CN211786822U - 三氯乙烯自动通源控制系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统，涉及半导体制造技术领域。本申请通过对气路管道进行设计，采用多路输送管道共用同一套源温控制系统，同时借助于气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，以使得采用同一套源温控制系统通过不同路输送管道为不同栋扩散炉提供三氯乙烯源液。上述方案，一方面只需一套源温控制系统即可实现多栋扩散炉的三氯乙烯源液供给，节省购买多套源温控制系统的生产成本；另一方面，通过气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，实现多路三氯乙烯源液输送的自动化控制，避免人工来回拆卸或连接气路管线可能引起的安全事故，确保生产安全。

Description

三氯乙烯自动通源控制系统

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种三氯乙烯自动通源控制系统。

背景技术

扩散炉是半导体做片过程中不可或缺的设备，在对扩散炉中的管道进行干洗时，需要扩散操作人员在待干洗的管道中通入三氯乙烯源液。由于盛装三氯乙烯源液的源温控制系统价格比较昂贵，如果要为每一栋扩散炉均配备一套源温控制系统，势必大幅增加工厂的生产成本。

若采用一套源温控制系统，则需要扩散操作人员通过来回手动拆卸搬运的方式共用同一套源温控制系统，为不同栋的扩散炉提供三氯乙烯源液。这种方式既不方便、又容易出现在拆卸或连接气路管线过程中因连接不当而产生的安全或质量事故。比如，因气路管线连接不紧而导致未与三氯乙烯源液通上，而造成管道干洗不净，而影响产品的做片质量。再或者，接通三氯乙烯源液后，扩散操作人员未及时更换点火器就进行做片而导致泰氟龙连接管件烧毁，而导致氢气外泄燃烧的安全事故。

有鉴于此，如何克服上述技术问题成为本领域技术人员急需要解决的技术问题。

实用新型内容

为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种可以节省生产成本、且能确保安全生产的三氯乙烯自动通源控制系统。

本申请的实施例提供一种三氯乙烯自动通源控制系统，包括：气路管道、气路控制组件及一套源温控制系统；

所述源温控制系统包括用于存储三氯乙烯源液的源液存储设备；

所述气路管道包括输入主管道、输出主管道及至少两路输送管道，每路输送管道均包括输入管道及输出管道，所述每路输送管道的输入管道连通于外接气源与所述输入主管道之间，所述输入主管道伸入所述源液存储设备的三氯乙烯源液中；

所述输出主管路与所述源液存储设备的内部空间连通，所述每路输送管道的输出管道连通于所述输出主管路与外部扩散炉的待干洗管道之间；

所述气路控制组件包括管道开关阀及用于控制所述管道开关阀工作状态的控制阀，所述管道开关阀设置在每路所述输送管道的输入管道和输出管道上，用于控制所述输入管道和输出管道的通断状态。

在本申请的一种可能实施例中，所述气路控制组件还包括用于控制管道气体流量的气体流量控制器，所述气体流量控制器设置在每路所述输送管道的输入管道上。

在本申请的一种可能实施例中，所述气体流量控制器包括浮子流量计。

在本申请的一种可能实施例中，所述气路控制组件还包括单向阀，所述单向阀设置在每路所述输送管道的输入管道上，用于控制所述输入管道单方向导通。

在本申请的一种可能实施例中，所述气路管道还包括卸压管道支路，所述卸压管道支路与所述输出主管道连通；

所述气路控制组件还包括卸压阀，所述卸压阀设置在所述卸压管道支路上，所述卸压阀在所述气路管道中的压强大于预设压强阈值时打开，对所述气路管道进行卸压。

在本申请的一种可能实施例中，所述管道开关阀包括气动阀，所述控制阀包括电磁阀；

所述电磁阀通过三通管道与同一输送管道上的两个所述气动阀连接，所述电磁阀在接收到电信号时通过释放压缩气体控制两个所述气动阀的通断状态。

在本申请的一种可能实施例中，所述源温控制系统还包括用于使所述源液存储设备中的源液维持在设定温度的源温控制器、以及设置在所述源液中的温度传感器；

所述温度传感器与所述源温控制器连接，用于将检测的源液温度反馈给所述源温控制器，使所述源温控制器根据反馈的源液温度控制所述源液维持在设定温度。

在本申请的一种可能实施例中，所述气源为氮气源。

在本申请的一种可能实施例中，所述三氯乙烯自动通源控制系统还包括：与所述控制阀电性连接的控制终端，所述控制终端通过发送电信号控制所述控制阀的工作状态。

在本申请的一种可能实施例中，所述控制终端还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述控制阀的工作状态和/或所述控制阀控制的管道开关阀的通断状态。

本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统，通过对气路管道进行设计，采用多路输送管道共用同一套源温控制系统，同时借助于气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，以使得采用同一套源温控制系统通过不同路输送管道为不同栋扩散炉提供三氯乙烯源液。上述方案，一方面只需一套源温控制系统即可实现多栋扩散炉的三氯乙烯源液供给，节省购买多套源温控制系统的生产成本；另一方面，通过气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，实现多路三氯乙烯源液输送的自动化控制，避免人工来回拆卸或连接气路管线可能引起的安全事故，确保生产安全。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统的结构示意图之一；

图2为本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统的结构示意图之二；

图3为本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统的结构示意图之三；

图4为本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统的结构示意图之四。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

为了解决背景技术中的技术问题，发明人创新性地设计以下的技术方案。

请参照图1，图1示出了本申请实施例提供的一种三氯乙烯自动通源控制系统10的结构示意图。

三氯乙烯自动通源控制系统10可以包括：气路管道、气路控制组件及一套源温控制系统130。

在本申请实施例中，源温控制系统130可以包括用于存储三氯乙烯源液的源液存储设备131。

气路管道可以包括输入主管道111、输出主管路112及至少两路的输送管道。每路输送管道均可以包括输入管道113a和输出管道113b。其中，每一输入管道113a的输入端口外接气源，每一输入管道113a的输出端口与输入主管道111连通，输入主管道111延伸至源液存储设备131的三氯乙烯源液中。在本申请实施例中，外接气源选择不会与三氯乙烯源液发生化学反应的气源，例如，外接起源可以为氮气源。

图1示出了包括两路输送管道的三氯乙烯自动通源控制系统10的结构示意图，可以理解的是，针对多路输送管道，本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统10也是同样适用的，图1所给出的结构示意图仅仅只是为了方便本领域技术人员理解本申请方案的示例，不应该理解为对本申请技术方案的具体限定。

输出主路112与源液存储设备131的内部空间连通，每路输送管道的输出管道113b的输入端口与输出主路112连通，每路输送管道的输出管道113b的输出端口与一栋扩散炉的待干洗管道(图中未示出)连接。

在本申请实施例中，所述气路控制组件可以包括管道开关阀121及用于控制管道开关阀121工作状态的控制阀122，管道开关阀121设置在每路输送管道的输入管道113a和输出管道113b上，用于同时控制该路输送管道的通断状态。

上述三氯乙烯自动通源控制系统10工作原理如下：在一路输送管道被导通时，从输入管道113a输入的气体经由输入主路111输送到源液存储设备131，由于输入主管道111延伸至源液存储设备131的三氯乙烯源液中，气体进入源液存储设备131后会形成气泡，气泡向上浮出源液面后破裂，使得源液存储设备131的内部空间中存在较多的三氯乙烯源液态分子。另外，气体进入源液存储设备131会增大源液存储设备131的内部空间的压强，使得气体可以携带三氯乙烯源液态分子通过输出主路112输送到输出管道113b，并经由输出管道113b的输出端口输送到对应扩散炉的待干洗管道中，对扩散炉的待干洗管道进行干洗，以确保做片环境不存在污染源而影响做片质量。

上述方案，一方面只需一套源温控制系统130即可实现多栋扩散炉的三氯乙烯源液供给，节省购买多套源温控制系统130的生产成本；另一方面，通过气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，实现多路三氯乙烯源液输送的自动化控制，避免人工来回拆卸或连接气路管线可能引起的安全事故，确保生产安全。

请参照图2，图2示出了本申请实施例提供的另一种可能三氯乙烯自动通源控制系统10的结构示意图。在图2中，气路控制组件还可以包括用于控制管道气体流量的气体流量控制器123，气体流量控制器123设置在每路输送管道的输入管道113a上。在本申请实施例中，气体流量控制器123可以采用0～500ccL/min流量大小的浮子流量计，浮子流量计是以浮子在垂直锥形管中随着流量变化而升降，改变它们之间的流通面积来进行测量的体积流量仪表。

请再次参照图2，气路控制组件还可以包括单向阀124，单向阀124设置在每路输送管道的输入管道113a上。在每路输送管道的输入管道113a上设置单向阀124可以确保气体或源液在输送管道中单向流通，可以阻止气体或三氯乙烯源液倒流。

请参照图3，图3示出了本申请实施例提供的另一种可能三氯乙烯自动通源控制系统10的结构示意图。气路管道还可以包括卸压管道支路114，该卸压管道支路114和输出主管道112连通。

气路控制组件还包括卸压阀125，卸压阀125设置在卸压管道支路114上，卸压阀125在气路管道中的压强大于预设压强阈值时打开，对气路管道进行卸压，以防止三氯乙烯源液在供给过程中出现压力过大导致源液存储设备131崩瓶。

在本申请实施例中，管道开关阀121包括气动阀，控制阀122包括电磁阀。

具体地，一个电磁阀可以通过三通管道与同一输送管道上的两个气动阀连接，电磁阀在接收到电信号时通过释放压缩气体控制两个气动阀的通断状态。

在本申请实施例中，气路管道可以包括多个电磁阀，采用一个电磁阀通过同一输送管道上的气动阀，控制不同输送管道的通断状态。

请再次参照图3，源温控制系统130还可以包括用于使源液存储设备131中的源液维持在设定温度的源温控制器(图中未示出)、以及设置在三氯乙烯源液中的温度传感器(图中未示出)。

温度传感器与源温控制器连接，用于将检测的源液温度反馈给源温控制器，以便源温控制器根据反馈的源液温度控制源液维持在设定温度。

请参照图4，在本申请实施例中，三氯乙烯自动通源控制系统10还可以包括：与控制阀122电性连接的控制终端140，控制终端140通过发送电信号控制该控制阀122的工作状态。具体地，控制终端140可以通过有线方式与控制阀122电性连接，也可以通过无线通信的方式与控制阀122电性连接。

在本申请实施例中，控制终端140上可以预先配置软件程序，通过软件程序发送电信号控制对应的控制阀122，比如，配置的软件程序可以检测各个扩散炉中做片过程，在检测到某一扩散炉需要对炉内的管道进行干洗时，控制终端140通过该软件程序控制为该扩散炉提供三氯乙烯源液的输送管路导通。同时，在管道干洗完成后控制为该扩散炉提供三氯乙烯源液的输送管路关闭。

可以理解的是，在本申请实施例中，三氯乙烯自动通源控制系统10可以同时控制多路输送管路导通，同时为多个扩散炉进行管道干洗，确保做片质量。

在本申请实施例中，控制终端140还可以包括显示屏(图中未示出)，显示屏用于显示控制阀的工作状态和/或控制阀控制的管道开关阀的通断状态。通过显示屏显示，可以方便扩散操作人员即时了解现场信息。

综上所述，本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统，通过对气路管道进行设计，采用多路输送管道共用同一套源温控制系统，同时借助于气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，以使得采用同一套源温控制系统通过不同路输送管道为不同栋扩散炉提供三氯乙烯源液。上述方案，一方面只需一套源温控制系统即可实现多栋扩散炉的三氯乙烯源液供给，节省购买多套源温控制系统的生产成本；另一方面，通过气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，实现多路三氯乙烯源液输送的自动化控制，避免人工来回拆卸或连接气路管线可能引起的安全事故，确保生产安全。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，包括：气路管道、气路控制组件及一套源温控制系统；

所述源温控制系统包括用于存储三氯乙烯源液的源液存储设备；

所述气路管道包括输入主管道、输出主管道及至少两路输送管道，每路输送管道均包括输入管道及输出管道，所述每路输送管道的输入管道连通于外接气源与所述输入主管道之间，所述输入主管道伸入所述源液存储设备的三氯乙烯源液中；

所述输出主管路与所述源液存储设备的内部空间连通，所述每路输送管道的输出管道连通于所述输出主管路与外部扩散炉的待干洗管道之间；

所述气路控制组件包括管道开关阀及用于控制所述管道开关阀工作状态的控制阀，所述管道开关阀设置在每路所述输送管道的输入管道和输出管道上，用于控制所述输入管道和输出管道的通断状态。

2.如权利要求1所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述气路控制组件还包括用于控制管道气体流量的气体流量控制器，所述气体流量控制器设置在每路所述输送管道的输入管道上。

3.如权利要求2所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述气体流量控制器包括浮子流量计。

4.如权利要求1所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述气路控制组件还包括单向阀，所述单向阀设置在每路所述输送管道的输入管道上，用于控制所述输入管道单方向导通。

5.如权利要求1所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述气路管道还包括卸压管道支路，所述卸压管道支路与所述输出主管道连通；

所述气路控制组件还包括卸压阀，所述卸压阀设置在所述卸压管道支路上，所述卸压阀在所述气路管道中的压强大于预设压强阈值时打开，对所述气路管道进行卸压。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述管道开关阀包括气动阀，所述控制阀包括电磁阀；

所述电磁阀通过三通管道与同一输送管道上的两个所述气动阀连接，所述电磁阀在接收到电信号时通过释放压缩气体控制两个所述气动阀的通断状态。

7.如权利要求6所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述源温控制系统还包括用于使所述源液存储设备中的源液维持在设定温度的源温控制器、以及设置在所述源液中的温度传感器；

所述温度传感器与所述源温控制器连接，用于将检测的源液温度反馈给所述源温控制器，使所述源温控制器根据反馈的源液温度控制所述源液维持在设定温度。

8.如权利要求7所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述气源为氮气源。

9.如权利要求8所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述三氯乙烯自动通源控制系统还包括：与所述控制阀电性连接的控制终端，所述控制终端通过发送电信号控制所述控制阀的工作状态。

10.如权利要求9所述的三氯乙烯自动通源控制系统，其特征在于，所述控制终端还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述控制阀的工作状态和/或所述控制阀控制的管道开关阀的通断状态。

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