CN220891877U - 一种气体输送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种气体输送装置，包括输送管道及控制元件；其中，输送管道上设有进气口、出气口以及与进气口及出气口连通的输送流道；控制元件设于输送管道上，控制元件用于控制输送流道是否输送气体；输送管道上设有限流元件，限流元件上设有与输送流道连通的调节孔，调节孔用于在输送流道输送气体时，对所输送气体的流量进行调节。本申请中，通过改变限流元件上调节孔的孔径大小，即可实现对输送流道所输送气体的流量进行调节。相比于现有技术，此种调节方式调节范围更广，能够满足多样化的气体流量需求。同时，此种调节方式成本较低，降低了气体输送装置的制造成本。

Description

一种气体输送装置

技术领域

本申请涉及气体输送技术领域，具体而言，涉及一种气体输送装置。

背景技术

目前，制造半导体产品时通常会使用气体输送装置输送惰性气体。其中，在使用气体输送装置输送气体时需对所输送气体的流量进行控制。现有技术中，通常会使用流量计对气体输送装置所输送气体的流量进行控制。

然而，流量计对气体流量的调节范围较小，无法满足多样化的流量需求。同时，流量计的成本较高，增加了气体输送装置的制造成本。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种气体输送装置，其能够满足多样化的气体流量需求。

本申请的实施例是这样实现的：

本申请提供一种气体输送装置，包括输送管道及控制元件；其中，输送管道上设有进气口、出气口以及与进气口及出气口连通的输送流道；控制元件设于输送管道上，控制元件用于控制输送流道是否输送气体；输送管道上设有限流元件，限流元件上设有与输送流道连通的调节孔，调节孔用于在输送流道输送气体时，对所输送气体的流量进行调节。

于一实施例中，限流元件为圆环形垫片。

于一实施例中，输送管道包括多个连接管道，每个限流元件夹设在相邻两个连接管道之间。

于一实施例中，调节孔的孔径为0.2～1mm。

于一实施例中，限流元件的厚度为0.1～6mm。

于一实施例中，气体输送装置还包括调压元件；其中，调压元件设于输送管道上，调压元件用于在输送流道输送气体时，对所输送气体的压力进行调节。

于一实施例中，气体输送装置还包括监测元件；其中，监测元件设于输送管道上且与调压元件连接，监测元件用于在输送流道输送气体时，对所输送气体的压力进行监测。

于一实施例中，控制元件包括多个阀体。

于一实施例中，控制元件包括第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体、第五阀体、第六阀体及单向阀；进气口包括第一进气口及第二进气口，出气口包括第一出气口及第二出气口；其中，第一阀体的进气端与第一进气口连通，第一阀体的出气端与第一出气口连通；第三阀体的进气端与第一进气口连通，第三阀体的出气端与第二阀体的进气端及第四阀体的进气端连通；第二阀体的出气端与第一出气口连通；单向阀的进气端与第四阀体的出气端连通，单向阀的出气端与第二出气口连通；调压元件的进气端与第二进气口连通，调压元件的出气端与第一进气口连通；第五阀体的进气端与第二进气口连通，第五阀体的出气端与第二出气口连通；第六阀体的进气端与第二进气口连通，第六阀体的出气端与第二出气口连通。

于一实施例中，限流元件包括第一限流元件及第二限流元件；其中；第一限流元件靠近于第一阀体的出气端；第二限流元件靠近于第三阀体的出气端。

本申请与现有技术相比的有益效果是：本申请提供一种气体输送装置，包括输送管道及控制元件，输送管道上设有进气口、出气口以及与进气口及出气口连通的输送流道；控制元件设于输送管道上，控制元件用于控制输送管道是否输送气体；输送管道上设有限流元件，限流元件上设有与输送流道连通的调节孔，调节孔用于在输送流道输送气体时，对所输送气体的流量进行调节。具体的，通过改变限流元件上调节孔的孔径大小，即可实现对输送流道所输送气体的流量进行调节。

通过上述内容可以看出，本申请中，通过改变限流元件上调节孔的孔径大小，即可实现对输送流道所输送气体的流量进行调节。相比于现有技术，此种调节方式调节范围更广，能够满足多样化的气体流量需求。同时，此种调节方式成本较低，降低了气体输送装置的制造成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请第一实施例示出的气体输送装置的结构示意图；

图2为本申请一实施例示出的限流元件的结构示意图；

图3为本申请第二实施例示出的气体输送装置的结构示意图；

图4为本申请第三实施例示出的气体输送装置的结构示意图。

附图标记：

1-气体输送装置；10-输送管道；11-连接管道；110-进气口；111-第一进气口；112-第二进气口；120-出气口；121-第一出气口；122-第二出气口；130-输送流道；20-控制元件；210-第一阀体；220-第二阀体；230-第三阀体；240-第四阀体；250-第五阀体；260-第六阀体；270-单向阀；30-限流元件；31-第一限流元件；32-第二限流元件；310-调节孔；40-调压元件；50-监测元件。

具体实施方式

术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“左”、“右”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参照图1，其为本申请第一实施例示出的气体输送装置1的结构示意图。本实施例中的气体输送装置1用于在制造半导体时，输送惰性气体。如图1所示，本实施例中的气体输送装置1包括输送管道10以及控制元件20；其中，输送管道10上设有进气口110、出气口120以及与进气口110及出气口120连通的输送流道130；控制元件20设于输送管道10上，控制元件20用于控制输送流道130是否输送气体，具体的，控制元件20具有工作状态及非工作状态，当控制元件20处于工作状态时，输送流道130与进气口110及出气口120连通，输送流道130输送气体；当控制元件20处于非工作状态时，输送流道130与进气口110及出气口120不连通，输送流道130停止输送气体。

另外，本实施例中的气体输送装置1还包括限流元件30；限流元件30设于输送管道10上，且限流元件30上设有与输送流道130连通的调节孔310，调节孔310用于在输送流道130输送气体时，对所输送气体的流量进行调节。具体的，可以通过改变限流元件30上调节孔310的孔径大小，对输送流道130所输送气体的流量进行调节。

请参照图2，其为本申请一实施例示出的限流元件30的结构示意图。如图2所示，限流元件30可以为圆环形垫片。示例性的，调节孔310的孔径可以为0.2mm～1mm；限流元件30的厚度可以为0.1～6mm。输送管道10由多个连接管道11组成，实际在安装限流元件30时，将限流元件30夹设在两个连接管道11之间即可。

实际中，当需要使用气体输送装置1输送气体时，将控制元件20切换为工作状态，切换成功后气体由进气口110流入输送流道130，并经由输送流道130由出气口120流出；其中，在上述输送气体的过程中，气体的输出流量由调节孔310的孔径大小决定；调节孔310的孔径越小，气体的输出流量越小；调节孔310的孔径越大，气体的输出流量越大。当需要气体输送装置1停止输送气体时，将控制元件20切换为非工作状态，切换成功后气体输送装置1即停止输送气体。

通过上述内容可以看出，本申请中，通过改变限流元件30上调节孔310的孔径大小，即可实现对输送流道130所输送气体的流量进行调节。相比于现有技术，通过流量计对气体流量进行调节，此种调节方式调节范围更广，能够满足多样化的气体流量需求。同时，此种调节方式成本较低，降低了气体输送装置1的制造成本。

进一步的，现有技术中，使用流量计对气体流量进行调节时，所需要的气体流量可能会超出流量计的调节范围，此时需要重新采购流量计，然而，这影响了半导体产品的生产进度。本申请中，可以提前定制多个限流元件30，实际中根据所需要的气体流量选择对应的限流元件30即可，此种方式有效保证了半导体产品的生产进度。

进一步的，现有技术中，在使用流量计对气体流量进行调节时，流量计容易堵塞，这增加了对气体输送装置1的维护成本。本申请中通过使用限流元件30对气体流量进行调节，有效减少了堵塞情况的发生，降低了对气体输送装置1的维护成本。

进一步的，温度等环境因素对流量计影响较大，在上述影响下流量计的调节误差较大。本申请中的调节方式能够有效避免环境因素的影响，充分保证调节精度。

最后，在使用流量计对气体流量进行调节前，需先将流量计安装在气体输送装置1上。然而，每个厂家的流量计长度及安装方式均存在不同，这使得在进行安装时通用性较差。然而，本申请中可以采用同一安装方式将限流元件30安装在气体输送装置1上，安装通用性较强。

请参照图3，其为本申请第二实施例示出的气体输送装置1的结构示意图。请参照图4，其为本申请第三实施例示出的气体输送装置1的结构示意图。如图3及图4所示，本实施例中，气体输送装置1还包括还包括调压元件40及监测元件50；其中，调压元件40设于输送管道10上，调压元件40用于在输送流道130输送气体时，对所输送气体的压力进行调节，示例性的，调压元件40可以为调压阀；监测元件50设于输送管道10上且与调压元件40连接，监测元件50用于在输送流道130输送气体时，对所输送气体的压力进行监测。

在一实施例中，如图3及图4所示，进气口110包括第一进气口111及第二进气口112，出气口120包括第一出气口121及第二出气口122。控制元件20包括多个阀体；具体的，控制元件20可以包括第一阀体210、第二阀体220、第三阀体230、第四阀体240、第五阀体250、第六阀体260及单向阀270。示例性的，第一阀体210、第二阀体220、第三阀体230、第四阀体240、第五阀体250以及第六阀体260可以为电磁阀。

控制元件20、监测元件50及调压元件40在气体输送装置1中的连接方式为：

第一阀体210的进气端与第一进气口111连通，第一阀体210的出气端与第一出气口121连通；第三阀体230的进气端与第一进气口111连通，第三阀体230的出气端与第二阀体220的进气端及第四阀体240的进气端连通；第二阀体220的出气端与第一出气口121连通；单向阀270的进气端与第四阀体240的出气端连通，单向阀270的出气端与第二出气口122连通；调压元件40的进气端与第二进气口112连通，调压元件40的出气端与第一进气口111连通；第五阀体250的进气端与第二进气口112连通，第五阀体250的出气端与第二出气口122连通；第六阀体260的进气端与第二进气口112连通，第六阀体260的出气端与第二出气口122连通。

在一实施例中，如图3及图4所示，限流元件30包括第一限流元件31及第二限流元件32；其中；第一限流元件31靠近于第一阀体210的出气端；第二限流元件32靠近于第三阀体230的出气端。第一限流元件31上设有第一限流孔，第二限流元件32上设有第二限流孔，第一限流孔的孔径大小与第二限流孔的孔径大小不同。

如图3所示，图3中每个阀体旁边示意有相应的箭头。阀体的出气端靠近于箭头的头部；阀体的进气端靠近于箭头的尾部。输送管道10包括多个连接管道11，上述阀体、监测元件50及调压元件40的进气端可以先固定在连接管道11上，之后通过连接管道11与相应的器件连接；上述阀体、监测元件50及调压元件40的出气端可以先固定在连接管道11上，之后通过相应的连接管道11与对应的器件连接。在控制元件20、监测元件50及调压元件40通过上述方式连接成功后，输送管道10被成功搭建，气体输送装置1也被搭建成功。每个连接管道11内均设有长条形的通孔，在控制元件20、监测元件50及调压元件40通过上述方式连接成功后，多个长条形的孔相对接形成输送流道130。

在一实施例中，如图3及图4所示，在气体输送装置1被搭建成功后，可以形成多条输送流道130，每个控制元件20均能够控制其所在的输送流道130是否导通。示例性的，如图3及图4所示，当将第一阀体210切换为工作状态时，第一阀体210所在的输送流道130被导通，此时气体可由第一进气口111进入到第一阀体210所在的输送流道130中，之后经由第一出气口121流出。其中，在上述输送气体的过程中，气体的输出流量由第一调节孔310的孔径大小决定。示例性的，当将第三阀体230、第四阀体240以及单向阀270切换为工作状态时，上述阀体所在的输送流道130被导通；此时气体可由第一进气口111进入到上述阀体所在的输送流道130中，之后经由第二出气口122流出。其中，在上述输送气体的过程中，气体的输出流量由第二调节孔310的孔径大小决定。

实际中，在使用气体输送装置1输送气体时，根据所需要的流量大小，控制相应的输送流道130导通。输送流道130导通后，气体输送装置1通过输送流道130对相应流量的气体进行输送，输送过程中，调压元件40对所输送气体的压力进行调节，同时，监测元件50对所输送气体的压力进行监测，当监测到气体压力过大时，监测元件50可以进行报警处理。不断执行上述过程，直至完成气体输送操作。

通过上述内容可以看出，本实施例中的气体输送装置1，能够实现输出不同压力以及不同流量的气体。同时，本实施例中的气体输送装置1，能够实时监测所输送气体的压力大小，并在压力过大时进行报警处理。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种气体输送装置，其特征在于，包括：

输送管道，所述输送管道上设有进气口、出气口以及与所述进气口及所述出气口连通的输送流道；

控制元件，所述控制元件设于所述输送管道上，所述控制元件用于控制所述输送流道是否输送气体；

其中，所述输送管道上设有限流元件，所述限流元件上设有与所述输送流道连通的调节孔，所述调节孔用于在所述输送流道输送气体时，对所输送气体的流量进行调节。

2.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述限流元件为圆环形垫片。

3.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述输送管道包括多个连接管道，每个所述限流元件夹设在相邻两个连接管道之间。

4.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述调节孔的孔径为0.2～1mm。

5.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述限流元件的厚度为0.1～6mm。

6.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述气体输送装置还包括：

调压元件，所述调压元件设于所述输送管道上，所述调压元件用于在所述输送流道输送气体时，对所输送气体的压力进行调节。

7.根据权利要求6所述的气体输送装置，其特征在于，所述气体输送装置还包括：

监测元件，所述监测元件设于所述输送管道上且与所述调压元件连接，所述监测元件用于在所述输送流道输送气体时，对所输送气体的压力进行监测。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的气体输送装置，其特征在于，所述控制元件包括多个阀体。

9.根据权利要求7所述的气体输送装置，其特征在于，所述控制元件包括第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体、第五阀体、第六阀体及单向阀；

所述进气口包括第一进气口及第二进气口，所述出气口包括第一出气口及第二出气口；

其中，所述第一阀体的进气端与所述第一进气口连通，所述第一阀体的出气端与所述第一出气口连通；

所述第三阀体的进气端与所述第一进气口连通，所述第三阀体的出气端与所述第二阀体的进气端及所述第四阀体的进气端连通；

所述第二阀体的出气端与所述第一出气口连通；

所述单向阀的进气端与所述第四阀体的出气端连通，所述单向阀的出气端与所述第二出气口连通；

所述调压元件的进气端与所述第二进气口连通，所述调压元件的出气端与所述第一进气口连通；

所述第五阀体的进气端与所述第二进气口连通，所述第五阀体的出气端与所述第二出气口连通；

所述第六阀体的进气端与所述第二进气口连通，所述第六阀体的出气端与所述第二出气口连通。

10.根据权利要求9所述的气体输送装置，其特征在于，所述限流元件包括第一限流元件及第二限流元件，所述第一限流元件靠近于所述第一阀体的出气端；所述第二限流元件靠近于所述第三阀体的出气端。