CN211805753U - 衬底键合用对准定位夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。在下压头上设置衬底切边弹性销以及衬底外缘弹性销，在底座上设置弹性阻尼旋转机构，利用弹性切边弹性销、衬底外缘弹性销以及弹性阻尼旋转机构的衬底挡片与衬底的相应接触配合，能实现将衬底锁定在下压头上，实现两块衬底的对准定位，为后续衬底的键合提供保障，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

Description

衬底键合用对准定位夹具

技术领域

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。

背景技术

在对硅晶圆等衬底键合时，需要保证两键合的衬底正对准。由于衬底呈圆片状，在对两衬底键合时，存在衬底在对准过程中转动的情况，从而导致键合的衬底无法确保有效对准，影响键合效率，也导致键合的良率较差。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种衬底键合用对准定位夹具，其结构紧凑，能有效实现待键合衬底的对准定位，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述衬底键合用对准定位夹具，包括底座，在所述底座的上方设置用于间隔两个待键合衬底的夹具体组件，在所述夹具体组件的内圈设置用于支撑衬底的下压头；

在所述下压头上设置弹性销组，在所述下压头的外侧设置弹性阻尼旋转机构，所述弹性阻尼旋转机构装配于底座上；所述弹性销组包括衬底切边弹性销以及设置于衬底切边弹性销两侧的衬底外缘弹性销；衬底支撑于下压头上时，衬底切边弹性销能与衬底的切边对应，衬底外缘弹性销位于衬底的外缘外侧；

所述弹性阻尼旋转机构包括衬底挡片以及与所述衬底挡片适配的挡片连接体，所述衬底挡片通过挡片连接体能在底座上方转动，衬底挡片转动后能与衬底的外缘接触，衬底挡片与衬底外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销的正对侧；通过衬底挡片与衬底外缘的紧密接触，能使得衬底的切边与衬底切边弹性销靠齐，且衬底的外缘与衬底外缘弹性销紧密接触，以将衬底锁定在下压头上。

在下压头上设置两个衬底切边弹性销；在下压头的正上方设置上压头，通过上压头与下压头配合，能将下压头上两块正对准的衬底压紧贴合；在将两块衬底压紧贴合时，上压头能将弹性销组以及衬底挡片向靠近底座的方向压缩。

所述挡片连接体包括底座连接板以及设置于所述底座连接板上的挡片连接套筒，挡片连接套筒通过底座连接板能安装于底座上；

在所述挡片连接套筒内设置挡片套筒弹簧以及位于所述挡片套筒弹簧上方的挡片导向轴，衬底挡片通过台阶螺丝固定于挡片导向轴位于挡片连接套筒外的端部，挡片导向轴位于挡片连接套筒内的下部套有导向轴衬套，在挡片连接套筒的外壁上设置用于锁定导向轴衬套的衬套锁定螺丝，挡片导向轴在挡片连接套筒内向靠近挡片套筒弹簧运动时，能压缩所述挡片套筒弹簧，且挡片导向轴能相对衬套锁定螺丝运动。

挡片导向轴位于挡片连接套筒内的端部设置轴挡块，所述轴挡块通过轴挡块连接螺丝固定在挡片导向轴的端部，挡片导向轴通过轴挡块能与挡片套筒弹簧接触配合。

所述夹具体组件包括夹具环板以及设置于所述夹具环板上的衬底间隔调节机构，所述衬底间隔调节机构包括用于间隔衬底的衬底垫片以及用于调节衬底垫片位置状态的垫片位置调节机构，衬底垫片位于两衬底之间时，能对衬底进行间隔，通过衬底间隔调节机构能拉动衬底垫片从衬底间退出。

所述衬底间隔调节机构包括能在夹具环板上滑动的垫片滑块以及能拉动垫片滑块在夹具环板上运动的滑块拉簧，在所述垫片滑块的头端端部设置垫片连块，衬底垫片通过垫片连块能与垫片滑块连接；

还包括与垫片滑块适配的滑块插销以及与所述滑块插销适配的插销座，垫片滑块上设置与滑块插销适配的滑块插销孔，滑块插销孔贯通垫片滑块，且滑块插销孔的长度方向与垫片滑块在夹具环板上滑动方向相一致；垫片滑块贯穿插销座，所述插销座固定在夹具环板上，垫片滑块能相对插销座运动；

在夹具环板内设置与滑块插销适配的垫片滑板锁定机构，通过垫片滑块锁定机构能将垫片滑块锁定在夹具环板上，按压滑块插销后，能解除垫片滑块锁定机构对垫片滑块的锁定，垫片滑块在滑块拉簧的作用下能在夹具环板上滑动。

所述垫片滑块锁定机构包括设置于夹具环板内的滑块锁定弹簧以及位于所述滑块锁定弹簧上的定位钢珠，通过滑块锁定弹簧能使得定位钢珠阻挡垫片滑块在夹具环板运动；

在插销座内设置能与滑块插销适配的滑块插销弹簧，按压滑块插销时，通过滑块插销能使得滑块插销弹簧以及滑块锁定弹簧处于压缩状态，且通过滑块插销能解除定位钢珠对垫片滑块阻挡状态，以使得垫片滑块能在滑块拉簧的作用下在夹具环板上滑动。

在夹具环板内设置滑动导向槽，在所述滑动导向槽内设置下滑动导向板，所述下滑动导向板能与垫片滑块下表面的上滑动导向板滑动接触。

所述上滑动导向板通过上滑动导向板紧固螺丝与垫片滑块固定连接，下滑动导向板通过下滑动导向板紧固螺丝能固定在夹具环板的滑动导向槽内。

所述夹具环板呈环状，且夹具环板上具有贯通所述夹具环板的环板缺口，在底座上设置用于对夹具环板支撑的环板支撑块，夹具环板通过环板定位销与环板支撑块固定连接。

本实用新型的优点：在下压头上设置衬底切边弹性销以及衬底外缘弹性销，在底座上设置弹性阻尼旋转机构，利用弹性切边弹性销、衬底外缘弹性销以及弹性阻尼旋转机构的衬底挡片与衬底的相应接触配合，能实现将衬底锁定在下压头上，实现两块衬底的对准定位，为后续衬底的键合提供保障，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为本实用新型弹性阻尼旋转机构的立体图。

图3为本实用新型弹性阻尼旋转机构的剖视图。

图4为本实用新型夹具体组件的立体图。

图5为本实用新型衬底垫片能对衬底间隔状态的示意图。

图6为本实用新型衬底垫片能从衬底间退出时的示意图。

图7为本实用新型利用上压头能对两个衬底进行压合时的示意图。

附图标记说明：1-底座、2-底座耳片、3-底座耳片孔、4-下压头、5-环板定位销、6-环板支撑块、7-夹具环板、8-衬底切边弹性销、9-衬底外缘弹性销、10-衬底、11-弹性阻尼旋转机构、12-挡盖、13-底座连接板、14-底座连接板孔、15-挡片连接套筒、16-衬套锁定螺丝、17-挡片导向轴、18-衬底挡片、19-台阶螺丝、20-挡片套筒弹簧、21-导向轴衬套、22-轴挡块、23-轴挡块连接螺丝、24-环板孔、25-衬底垫片、26-滑块拉簧、27-滑块插销、28-上滑动导向板紧固螺丝、29-垫片滑块、30-插销套、31-拉簧第一螺栓、32-滑块锁定弹簧、33-滑块插销弹簧、34-定位钢珠、35-上滑动导向板、36-垫片连块、37-滑块插销孔、38-滑动导向槽、39-下滑动导向板、40-下滑动导向板紧固螺丝、41-上压头、42-环板缺口以及43-拉簧第二螺栓。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1和图7所示：为了能有效实现待键合衬底10的对准定位，提高键合效率以及键合良率，本实用新型包括底座1，在所述底座1的上方设置用于间隔两个待键合衬底10的夹具体组件，在所述夹具体组件的内圈设置用于支撑衬底10的下压头4；

在所述下压头4上设置弹性销组，在所述下压头4的外侧设置弹性阻尼旋转机构11，所述弹性阻尼旋转机构11装配于底座1上；所述弹性销组包括衬底切边弹性销8以及设置于衬底切边弹性销8两侧的衬底外缘弹性销9；衬底10支撑于下压头4上时，衬底切边弹性销8能与衬底10的切边对应，衬底外缘弹性销9位于衬底10的外缘外侧；

所述弹性阻尼旋转机构11包括衬底挡片18以及与所述衬底挡片18适配的挡片连接体，所述衬底挡片18通过挡片连接体能在底座1上方转动，衬底挡片18转动后能与衬底10的外缘接触，衬底挡片18与衬底10外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销8的正对侧；通过衬底挡片18与衬底10外缘的紧密接触，能使得衬底10的切边与衬底切边弹性销8靠齐，且衬底10的外缘与衬底外缘弹性销9紧密接触，以将衬底10锁定在下压头4上。

具体地，底座1呈圆环状，在底座1的外圈设置若干底座耳片2，底座耳片2凸出于底座1的外缘，在每个底座耳片2上设置底座耳片孔3，底座耳片孔3贯通底座耳片2，通过底座耳片2以及底座耳片孔3能方便将底座1装配在所需的位置。夹具体组件位于底座1的上方，在两个衬底10对准定位过程中，通过夹具体组件能间隔两个待键合的衬底10，而当需要将衬底10键合固定时，则夹具体组件需要与衬底10分离，以使得两个衬底10能直接接触，从而不会影响衬底10对准后的键合固定。下压头4位于夹具体组件的内圈，通过下压头4能支撑衬底10，一般地，衬底10的外径小于下压头4的外径，对于两块待键合的衬底10，一衬底10直接支撑于下压头4上，另一衬底10在键合前通过夹具体组件间隔后位于下压头4的上方，在两块衬底10正对准后，夹具体组件不再对两衬底10间隔，此时两正对准的衬底10直接接触，为后续的两个衬底10的键合做准备。

本技术领域人员周知，衬底10呈圆片状，衬底10一般为硅晶圆。在衬底10上具有切边，切边呈直线状，衬底10其余的外缘呈圆形。为了避免两个衬底10在对准定位过程中发生转动等情况，本实用新型实施例中，在下压头4上设置弹性销组，且在下压头4的外侧设置弹性阻尼旋转机构11，弹性阻尼旋转机构11装配于底座1上。

具体实施时，利用衬底切边弹性销8能与衬底10的切边对应，当衬底10的切边与衬底切边弹性销8对应时，衬底外缘弹性销9位于衬底10切边的两侧，从而利用衬底外缘弹性销9能与衬底10的圆形外缘对应。弹性阻尼旋转机构11的衬底挡片18能在底座1上方转动，利用衬底挡片18的转动，能方便将衬底10置于下压头4上，且在两个衬底10放置到位后，衬底挡片19再次转动后，能使得衬底挡片18与衬底10的外缘接触。此时，通过衬底切边弹性销8、衬底外缘弹性销9以及衬底挡片18能与衬底10间形成至少四个接触位置，能有效防止衬底10在对准定位过程中的转动。衬底挡片18与衬底10外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销8的正对侧，从而通过衬底挡片18与衬底10外缘的紧密接触，能使得衬底10的切边与衬底切边弹性销8靠齐，且衬底10的外缘与衬底外缘弹性销9紧密接触，以将衬底10锁定在下压头4上，能提高键合效率以及键合良率。

进一步地，在下压头4上设置两个衬底切边弹性销8；在下压头4的正上方设置上压头41，通过上压头41与下压头4配合，能将下压头4上两块正对准的衬底10压紧贴合；在将两块衬底10压紧贴合时，上压头41能将弹性销组以及衬底挡片18向靠近底座1的方向压缩。

本实用新型实施例中，在下压头4上设置两个衬底切边弹性销8，即通过两个衬底切边弹性销8能与衬底10的切边对应接触，进一步确保衬底10对准的可靠性。衬底切边弹性销8以及衬底外缘定位销9均可采用现有常用的结构形式，具体可以根据需要进行选择，此处不再赘述。为了能有效实现两衬底10的贴合，需要在下压头4的上方设置上压头41。具体实施时，上压头41一般保持固定，下压头4能相对上压头41升降，即通过下压头4能带动对准定位后的衬底10靠近上压头41，通过上压头41与下压头4的配合，能使得两个对准后的衬底10压紧贴合，为后续的键合做准备，两衬底10间的键合固定形式可以根据需要进行选择，具体为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。当将两块衬底10压紧贴合时，上压头41能将弹性销组以及衬底挡片18向靠近底座1的方向压缩。下压头4可以采用现有常用的形式实现相对上压头41的升降，如采用气缸等驱动形式，具体可以根据需要进行选择，当然，也可以采用下压头4保持固定，通过上压头41向靠近下压头4的方向运动，并能将两块衬底10压紧贴合，具体形式可以根据实际需要进行选择，此处不再赘述。

如图2和图3所示，所述挡片连接体包括底座连接板13以及设置于所述底座连接板13上的挡片连接套筒15，挡片连接套筒15通过底座连接板13能安装于底座1上；

在所述挡片连接套筒15内设置挡片套筒弹簧20以及位于所述挡片套筒弹簧20上方的挡片导向轴17，衬底挡片18通过台阶螺丝19固定于挡片导向轴17位于挡片连接套筒15外的端部，挡片导向轴17位于挡片连接套筒15内的下部套有导向轴衬套21，在挡片连接套筒15的外壁上设置用于锁定导向轴衬套21的衬套锁定螺丝16，挡片导向轴17在挡片连接套筒15内向靠近挡片套筒弹簧20运动时，能压缩所述挡片套筒弹簧20，且挡片导向轴17能相对挡片连接套筒15运动。

本实用新型实施例中，在底座连接板13上设置底座连接板孔14，底座连接板孔14贯通底座连接板13，通过底座连接板13以及底座连接板孔14能实现与底座1的连接固定。挡片连接套筒15垂直分布于底座连接板13上，当底座连接板13固定于底座1上时，挡片连接套筒15垂直于底座1所在的平面。

挡片套筒弹簧20位于挡片连接套筒15内的底部，挡片导向轴17的一端一端位于挡片连接套筒15内，另一端位于挡片连接套筒15外。衬底挡片18位于挡片连接套筒15外，衬底挡片18通过台阶螺丝19与挡片导向轴17固定。挡片导向轴17通过导向轴衬套21能与挡片连接套筒15连接配合，导向轴衬套21套在挡片导向轴17上，通过衬套锁定螺丝16能将导向轴衬套21锁定在挡片连接套筒15内。挡片导向轴17与导向轴衬套21间采用间隙配合，从而挡片导向轴17通过导向轴衬套21能相对挡片连接套筒15转动，以及挡片导向轴17能在挡片连接套筒15内伸缩，当挡片导向轴17相对挡片连接套筒15运动时，衬底挡片18能跟随挡片导向轴17同步运动，即实现了衬底挡片18在底座1上方的转动，也能实现衬底挡片18靠近底座1或远离底座1的运动。

衬底挡片18可采用特氟龙制成，当将衬底挡片18向靠近底座1的方向压缩时，通过挡片导向轴17能压缩挡片套筒弹簧20，而在撤去作用在衬底挡片18上的作用力时，在挡片套筒弹簧20的作用下能使得挡片导向轴17以及衬底挡片18复位。

进一步地，挡片导向轴17位于挡片连接套筒15内的端部设置轴挡块22，所述轴挡块22通过轴挡块连接螺丝23固定在挡片导向轴17的端部，挡片导向轴17通过轴挡块22能与挡片套筒弹簧20接触配合。

本实用新型实施例中，轴挡块22通过轴挡块连接螺丝23固定在挡片导向轴17的端部，轴挡块22位于挡片连接套筒15内，通过轴挡块22能实现对导向轴衬套21的支撑，且通过轴挡块22能实现与挡片套筒弹簧20间连接配合的可靠性，挡片导向轴17通过轴挡块22能与挡片套筒弹簧20连接，挡片导向轴17在挡片连接套筒15内伸缩时，通过轴挡块22能压缩挡片套筒弹簧20，当然，处于压缩状态的挡片套筒弹簧20通过轴挡块22能使得挡片导向轴17复位。

如图4、图5、图6和图7所示，所述夹具体组件包括夹具环板7以及设置于所述夹具环板7上的衬底间隔调节机构，所述衬底间隔调节机构包括用于间隔衬底10的衬底垫片25以及用于调节衬底垫片25位置状态的垫片位置调节机构，衬底垫片25位于两衬底10之间时，能对衬底10进行间隔，通过衬底间隔调节机构能拉动衬底垫片25从衬底10间退出。

本实用新型实施例中，所述夹具环板7呈环状，且夹具环板7上具有贯通所述夹具环板7的环板缺口42，在底座1上设置用于对夹具环板7支撑的环板支撑块6，夹具环板7通过环板定位销5与环板支撑块6固定连接。通过夹具环板7的环板缺口42能方便对衬底10的操作，如取键合后的衬底10等。夹具环板7内的中心区具有环板孔24，利用环板孔24能实现下压头4等的定位与放置，且能实现与弹性阻尼旋转机构11与衬底10、底座1间的配合。

具体实施时，衬底垫片25呈薄片状，衬底垫片25所在的平面与下压头4支撑衬底10的表面平行。为了能有效实现对衬底10的间隔，在夹具环板7上设置多个均匀分布的衬底垫片25，每个衬底垫片25与垫片位置调节机构一一对应连接，从而通过垫片位置调节机构能独立调节所连接衬底垫片25的位置状态。本实用新型实施例中，对衬底垫片25的位置状态的调节，具体是指利用衬底垫片25实现对衬底10的间隔，或衬底10间不利用衬底垫片25间隔。由上述说明可知，当需要衬底10进行对准时，一般需要利用衬底垫片25间隔，而对准后的衬底10进行压紧贴合时，则不需要利用衬底垫片25间隔。

进一步地，所述衬底间隔调节机构包括能在夹具环板7上滑动的垫片滑块29以及能拉动垫片滑块29在夹具环板7上运动的滑块拉簧26，在所述垫片滑块29的头端端部设置垫片连块36，衬底垫片25通过垫片连块36能与垫片滑块29连接；

还包括与垫片滑块29适配的滑块插销27以及与所述滑块插销27适配的插销座，垫片滑块29上设置与滑块插销27适配的滑块插销孔37，滑块插销孔37贯通垫片滑块29，且滑块插销孔37的长度方向与垫片滑块29在夹具环板7上滑动方向相一致；垫片滑块29贯穿插销座，所述插销座固定在夹具环板7上，垫片滑块29能相对插销座运动；

在夹具环板7内设置与滑块插销27适配的垫片滑板锁定机构，通过垫片滑块锁定机构能将垫片滑块29锁定在夹具环板7上，按压滑块插销27后，能解除垫片滑块锁定机构对垫片滑块29的锁定，垫片滑块29在滑块拉簧26的作用下能在夹具环板7上滑动。

本实用新型实施例中，垫片滑块29置于夹具环板7上，通过滑块拉簧26能提供垫片滑块29运动的作用力。垫片连块36位于垫片滑块29的头端端部，垫片连块36的高度大于垫片滑块29的高度，衬底垫片25位于垫片连块36的端部，衬底垫片25在垫片滑块29邻近下压头4的端部。衬底垫片25与垫片滑块29相平行。

滑块插销27的长度方向与垫片滑块29的长度方向垂直，插销座固定在夹具环板7上，滑块插销27能穿过滑块插销孔37。垫片滑块29贯穿插销座，即垫片滑块29的头端与垫片滑块29的尾端分别位于插销座的两侧，垫片滑块29能相对插销座运动，即不会影响垫片滑块29在夹具环板7上滑动，而垫片滑块29在夹具环板7上滑动时，滑块插销27能与滑块插销孔37配合，即滑块插销27也不会影响垫片滑块29在夹具环板7上的滑动。

通过垫片滑板锁定机构能对垫片滑块29进行锁定，而通过滑块插销27能解除垫片滑块锁定机构对垫片滑块29的锁定，且在解除垫片滑块锁定机构对垫片滑块29的锁定，垫片滑块29在滑块拉簧26的作用下能在夹具环板7上滑动。当垫片滑块29在滑块拉簧26的作用下在夹具环板7上滑动时，则衬底垫片25能实现对衬底10的间隔。

插销座包括能允许滑块插销27穿置的插销套30以及设置于所述插销套30上的挡盖12，滑块插销27能依次穿过挡盖12、插销套30、滑块插销孔37后能与垫片滑块锁定机构连接。垫片滑块29穿过插销套30，且垫片滑块29与插销套30间间隙配合。插销套30通过拉簧第一螺栓31固定在夹具环板7上，在垫片滑块29上设置拉簧第二螺栓43，滑块拉簧26的两端分别与拉簧第一螺栓31以及拉簧第二螺栓43连接，通过滑块拉簧26能提供垫片滑块29在夹具环板7上的滑动驱动力。当然，滑块插销27与挡盖12以及插销套30连接配合后，滑块插销27能在插销套30内伸缩，即能按压滑块插销27。

进一步地，所述垫片滑块锁定机构包括设置于夹具环板7内的滑块锁定弹簧32以及位于所述滑块锁定弹簧32上的定位钢珠34，通过滑块锁定弹簧32能使得定位钢珠34阻挡垫片滑块29在夹具环板7运动；

在插销座内设置能与滑块插销27适配的滑块插销弹簧33，按压滑块插销27时，通过滑块插销27能使得滑块插销弹簧33以及滑块锁定弹簧32处于压缩状态，且通过滑块插销27能解除定位钢珠34对垫片滑块29阻挡状态，以使得垫片滑块29能在滑块拉簧26的作用下在夹具环板7上滑动。

本实用新型实施例中，定位钢珠34呈球形，定位钢珠34位于滑块锁定弹簧32上，一般地，滑块锁定弹簧32能使得定位钢珠34伸入垫片滑块29内，从而利用伸入垫片滑块29内的定位钢珠34与所述垫片滑块29配合能阻挡垫片滑块29在夹具环板7上的运动，实现将垫片滑块29锁定在夹具环板7上。当按压滑块插销27时，通过滑块插销27能将定位钢珠34远离垫片滑块29，定位钢珠34从与垫片滑块29内退出，此时，定位钢珠34与垫片滑块29间不接触时，滑块插销弹簧33以及滑块锁定弹簧32均处于压缩状态，从而能解除定位钢珠34对垫片滑块29的阻挡状态，此时，垫片滑块29处于自由状态，利用滑块拉簧26的作用力能驱动垫片滑块29在夹具环板7上运动。

滑块插销弹簧33位于插销套33内，当按压滑块插销27后，能使得滑块插销弹簧33处于压缩状态，当松开对滑块插销27的按压后，在滑块插销弹簧33的作用下，能使得滑块插销27复位。图5中示出了利用定位钢珠24与垫片滑块29配合将垫片滑块29锁定在夹具环板7上的示意图，此时，定位钢珠24能伸入垫片滑块29内，通过定位钢珠24能阻挡垫片滑块29的运动。图6中，通过滑块插销27将定位钢珠24从垫片滑块29内退出，定位钢珠24与垫片滑块29不接触，利用滑块拉簧26的作用，能驱动垫片滑块29在夹具环板7上运动，实现对衬底垫片25的位置状态调节。

进一步地，在夹具环板7内设置滑动导向槽38，在所述滑动导向槽38内设置下滑动导向板39，所述下滑动导向板39能与垫片滑块29下表面的上滑动导向板35滑动接触。

本实用新型实施例中，在夹具环板7内设置滑动导向槽38，滑动导向槽38的深度小于夹具环板7的厚度，下滑动导向板39固定于滑动导向槽38内，在垫片滑块29的下表面设置上滑动导向板35，上滑动导向板35与下滑动导向板39间滑动接触，利用上滑动导向板35与下滑动导向板39间的滑动接触，能对垫片滑块29在夹具环板7上的滑动进行导向，提高垫片滑块29在夹具环板7上运动的可靠性。

具体实施时，所述上滑动导向板35通过上滑动导向板紧固螺丝28与垫片滑块29固定连接，下滑动导向板39通过下滑动导向板紧固螺丝40能固定在夹具环板7的滑动导向槽38内。

Claims (10)

1.一种衬底键合用对准定位夹具，包括底座(1)，在所述底座(1)的上方设置用于间隔两个待键合衬底(10)的夹具体组件，在所述夹具体组件的内圈设置用于支撑衬底(10)的下压头(4)；其特征是：

在所述下压头(4)上设置弹性销组，在所述下压头(4)的外侧设置弹性阻尼旋转机构(11)，所述弹性阻尼旋转机构(11)装配于底座(1)上；所述弹性销组包括衬底切边弹性销(8)以及设置于衬底切边弹性销(8)两侧的衬底外缘弹性销(9)；衬底(10)支撑于下压头(4)上时，衬底切边弹性销(8)能与衬底(10)的切边对应，衬底外缘弹性销(9)位于衬底(10)的外缘外侧；

所述弹性阻尼旋转机构(11)包括衬底挡片(18)以及与所述衬底挡片(18)适配的挡片连接体，所述衬底挡片(18)通过挡片连接体能在底座(1)上方转动，衬底挡片(18)转动后能与衬底(10)的外缘接触，衬底挡片(18)与衬底(10)外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销(8)的正对侧；通过衬底挡片(18)与衬底(10)外缘的紧密接触，能使得衬底(10)的切边与衬底切边弹性销(8)靠齐，且衬底(10)的外缘与衬底外缘弹性销(9)紧密接触，以将衬底(10)锁定在下压头(4)上。

2.根据权利要求1所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：在下压头(4)上设置两个衬底切边弹性销(8)；在下压头(4)的正上方设置上压头(41)，通过上压头(41)与下压头(4)配合，能将下压头(4)上两块正对准的衬底(10)压紧贴合；在将两块衬底(10)压紧贴合时，上压头(41)能将弹性销组以及衬底挡片(18)向靠近底座(1)的方向压缩。

3.根据权利要求1或2所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述挡片连接体包括底座连接板(13)以及设置于所述底座连接板(13)上的挡片连接套筒(15)，挡片连接套筒(15)通过底座连接板(13)能安装于底座(1)上；

在所述挡片连接套筒(15)内设置挡片套筒弹簧(20)以及位于所述挡片套筒弹簧(20)上方的挡片导向轴(17)，衬底挡片(18)通过台阶螺丝(19)固定于挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)外的端部，挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)内的下部套有导向轴衬套(21)，在挡片连接套筒(15)的外壁上设置用于锁定导向轴衬套(21)的衬套锁定螺丝(16)，挡片导向轴(17)在挡片连接套筒(15)内向靠近挡片套筒弹簧(20)运动时，能压缩所述挡片套筒弹簧(20)，且挡片导向轴(17)能相对挡片连接套筒(15)运动。

4.根据权利要求3所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)内的端部设置轴挡块(22)，所述轴挡块(22)通过轴挡块连接螺丝(23)固定在挡片导向轴(17)的端部，挡片导向轴(17)通过轴挡块(22)能与挡片套筒弹簧(20)接触配合。

5.根据权利要求1所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述夹具体组件包括夹具环板(7)以及设置于所述夹具环板(7)上的衬底间隔调节机构，所述衬底间隔调节机构包括用于间隔衬底(10)的衬底垫片(25)以及用于调节衬底垫片(25)位置状态的垫片位置调节机构，衬底垫片(25)位于两衬底(10)之间时，能对衬底(10)进行间隔，通过衬底间隔调节机构能拉动衬底垫片(25)从衬底(10)间退出。

6.根据权利要求5所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述衬底间隔调节机构包括能在夹具环板(7)上滑动的垫片滑块(29)以及能拉动垫片滑块(29)在夹具环板(7)上运动的滑块拉簧(26)，在所述垫片滑块(29)的头端端部设置垫片连块(36)，衬底垫片(25)通过垫片连块(36)能与垫片滑块(29)连接；

还包括与垫片滑块(29)适配的滑块插销(27)以及与所述滑块插销(27)适配的插销座，垫片滑块(29)上设置与滑块插销(27)适配的滑块插销孔(37)，滑块插销孔(37)贯通垫片滑块(29)，且滑块插销孔(37)的长度方向与垫片滑块(29)在夹具环板(7)上滑动方向相一致；垫片滑块(29)贯穿插销座，所述插销座固定在夹具环板(7)上，垫片滑块(29)能相对插销座运动；

在夹具环板(7)内设置与滑块插销(27)适配的垫片滑板锁定机构，通过垫片滑块锁定机构能将垫片滑块(29)锁定在夹具环板(7)上，按压滑块插销(27)后，能解除垫片滑块锁定机构对垫片滑块(29)的锁定，垫片滑块(29)在滑块拉簧(26)的作用下能在夹具环板(7)上滑动。

7.根据权利要求6所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述垫片滑块锁定机构包括设置于夹具环板(7)内的滑块锁定弹簧(32)以及位于所述滑块锁定弹簧(32)上的定位钢珠(34)，通过滑块锁定弹簧(32)能使得定位钢珠(34)阻挡垫片滑块(29)在夹具环板(7)运动；

在插销座内设置能与滑块插销(27)适配的滑块插销弹簧(33)，按压滑块插销(27)时，通过滑块插销(27)能使得滑块插销弹簧(33)以及滑块锁定弹簧(32)处于压缩状态，且通过滑块插销(27)能解除定位钢珠(34)对垫片滑块(29)阻挡状态，以使得垫片滑块(29)能在滑块拉簧(26)的作用下在夹具环板(7)上滑动。

8.根据权利要求6或7所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：在夹具环板(7)内设置滑动导向槽(38)，在所述滑动导向槽(38)内设置下滑动导向板(39)，所述下滑动导向板(39)能与垫片滑块(29)下表面的上滑动导向板(35)滑动接触。

9.根据权利要求8所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述上滑动导向板(35)通过上滑动导向板紧固螺丝(28)与垫片滑块(29)固定连接，下滑动导向板(39)通过下滑动导向板紧固螺丝(40)能固定在夹具环板(7)的滑动导向槽(38)内。

10.根据权利要求5所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述夹具环板(7)呈环状，且夹具环板(7)上具有贯通所述夹具环板(7)的环板缺口(42)，在底座(1)上设置用于对夹具环板(7)支撑的环板支撑块(6)，夹具环板(7)通过环板定位销(5)与环板支撑块(6)固定连接。

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