续性上料。

进一步的，所述防坠装置10包括有防坠气缸101，所述防坠气缸101固定连接有固定座102，所述固定座102内侧固定设于下封板11外侧表面，防坠气缸101被固定安装，所述固定座102上固定设有导套103，所述防坠气缸101活塞杆活动贯穿导套103，并固定连接有第二挡块104，所述第二挡块104滑动设于导套103内，防坠气缸101推动第二挡块104沿导套103滑动，所述第二挡块104上表面与限位块843底面活动贴合，从而当晶棒本体5被提升后，通过推动第二挡块104至限位块843底面，能对升降底板84进行限位，防止设备由于异常突然断气后掉落。

进一步的，所述夹持组件3包括有上板31、侧板32以及旋转底板37，所述上板31与两个侧板32固定连接，两个侧板32与上板31组成夹持组件3，所述上板31与侧板32之间固定连接有筋板33，加强结构的牢固性，所述旋转底板37侧面固定连接有第一挡块371，所述第一挡块371上端转动贴合零位标识842底端，旋转底板37转动时，通过第一挡块371上端转动贴合零位标识842底端，实现旋转底板37的复位，使夹持组件3恢复初始状态，所述旋转底板37内侧固定安装旋转装置9，旋转装置9带动旋转底板37转动，所述旋转底板37表面固定设有十字滑道34，所述旋转底板37表面固定连接夹持动力装置6，夹持动力装置6被固定安装于旋转底板37表面，所述十字滑道34外滑动卡接有两个滑块35，所述滑块35外侧固定连接有滑板36，所述滑板36分别与侧板32一端固定连接，从而侧板32固定连接滑板36，并通过滑块35能实现沿十字滑道34滑动。

进一步的，所述缓冲装置7包括有缓存器71，所述缓存器71固定连接有L形支架72，所述L形支架72固定设于滑轨13上下端处，滑轨13的上下端处均设置有缓存器71，所述缓存器71贯穿L形支架72，并滑动卡接有球杆73，从而当升降底板84升降时，均可通过球杆73使缓存器71工作，从而实现缓冲效果。

进一步的，所述夹持动力装置6包括有夹紧气缸61，所述夹紧气缸61固定连接有底座62，所述底座62固定设于旋转底板37表面，夹紧气缸61被固定安装旋转底板37表面，所述夹紧气缸61活塞杆固定连接有连接盘63，所述连接盘63内侧固定连接侧板32外侧，从而夹紧气缸61推动连接盘63移动，并推动侧板32沿十字滑道34滑动，从而达到加紧晶棒本体5的目的。

进一步的，所述旋转装置9包括有电机91，所述电机91固定连接有减速箱92，所述减速箱92固定设于升降底板84内侧，电机91被固定安装，并且通过减速箱92实现电机91的减速运转，所述电机91输出端转动设于减速箱92内，并固定连接有第一转轴93，电机91带动第一转轴93转动，第一转轴93带动齿轮94转动，所述第一转轴93另端固定连接有齿轮94，所述齿轮94啮合连接有回转支承96，齿轮94传动回转支承96转动于护罩95内，通过护罩95对回转支承96进行保护，所述回转支承96外设有护罩95，回转支承96内固定连接有第二转轴961，回转支承96带动第二转轴961转动，所述第二转轴961另端固定连接旋转底板37内侧表面，从而第二转轴961带动旋转底板37、夹持组件3转动，并最终实现晶棒本体5进行旋转翻面工作。

工作原理：晶棒本体5随滚筒线输送至上料工装，滚筒采用积放型滚筒能够防止滚筒与料座间的摩擦，晶棒本体5通过升降气缸81工作，通过夹紧气缸61工作，因夹紧气缸61固定安装于底座62，底座62固定安装于旋转底板37表面，从而夹紧气缸61能够推动连接盘63与一个侧板32沿十字滑道34进行滑动，从而通过两个侧板32夹持固定晶棒本体5，然后防脱气缸伸出，从而销插入定位套内，并通过连浮动接头82带动L形连接座841与升降底板84向上移动，并通过升降底板84固定连接直线导轨14，从而能够沿滑轨13稳定向上移动，并将晶棒本体5搬离输送线，送入上板31、侧板32之间，为防止晶棒本体5突然坠下，防坠气缸101推动第二挡块104沿导套103滑动，并通过第二挡块104贴合升降底板84一侧固定连接的限位块843底面，防止设备由于异常突然断气后掉落，上料工装设有缓冲器71能使晶棒本体5在升降时具有缓冲减震效果，上料工装同时集成了旋转装置9，通过电机91带动减速箱92工作，并通过第一转轴93带动齿轮94转动，齿轮94带动回转支承96转动，从而通过第二转轴961带动旋转底板37转动，旋转底板37上固定安装夹持组件3，从而能够实现直接将晶棒本体5翻面效果，另外采用减速箱92的驱动，旋转后通过旋转底板37侧边的第一挡块371上端转动贴合零位标识842底端，然后定位组件气缸伸出，使销插入旋转组件定位套内，实现精定位来保证旋转到位精度，避免因为齿轮背隙导致旋转重复度无法保证的情况，影响机器人抓手取料，从而实现由上料工装的夹紧气缸61夹紧夹持组件3内卡接的晶棒本体5，然后夹紧气缸61泄气，采用中泄式三位五通阀，夹持组件3可适当松开晶棒本体5，然后将晶棒本体5取出，并使晶棒本体5向线切机上料，然后防脱气缸缩回，使销退出至定位套外，同时定位组件气缸缩回，使销退出至旋转组件定位套外，然后通过夹紧气缸61打开夹持组件3，并且使电机91带动旋转底板37反转，并使夹持组件3返回原位，此时防坠气缸101缩回，然后升降气缸81带动夹持组件3下降进行下一次的上料工作，形成循环。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.晶棒上料工装，包括上料框架(1)，其特征在于：所述上料框架(1)上固定安装有下封板(11)、上封板(12)，所述下封板(11)、上封板(12)上端固定连接有顶板(15)，所述顶板(15)上表面固定安装有升降装置(8)，所述下封板(11)、上封板(12)侧面固定安装有电箱(2)，所述下封板(11)、上封板(12)另侧固定设有滑轨(13)，所述滑轨(13)上下端处均固定安装有缓冲装置(7)，所述滑轨(13)上滑动连接有夹持组件(3)，所述夹持组件(3)内卡接有晶棒本体(5)，所述夹持组件(3)外侧固定安装有夹持动力装置(6)，所述升降装置(8)与滑轨(13)滑动卡接，所述升降装置(8)底端转动卡接夹持组件(3)，所述升降装置(8)内侧固定安装有旋转装置(9)，所述旋转装置(9)与夹持组件(3)内侧固定连接，所述上料框架(1)侧面固定安装有防坠装置(10)，所述防坠装置(10)与升降装置(8)底端活动贴合连接。

2.如权利要求1所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述滑轨(13)上滑动卡接有直线导轨(14)，所述直线导轨(14)与升降装置(8)固定连接。

3.如权利要求2所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述升降装置(8)包括有升降气缸(81)，所述升降气缸(81)固定设于顶板(15)上表面，所述升降气缸(81)活动贯穿顶板(15)，并固定连接有浮动接头(82)，所述浮动接头(82)外卡接有L形连接座(841)，所述L形连接座(841)底端固定连接有升降底板(84)，所述升降底板(84)侧面固定连接有限位块(843)，所述限位块(843)底端活动贴合防坠装置(10)，所述升降底板(84)表面固定连接有零位标识(842)，所述零位标识(842)底端与夹持组件(3)转动贴合连接。

4.如权利要求3所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述防坠装置(10)包括有防坠气缸(101)，所述防坠气缸(101)固定连接有固定座(102)，所述固定座(102)内侧固定设于下封板(11)外侧表面，所述固定座(102)上固定设有导套(103)，所述防坠气缸(101)活塞杆活动贯穿导套(103)，并固定连接有第二挡块(104)，所述第二挡块(104)滑动设于导套(103)内，所述第二挡块(104)上表面与限位块(843)底面活动贴合。

5.如权利要求3所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述夹持组件(3)包括有上板(31)、侧板(32)以及旋转底板(37)，所述上板(31)与两个侧板(32)固定连接，所述上板(31)与侧板(32)之间固定连接有筋板(33)，所述旋转底板(37)侧面固定连接有第一挡块(371)，所述第一挡块(371)上端转动贴合零位标识(842)底端，所述旋转底板(37)内侧固定安装旋转装置(9)，所述旋转底板(37)表面固定设有十字滑道(34)，所述旋转底板(37)表面固定连接夹持动力装置(6)，所述十字滑道(34)外滑动卡接有两个滑块(35)，所述滑块(35)外侧固定连接有滑板(36)，所述滑板(36)分别与侧板(32)一端固定连接。

6.如权利要求1所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述缓冲装置(7)包括有缓存器(71)，所述缓存器(71)固定连接有L形支架(72)，所述L形支架(72)固定设于滑轨(13)上下端处，所述缓存器(71)贯穿L形支架(72)，并滑动卡接有球杆(73)。

7.如权利要求5所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述夹持动力装置(6)包括有夹紧气缸(61)，所述夹紧气缸(61)固定连接有底座(62)，所述底座(62)固定设于旋转底板(37)表面，所述夹紧气缸(61)活塞杆固定连接有连接盘(63)，所述连接盘(63)内侧固定连接侧板(32)外侧。

8.如权利要求5所述的晶棒上料工装，其特征在于，所述旋转装置(9)包括有电机(91)，所述电机(91)固定连接有减速箱(92)，所述减速箱(92)固定设于升降底板(84)内侧，所述电机(91)输出端转动设于减速箱(92)内，并固定连接有第一转轴(93)，所述第一转轴(93)另端固定连接有齿轮(94)，所述齿轮(94)啮合连接有回转支承(96)，所述回转支承(96)外设有护罩(95)，回转支承(96)内固定连接有第二转轴(961)，所述第二转轴(961)另端固定连接旋转底板(37)内侧表面。

Images