CN211920124U - 一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 - Google Patents
一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211920124U CN211920124U CN202020011221.XU CN202020011221U CN211920124U CN 211920124 U CN211920124 U CN 211920124U CN 202020011221 U CN202020011221 U CN 202020011221U CN 211920124 U CN211920124 U CN 211920124U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- square ring
- ring
- silicon chip
- fixedly connected
- outer square
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及光伏技术领域,且公开了一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,包括吸盘体、外方环和气管,所述吸盘体的底部镶嵌连接环形的橡胶垫,所述吸盘体的内部固定连接横板。该自动化吸盘有益效果,在吸盘体的内部设置有同心设置的外方环和内方环,方形设置的外方环和内方环在方形硅片吸附放置时,气体溢出方向与硅片的形状相同,使硅片上端受力均匀,避免局部的受力集中,可减少硅片的碎片,内方环的两侧分别通过橡胶层与两侧的外方环和中空管连接,弹性连接的橡胶层可使内方环进行移动调整,在吸附不同规格的方形硅片可对内方环进行调整,较小规格时可降下内方环吸附放置,较大规格硅片时升起内方环,通过外方环进行吸附放置,适用范围广。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏技术领域,具体为一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘。
背景技术
单晶硅太阳能电池,是以高纯的单晶硅棒为原料的太阳能电池,是当前开发得最快的一种太阳能电池。它的构造和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面。单晶硅太阳能电池的光电转换效率为15%左右,实验室成果也有20%以上的,太阳能光伏发电在不远的将来会占据世界能源消费的重要席位,不但要替代部分常规能源,而且将成为世界能源供应的主体,在硅片生产过程中需要对硅片进行移动,移动过程中需要用到吸盘。
目前吸盘大多为圆形设置,大硅片为正方形,普通吸盘的吹气物理位置与硅片形状不一致,在吸取放置过程中容易造成局部的受力不均,增加碎片率。为此,我们设计了一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,解决了大硅片为正方形,普通吸盘的吹气物理位置与硅片形状不一致,在吸取放置过程中容易造成局部的受力不均,增加碎片率的问题。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,包括吸盘体、外方环和气管,所述吸盘体的底部镶嵌连接环形的橡胶垫,所述吸盘体的内部固定连接横板,所述横板的一端固定连接外方环,所述外方环的内部一侧连接橡胶层,所述橡胶层的内侧固定连接内方环,所述吸盘体的上端中心位置固定连接中空管,所述中空管的一侧固定连接有连接块,所述连接块螺纹连接有连接头,所述连接头的内部卡接密封垫,所述连接头的一侧固定连接气管,所述内方环的上端固定连接移动杆,所述移动杆的上端固定连接有连接环,所述连接环两侧固定连接推动块,所述推动块与推动螺杆螺纹连接,所述吸盘体的上端固定连接上连杆,所述上连杆的上端中心位置固定连接上卡块,所述上卡块与机械臂卡接连接。
进一步的,所述吸盘体为环形设置,所述橡胶垫的底部与外方环和内方环底部设置在同一平面上。
进一步的,所述外方环和内方环均为方形设置,所述外方环和内方环为同心设置。
进一步的,所述内方环的两侧分别通过橡胶层与两侧的外方环和中空管连接,所述橡胶层为弹性设置。
进一步的,所述吸盘体的上端设置与移动杆匹配的孔,所述移动杆设置为四个,所述移动杆与内方环的四个角上端固定连接。
进一步的,所述连接环为环形设置,所述连接环的两侧连接对称的推动块,所述推动螺杆的一端与吸盘体上端活动连接。
本实用新型的有益效果为:
1、该实用新型,在吸盘体的内部设置有同心设置的外方环和内方环,方形设置的外方环和内方环在方形硅片吸附放置时,气体溢出方向与硅片的形状相同,使硅片上端受力均匀,避免局部的受力集中,可减少硅片的碎片,内方环的两侧分别通过橡胶层与两侧的外方环和中空管连接,弹性连接的橡胶层可使内方环进行移动调整,在吸附不同规格的方形硅片可对内方环进行调整,较小规格时可降下内方环吸附放置,较大规格硅片时升起内方环,通过外方环进行吸附放置,适用范围广,使用效果好。
2、该实用新型,在吸盘体的底部连接有环形的橡胶垫,通过吸盘体底部的橡胶垫进行弹性接触,对硅片进行保护,橡胶垫、外方环和内方环底侧设置在同一平面上便于对硅片进行水平吸取和放置,中空管设置直径较大,在进入气体,使硅片放置时,可减缓气流的流速,避免较高流速的气体直接冲击硅片,增加硅片的碎片率。
附图说明
图1为本实用新型的平面结构示意图;
图2为本实用新型的外方环连接示意图;
图3为图1中A处放大示意图。
图中:1、吸盘体;2、橡胶垫;3、横板;4、外方环;5、橡胶层;6、内方环;7、中空管;8、连接块;9、连接头;10、密封垫;11、气管;12、移动杆;13、连接环;14、推动块;15、推动螺杆;16、上连杆;17、上卡块;18、机械臂。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参看图1-3:一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,包括吸盘体1、外方环4和气管11,吸盘体1的底部镶嵌连接环形的橡胶垫2,橡胶垫2可在与硅片接触时提供弹性连接,对硅片进行弹性保护,降低硅片的碎片率,吸盘体1的内部固定连接横板3,横板3的一端固定连接外方环4,通过一侧的横板3将一侧方形的外方环4进行连接,保持外方环4的水平放置,便于对方形硅片对应接触连接,外方环4的内部一侧连接橡胶层5,橡胶层5的内侧固定连接内方环6,通过弹性的橡胶层5可是内方环6进行不同位置的弹性连接,同时保持内方环6与不同部件连接的密封性能,吸盘体1的上端中心位置固定连接中空管7,中空管7的一侧固定连接有连接块8,连接块8螺纹连接有连接头9,连接头9的内部卡接密封垫10,连接头9的一侧固定连接气管11,通过中空管7进行气体的导入与导出,连接块8螺纹连接的连接头9便于安装拆卸,内部的密封垫10可增加密封性,避免气体的泄漏,内方环6的上端固定连接移动杆12,移动杆12的上端固定连接有连接环13,移动杆12可对内方环6提供和支撑,连接环13可将多个移动杆12进行连接,连接环13两侧固定连接推动块14,推动块14与推动螺杆15螺纹连接,通过推动螺杆15与推动块14的配合进行连接环13的上下移动,吸盘体1的上端固定连接上连杆16,上连杆16的上端中心位置固定连接上卡块17,上卡块17与机械臂18卡接连接,上连杆16对吸盘体1进行整体连接固定,机械臂18可通过上卡块17对装置进行整体操作。
具体的,如图1-3所示,吸盘体1为环形设置,橡胶垫2的底部与外方环4和内方环6底部设置在同一平面上,通过吸盘体1底部的橡胶垫2进行弹性接触,对硅片进行保护,外方环4和内方环6底侧设置在同一平面上便于对硅片进行水平吸取和放置。
具体的,如图1-3所示,外方环4和内方环6均为方形设置,外方环4和内方环6为同心设置,通过方向设置的外方环4和内方环6与方形的硅片进行匹配贴合吸附,在放置出气时,可气体呈方向溢出,避免对硅片的局部造成受力的集中,减少硅片的碎片率。
具体的,如图1-3所示,内方环6的两侧分别通过橡胶层5与两侧的外方环4和中空管7连接,橡胶层5为弹性设置,弹性连接的橡胶层5可使内方环6进行移动调整,在吸附不同规格的方形硅片可对内方环6进行调整,较小规格时可降下内方环6吸附放置,较大规格硅片时升起内方环6,通过外方环4进行吸附放置,适用范围广,使用效果好。
具体的,如图1-3所示,吸盘体1的上端设置与移动杆12匹配的孔,移动杆12设置为四个,移动杆12与内方环6的四个角上端固定连接,通过四个移动杆12对内方环6进行平稳支撑。
具体的,如图1-3所示,连接环13为环形设置,连接环13的两侧连接对称的推动块14,推动螺杆15的一端与吸盘体1上端活动连接,通过环形的连接环13可将距圆心相同距离的移动杆12共同连接,可对四个移动杆12进行同步位移,两侧的推动螺杆15进行移动的同时可进行位置的限定,移动调整便捷快速,使用便捷。
综上所述,本实用新型在使用时,吸盘体1的内部设置有同心设置的外方环4和内方环6,方形设置的外方环4和内方环6在方形硅片吸附放置时,气体溢出方向与硅片的形状相同,使硅片上端受力均匀,避免局部的受力集中,可减少硅片的碎片,内方环6的两侧分别通过橡胶层5与两侧的外方环4和中空管7连接,弹性连接的橡胶层5可使内方环6进行移动调整,在吸附不同规格的方形硅片可对内方环6进行调整,较小规格时可降下内方环6吸附放置,较大规格硅片时升起内方环6,通过外方环4进行吸附放置,吸盘体1的底部连接有环形的橡胶垫2,通过吸盘体1底部的橡胶垫2进行弹性接触,对硅片进行保护,橡胶垫2、外方环4和内方环6底侧设置在同一平面上便于对硅片进行水平吸取和放置,中空管7设置直径较大,在进入气体,使硅片放置时,可减缓气流的流速,避免较高流速的气体直接冲击硅片,增加硅片的碎片率。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (6)
1.一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,包括吸盘体(1)、外方环(4)和气管(11),其特征在于:所述吸盘体(1)的底部镶嵌连接环形的橡胶垫(2),所述吸盘体(1)的内部固定连接横板(3),所述横板(3)的一端固定连接外方环(4),所述外方环(4)的内部一侧连接橡胶层(5),所述橡胶层(5)的内侧固定连接内方环(6),所述吸盘体(1)的上端中心位置固定连接中空管(7),所述中空管(7)的一侧固定连接有连接块(8),所述连接块(8)螺纹连接有连接头(9),所述连接头(9)的内部卡接密封垫(10),所述连接头(9)的一侧固定连接气管(11),所述内方环(6)的上端固定连接移动杆(12),所述移动杆(12)的上端固定连接有连接环(13),所述连接环(13)两侧固定连接推动块(14),所述推动块(14)与推动螺杆(15)螺纹连接,所述吸盘体(1)的上端固定连接上连杆(16),所述上连杆(16)的上端中心位置固定连接上卡块(17),所述上卡块(17)与机械臂(18)卡接连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,其特征在于:所述吸盘体(1)为环形设置,所述橡胶垫(2)的底部与外方环(4)和内方环(6)底部设置在同一平面上。
3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,其特征在于:所述外方环(4)和内方环(6)均为方形设置,所述外方环(4)和内方环(6)为同心设置。
4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,其特征在于:所述内方环(6)的两侧分别通过橡胶层(5)与两侧的外方环(4)和中空管(7)连接,所述橡胶层(5)为弹性设置。
5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,其特征在于:所述吸盘体(1)的上端设置与移动杆(12)匹配的孔,所述移动杆(12)设置为四个,所述移动杆(12)与内方环(6)的四个角上端固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘,其特征在于:所述连接环(13)为环形设置,所述连接环(13)的两侧连接对称的推动块(14),所述推动螺杆(15)的一端与吸盘体(1)上端活动连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020011221.XU CN211920124U (zh) | 2020-01-02 | 2020-01-02 | 一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020011221.XU CN211920124U (zh) | 2020-01-02 | 2020-01-02 | 一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211920124U true CN211920124U (zh) | 2020-11-13 |
Family
ID=73330414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202020011221.XU Active CN211920124U (zh) | 2020-01-02 | 2020-01-02 | 一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211920124U (zh) |
-
2020
- 2020-01-02 CN CN202020011221.XU patent/CN211920124U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN207542224U (zh) | 晶圆固定装置 | |
CN211920124U (zh) | 一种适用于大尺寸硅片的自动化吸盘 | |
CN203890438U (zh) | 一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置 | |
CN220306233U (zh) | 一种负压吸附式机械手 | |
CN209869644U (zh) | 一种多功能的丝网印刷机 | |
CN112967994A (zh) | 一种免胶式晶圆贴膜工艺 | |
CN213693632U (zh) | 一种太阳能电池板性能测试台 | |
CN103406853A (zh) | 一种玻璃定位真空吸盘的装配及使用方法 | |
CN202888138U (zh) | 玻封二极管用晶片吸盘的面板 | |
CN206904695U (zh) | 一种新型led灯 | |
CN212277215U (zh) | 电池片串焊机硅片吸取上料机构 | |
CN205564726U (zh) | 硅片电池吸盘装置 | |
CN212599701U (zh) | 一种太阳能板激光切割装置 | |
CN203312271U (zh) | 一种聚光光伏电池片真空吸笔 | |
CN114220761A (zh) | 一种异质结电池pecvd吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法 | |
CN210956631U (zh) | 一种石墨舟装卸片吸盘 | |
CN213340323U (zh) | 一种吹扫吸附输送装置 | |
CN221201123U (zh) | 一种硅片分选机防碎吸盘 | |
CN221573909U (zh) | 一种半导体晶圆加工用托台 | |
CN215433719U (zh) | 一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂 | |
CN221696462U (zh) | 大直径硅片抛光设备下载结构 | |
CN221755833U (zh) | 气路机械式自动通止型多孔真空吸盘 | |
CN202701611U (zh) | 一种真空吸盘 | |
CN214956811U (zh) | 一种半导体用晶圆支撑组件 | |
CN216749848U (zh) | 一种集成电路生产安装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |