CN211926738U - 一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及激光器配件设备技术领域,尤其涉及一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,包括滑轨、滑块及微调组件,所述滑块与滑轨在竖直方向上滑动连接,所述滑块用于与千分表固定连接,所述微调组件位于滑块的侧端,所述微调组件用于微小调整滑块与滑轨的相对滑动距离,所述滑轨上还设置有定位组件,所述定位组件用于限制滑块与滑轨的相对滑动。在本实用新型中,千分表固定在滑块上,滑块在滑轨上滑动即为调整千分表在竖直方向的位置,微调组件能够对千分表在竖直方向的位置进行微小调整,使其测头刚好与聚焦镜表面抵接,再利用定位组件对滑块固定,使其不再滑动,此时即可开始圆跳动测量,对聚焦镜组件的平整度进行检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光器配件设备技术领域,尤其涉及一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置。
背景技术
聚焦镜组件是激光器的重要配件之一,聚焦镜组件包括聚焦镜和聚焦镜支架,在聚焦镜组件的装配中,聚焦镜要装配到聚焦镜支架内,并在结合面涂胶固定,涂胶过程要保证聚焦镜和聚焦镜支架的同轴度要求。当聚焦镜和聚焦镜支架的不同轴时,会反映为现聚焦镜相对于聚焦镜支架不平整,这种不平整度可通过仪器来测量,因此可通过检测聚焦镜的球面圆跳动来间接判定聚焦镜组件中两个零件同轴度情况。球面圆跳动的测量可以使用千分表实现,但使用千分表测量即需要对千分表有效固定,又可以对其位置进行轻微调整,使其测头与聚焦镜表面抵接,目前没有性能较为稳定的装置来配合测量。
实用新型内容
为了解决上述问题,本实用新型提出一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置。
本实用新型采用以下技术方案:一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,包括滑轨、滑块及微调组件,所述滑块与滑轨在竖直方向上滑动连接,所述滑块用于与千分表固定连接,所述微调组件位于滑块的侧端,所述微调组件用于微小调整滑块与滑轨的相对滑动距离,所述滑轨上还设置有定位组件,所述定位组件用于限制滑块与滑轨的相对滑动。
优选的,所述滑轨上设置有滑槽,所述滑块上设置有与滑槽相适配的滑柱,所述滑柱位于所述滑槽内。
优选的,所述滑槽的截面为槽底宽、槽口窄的梯形。
优选的,所述定位组件位于滑槽的侧壁,所述定位组件包括第一通孔和第一定位螺栓,所述第一通孔与滑槽相连通,所述第一定位螺栓贯穿第一通孔与滑槽内的滑柱相抵接。
优选的,所述微调组件包括微调旋钮、微调齿轮及齿板,所述齿板与滑块固定连接,所述齿板上设置有齿条,所述微调齿轮与齿条组成齿轮副,转动所述微调旋钮能够带动所述微调齿轮转动,从而带动齿板向上或向下移动。
优选的,所述滑块上设置有若干第二通孔和若干第二定位螺栓,所述齿板上设置有与第二通孔对应的若干凹槽,所述第二定位螺栓贯穿第二通孔并嵌入齿板上的凹槽内从而使滑块与齿板固定连接。
优选的,所述微调旋钮包括转头和转轴,所述滑轨的侧端设置有与转轴相适配的第三通孔,所述转轴贯穿所述第三通孔并能够在第三通孔内转动,所述微调齿轮固定在转轴的一端,所述转头位于转轴的另一端。
本实用新型至少具有以下有益效果之一:
在本实用新型中,千分表固定在滑块上,滑块在滑轨上滑动即为调整千分表在竖直方向的位置,微调组件能够对千分表在竖直方向的位置进行微小调整,使其测头刚好与聚焦镜表面抵接,再利用定位组件对滑块固定,使其不再滑动,此时即可开始圆跳动测量,对聚焦镜组件的平整度进行检测,本实用新型通过滑轨的作用可以实现手动粗调千分表的位置,再利用微调组件进行精细调整,使千分表的位置能够做到快速精确调整,稳定性好,满足聚焦镜组件进行圆跳动测量的需求。
附图说明
图1为本实用新型优选实施例的结构示意图;
图2为本实用新型优选实施例的侧面示意图;
图3为本实用新型优选实施例中滑轨的结构示意图;
图4为本实用新型优选实施例中滑块的结构示意图;
图5为本实用新型优选实施例中微调旋钮的结构示意图。
附图标记说明:
10滑轨、11定位组件、111第一通孔、112第一定位螺栓、12滑槽、13第三通孔、20滑块、21滑柱、22第二通孔、23第二定位螺栓、30微调组件、31微调旋钮、311转头、312转轴、313凸环、314阻挡环、315小凸柱、32微调齿轮、33齿板、331齿条。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心、纵向、横向、长度、宽度、厚度、上、下、前、后、左、右、竖直、水平、顶、底、内、外、顺时针、逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1至图5,本实用新型的优选实施例,一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,包括滑轨10、滑块20及微调组件30,滑块20与滑轨10在竖直方向上滑动连接,滑块20用于与千分表固定连接,微调组件30位于滑块20的侧端,微调组件30用于微小调整滑块20与滑轨10的相对滑动距离,滑轨10上还设置有定位组件11,定位组件11用于限制滑块20与滑轨10的相对滑动。在本实用新型中,千分表固定在滑块20上,滑块20在滑轨10上滑动即为调整千分表在竖直方向的位置,微调组件30能够对千分表在竖直方向的位置进行微小调整,使其测头刚好与聚焦镜表面抵接,再利用定位组件11对滑块20固定,使其不再滑动,此时即可开始圆跳动测量,对聚焦镜组件的平整度进行检测,本实用新型通过滑轨10的作用可以实现手动粗调千分表的位置,再利用微调组件30进行精细调整,使千分表的位置能够做到快速精确调整,稳定性好,满足聚焦镜组件进行圆跳动测量的需求。
作为本实用新型的优选实施例,其还可具有以下附加技术特征:
滑轨10上设置有滑槽12,滑块20上设置有与滑槽12相适配的滑柱21,滑柱21位于滑槽12内,通过设置滑柱21与滑槽12,可以使滑块20与滑轨10滑动连接;本实施例中,滑轨10竖直设置,滑槽12也为竖直设置的凹槽,同样的,滑块20也为竖直设置,滑柱21的长度与滑槽12相适配。
滑槽12的截面为槽底宽、槽口窄的梯形,燕尾形的滑槽12可以在前后方向上对滑柱21限位,使其不会在前后方向脱落,只能在竖直方向滑动。
定位组件11位于滑槽12的侧壁,定位组件11包括第一通孔111和第一定位螺栓112,第一通孔111与滑槽12相连通,第一定位螺栓112贯穿第一通孔111与滑槽12内的滑柱21相抵接,旋紧第一定位螺栓112,使其挤压滑柱21,既可以将滑柱21固定在滑槽12内;本实施例中,第一通孔111的内壁上设置有与第一定位螺栓112相适配的螺纹。
微调组件30包括微调旋钮31、微调齿轮32及齿板33,齿板33与滑块20固定连接,齿板33上设置有齿条331,微调齿轮32与齿条331组成齿轮副,转动微调旋钮31能够带动微调齿轮32转动,从而带动齿板33向上或向下移动,由于齿轮副的精密配合,可实现齿板33的精细位移,由于齿板33与滑块20固定连接,所以齿板33具有精细位移,即滑块20能够进行精细移动;本实施例中,微调齿轮32与齿条331啮合紧密,保证有足够的力能够带动滑块20移动,且齿条331的精密度满足千分表微调的要求。
滑块20上设置有若干第二通孔22和若干第二定位螺栓23,齿板33上设置有与第二通孔22对应的若干凹槽,第二定位螺栓23贯穿第二通孔22并嵌入齿板33上的凹槽内从而使滑块20与齿板33固定连接,通过第二定位螺栓23与第二通孔22的配合,可以有效将滑块20与齿板33固定连接,螺栓连接的方式方便拆装;本实施例中,第二通孔22的内壁设置有与第二定位螺栓23相适配的螺纹,同样的,齿板33上的凹槽的内壁也具有与第二定位螺栓23相适配的螺纹,本实施例中,第二通孔22设置有三个,第二定位螺栓23及凹槽的数量与其一致。
微调旋钮31包括转头311和转轴312,滑轨10的侧端设置有与转轴312相适配的第三通孔13,转轴312贯穿第三通孔13并能够在第三通孔13内转动,微调齿轮32固定在转轴312的一端,转头311位于转轴312的另一端,转动转头311,转头311带动转轴312旋转,从而使微调齿轮32转动,最终实现对滑块20的精细位置调整;本实施例中,转轴312上设置有一凸环313,凸环313的外径与第三通孔13的内径一致,转头311紧贴与第三通孔13的一侧,第三通孔13的另一侧设置有阻挡环314,使凸环313能够位于第三通孔13内稳定的转动,不会前后移动;转轴312的末端具有一小凸柱315,微调齿轮32的内径与小凸柱315的直径相适配,小凸柱315的直径小于转轴312的直径,微调齿轮32的一侧与转轴312的主干侧端抵接,另一端通过设置阻挡环314,使微调齿轮32固定在转轴312上,阻挡环314为开口圆环,开口端用于锁紧环内的柱体。
在不出现冲突的前提下,本领域技术人员可以将上述附加技术特征自由组合以及叠加使用。
以上所述仅为本实用新型的优先实施方式,只要以基本相同手段实现本实用新型目的的技术方案都属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,包括滑轨(10)、滑块(20)及微调组件(30),所述滑块(20)与滑轨(10)在竖直方向上滑动连接,所述滑块(20)用于与千分表固定连接,所述微调组件(30)位于滑块(20)的侧端,所述微调组件(30)用于微小调整滑块(20)与滑轨(10)的相对滑动距离,所述滑轨(10)上还设置有定位组件(11),所述定位组件(11)用于限制滑块(20)与滑轨(10)的相对滑动。
2.根据权利要求1所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述滑轨(10)上设置有滑槽(12),所述滑块(20)上设置有与滑槽(12)相适配的滑柱(21),所述滑柱(21)位于所述滑槽(12)内。
3.根据权利要求2所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述滑槽(12)的截面为槽底宽、槽口窄的梯形。
4.根据权利要求2所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述定位组件(11)位于滑槽(12)的侧壁,所述定位组件(11)包括第一通孔(111)和第一定位螺栓(112),所述第一通孔(111)与滑槽(12)相连通,所述第一定位螺栓(112)贯穿第一通孔(111)与滑槽(12)内的滑柱(21)相抵接。
5.根据权利要求1所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述微调组件(30)包括微调旋钮(31)、微调齿轮(32)及齿板(33),所述齿板(33)与滑块(20)固定连接,所述齿板(33)上设置有齿条(331),所述微调齿轮(32)与齿条(331)组成齿轮副,转动所述微调旋钮(31)能够带动所述微调齿轮(32)转动,从而带动齿板(33)向上或向下移动。
6.根据权利要求5所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述滑块(20)上设置有若干第二通孔(22)和若干第二定位螺栓(23),所述齿板(33)上设置有与第二通孔(22)对应的若干凹槽,所述第二定位螺栓(23)贯穿第二通孔(22)并嵌入齿板(33)上的凹槽内从而使滑块(20)与齿板(33)固定连接。
7.根据权利要求5所述的一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置,其特征在于,所述微调旋钮(31)包括转头(311)和转轴(312),所述滑轨(10)的侧端设置有与转轴(312)相适配的第三通孔(13),所述转轴(312)贯穿所述第三通孔(13)并能够在第三通孔(13)内转动,所述微调齿轮(32)固定在转轴(312)的一端,所述转头(311)位于转轴(312)的另一端。
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CN202022083131.4U CN211926738U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 一种聚焦镜组件平整度检测用的千分表微调装置 |
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CN112903584A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-04 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种用于相对于待检测晶圆调节检测光源的位置的装置 |
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