CN211761469U - 一种制作靶材所用钢模的存放架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽；所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。所述存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。

Description

一种制作靶材所用钢模的存放架

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种模具存放架，尤其涉及一种制作靶材所用钢模的存放架。

背景技术

溅射靶材是制造半导体芯片所必须的一种极其重要的关键材料，利用其制作器件的原理为采用物理气相沉积技术，用高压加速气态离子轰击靶材，使靶材的原子被溅射出来，以薄膜的形式沉积在硅片上，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。

溅射靶材具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势。靶材的晶粒尺寸、晶粒取向对集成电路金属薄膜的制备以及性能存在着很大的影响，主要表现为：随着晶粒尺寸的增加，薄膜沉积速率趋于降低；在合适的晶粒尺寸范围内，靶材使用时的等离子体阻抗降低，薄膜沉积速率高且薄膜厚度均匀性好。因此，需要严格控制靶材制作时的工艺条件。

以钼靶材为例，钼金属具有高熔点、高电导率、较低的比阻抗以及较好的耐磨腐蚀性和环保型等特点，钼靶材制作过程需要胶套与钢模配套使用。

CN 110256080 A公开了一种硒化铟靶材的制作模具以及制备方法；模具包括上方开口且中空的外模和上封盖，外模形成一圆筒形的装料空间，上封盖包括与外模盖合的盖面和自盖面向上凸伸的封盖柄，封盖柄上开设有真空抽气孔，还包括设于外模内的若干石墨纸和支撑片；制备方法为：将原料硒化铟粉体放置于模具中，将粉体压实；将装好粉料的模具置于真空烧结炉内进行真空烧结；真空烧结后将模具从真空烧结炉取出，热等静压处理后得到靶材。

CN 207386557 U公开了一种钼靶材生产用新型等静压模具，包括刚性模外套、软质内模套和软模盖，软质内模套位于刚性模外套的内腔中，软模盖将软质内模套的上端口封闭。刚性模外套、软质内模套和软模盖的密封口处依次叠加，通过刚性模盖及紧固件密封。

随着磁控溅射领域对靶材的要求不断提高，制作靶材所用的胶套以及钢模的数量与重量也随之增加。现有技术中的模具存放架中，钢模需要竖直堆叠设置，上层钢模中的油分容易污染下层钢模，而下层钢模流出的油分则容易滴落至底面造成人员容易滑倒的安全隐患。而且存放架高层的搬运难度较高，钢模存取过程中容易导致安全事故的发生。

例如CN 207256206 U公开的一种模具放置架，包括放置架主体、固定槽、档板和电动伸缩杆，所述放置架主体的两侧内部设置有滑槽，滑块上设置有固定孔，固定槽的外侧与凹槽相连接，连接架的内侧设置有凹槽，且凹槽的内部穿插有支撑架，所述支撑架的前侧和后侧分别设置固定杆和固定架，档板的底端设置有合页，电动伸缩杆的始端设置有转轴，且转轴的一侧连接有固定环。CN 208593011 U公开了一种方便拆卸的注塑模胚模具用烘干架，包括架体、放置板和凹槽，架体的底部与底部之间为焊接一体结构，底板的底部通过轴承与底座相连接，放置板设置在预留槽的内部上方，且放置板的顶端固定有橡胶凸块，预留槽的下方与拉扯抽板相贯穿，拉扯抽板的下方设置有电热丝。

上述架体结构均存在高层不易防止钢模，且钢模内的油分无法有效控制的缺陷；对此，提供一种钢模取用方便快捷、整体利用率高，且便于钢模控油的制作靶材所用钢模的存放架，有利于消除钢模存取时给技术人员带来的安全隐患。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种制作靶材所用钢模的存放架，所述存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽。

所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。

本实用新型通过两个相邻的倒凵形限位件与镂空基板围成“凹形”结构，通过将钢模放置于“凹形”结构的凹口内达到使钢模稳定放置的目的。通过镂空基板能够使钢模留下的油滴穿过基板，流入存放架主体下方的机油槽内，从而避免了油滴对地面的污染。

本实用新型所述倒凵形限位件与镂空基板的连接方式包括焊接、螺纹连接或卡扣连接中的任意一种；考虑到钢模的重量以及所述存放架的使用寿命，所述倒凵形限位件与镂空基板的连接方式优选为焊接。

为了保证所述存放架具有足够的结构强度，所述倒凵形限位件由方钢组成，本实用新型不对方钢组成倒凵形限位件的方法做具体限定，本领域技术人员能够根据工艺需要进行合理地选择。

优选地，所述镂空基板为镂空钢板。

优选地，所述镂空基板为长方形镂空基板，长方形镂空基板的长边方向与倒凵形限位件所在平面垂直。

由于现有技术中钢模的形状多为立方体形，例如CN 207386557U公开的钼靶材生产用新型等静压模具。为了提高本实用新型所述存放架的空间利用率，且便于钢模的存取，本实用新型使长方形镂空基板的长度方向与倒凵形限位件所在平面垂直。

优选地，所述长方形镂空基板沿长度方向设置有至少一根加强件，例如可以是1根、2根、3根、4根、5根、6根、7根、8根、9根、10根、15根或20根，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

所述长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件，例如可以是1根、2根、3根、4根、5根、6根、7根、8根、9根、10根、15根或20根，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，在相邻两个倒凵形限位件与镂空基板形成的凹口内，沿长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件。

本实用新型所述加强件包括钢筋和/或方钢，在长方形镂空基板长度和/或宽度方向设置加强件的方法为焊接。

优选地，本实用新型所述第一支撑件设置于镂空基板，设置方法包括螺纹连接、焊接或卡扣连接中的任意一种。

本实用新型通过第一支撑件的设置，使集油槽能够设置于存放架主体的下方。同时，沿镂空基板长度与宽度方向设置的加强件能够保证镂空基板的强度，使其能够长时间负载钢模。

优选地，所述第一支撑件为方钢制成的第一支撑件，所述第一支撑件具有统一的高度，以保证钢模能够平稳放置。

优选地，相邻两个所述倒凵形限位件的两侧分别独立地连接有第二支撑件。

本实用新型通过第二支撑件的设置，使第二支撑件起到“护栏”的作用，使放置于存放架的钢模不会在镂空基板的宽度方向发生侧滑，从而保证了钢模在镂空基板上的平稳放置。

本实用新型相邻两个倒凵形限位件所在平面的距离根据所需放置钢模的厚度进行合理地设置，本实用新型在此不做具体的限定，本领域技术人员能够根据需存放钢模的实际大小进行合理地设置。

优选地，所述长方形镂空基板的长度为3900-4100mm，例如可以是3900mm、3950mm、4000mm、4050mm或4100mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；宽度为600-660mm，例如可以是600mm、610mm、620mm、630mm、640mm、650mm或660mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

优选地，所述倒凵形限位件的高度为1000-1200mm，例如可以是1000mm、1050mm、1100mm、1150mm或1200mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；长度为600-660mm，例如可以是600mm、610mm、620mm、630mm、640mm、650mm或660mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；宽度为210-240mm，例如可以是210mm、220mm、230mm或240mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

本实用新型所述倒凵形限位件的长度为倒凵形限位件沿镂空基板宽度方向的长度；所述倒凵形限位件的宽度为倒凵形限位件沿镂空基板长度方向的厚度。

优选地，所述集油槽为长方形集油槽。

本实用新型所述集油槽的作用为收集由镂空基板流下的油滴，为了便于长方形集油槽在存放架主体下部的放置，所述集油槽的长度不超过镂空基板的长度，集油槽的宽度不超过镂空基板的宽度；同时，为了保证集油槽的集油效果，本实用新型所述集油槽能够将由镂空基板流下的油滴全部收集。本领域技术人员能够根据需要合理地设置集油槽的长度与宽度，本实用新型在此不做具体限定。

优选地，所述长方形集油槽沿长度方向一侧设置有第一脚轮，另一侧设置有第二脚轮。

优选地，所述第一脚轮的直径小于第二脚轮的直径，使所述长方形集油槽第一脚轮侧的高度低于第二脚轮侧的高度。

优选地，所述长方形集油槽相对较低一侧的底部设置有放油阀。

优选地，所述存放架主体还包括至少1个电磁铁固定装置，所述电磁铁固定装置与镂空基板连接。

本实用新型所述电磁铁固定装置为本领域常规的电磁铁，本实用新型不对电磁铁的型号参数做具体限定，本领域技术人员能够根据镂空基板的长度、宽度以及厚度进行合理地选择。所述电磁铁使用外部电源，当存放钢模时电磁铁通电，利用电磁铁将钢模固定于镂空基板；当需要将钢模取出时，使电磁铁断电，从而便于电磁铁与镂空基板的分离。

作为本实用新型的优选技术方案，所述镂空基板为镂空钢板，而且镂空钢板上还设置有加强件，当电磁铁通电时，镂空钢板与加强件都能够加强电磁铁的固定效果。

本实用新型所述电磁铁固定装置与镂空基板连接，只要使电磁铁不影响油滴流入至集油槽即可，本领域技术人员能够根据镂空基板的尺寸对电磁铁固定装置的安装位置以及数量进行合理地选择，本实用新型不做过多限定。

所述系统是指设备系统、装置系统或生产装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的制作靶材所用钢模的存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。

附图说明

图1为实施例1提供的制作靶材所用钢模的存放架的存放架主体的结构示意图；

图2为实施例1提供的制作靶材所用钢模的存放架的集油槽的结构示意图；

图3为实施例4提供的制作靶材所用钢模的存放架的存放架主体的结构示意图；

图4为实施例4提供的制作靶材所用钢模的存放架的集油槽的结构示意图；

图5为实施例5提供的制作靶材所用钢模的存放架的存放架主体的结构示意图；

其中：1，镂空钢板；2，倒凵形限位件；3，第一支撑件；4，第二支撑件；51，第一脚轮；52，第二脚轮；6，电磁铁。

具体实施方式

需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例1

本实施例提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽，其中存放架主体的结构示意图如图1所示，所述集油槽的结构示意图如图2所示。

所述存放架主体包括长方形镂空钢板1、焊接于镂空钢板1上表面的多个倒凵形限位件2以及焊接于镂空钢板1下表面的四个方钢第一支撑件3。所述倒凵形限位件2由方钢组成；四个方钢第一支撑件3的高度相同，且分别焊接于镂空钢板1下表面的四个角。

相邻两个所述倒凵形限位件2所在平面相互平行，长方形镂空钢板1的长边方向与倒凵形限位件2所在平面垂直。

所述长方形镂空钢板1沿长度方向均匀焊接有至少一根钢筋；在相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，沿长方形镂空钢板1沿宽度方向焊接有至少一根钢筋。

所述长方形镂空钢板1的长度为4000mm，宽度为630mm；所述倒凵形限位件2的高度为1100mm、长度为630mm且宽度为230mm。

所述集油槽为长方形集油槽，材质为铸铁，所述长方形集油槽沿长度方向一侧设置有第一脚轮51，另一侧设置有第二脚轮52，第一脚轮51与第二脚轮52的型号相同。

应用本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架时，钢模放置于相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，钢模流下的油滴流经镂空钢板1的孔洞后流入集油槽。

实施例2

本实施例提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽。

所述存放架主体包括长方形镂空钢板1、螺纹连接于镂空钢板1上表面的多个倒凵形限位件2以及焊接于镂空钢板1下表面的四个方钢第一支撑件3。所述倒凵形限位件2由方钢组成；四个方钢第一支撑件3的高度相同，且分别螺纹连接于镂空钢板1下表面的四个角。

相邻两个所述倒凵形限位件2所在平面相互平行，长方形镂空钢板1的长边方向与倒凵形限位件2所在平面垂直。

所述长方形镂空钢板1沿长度方向均匀焊接有至少一根钢筋；在相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，沿长方形镂空钢板1沿宽度方向焊接有至少一根钢筋。

所述长方形镂空钢板1的长度为3900mm，宽度为600mm；所述倒凵形限位件2的高度为1000mm、长度为600mm且宽度为210mm。

所述集油槽为长方形集油槽，材质为不锈钢，所述长方形集油槽沿长度方向一侧设置有第一脚轮51，另一侧设置有第二脚轮52，第一脚轮51与第二脚轮52的型号相同。

应用本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架时，钢模放置于相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，钢模流下的油滴流经镂空钢板1的孔洞后流入集油槽。

实施例3

本实施例提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽。

所述存放架主体包括长方形镂空钢板1、螺纹连接于镂空钢板1上表面的多个倒凵形限位件2以及焊接于镂空钢板1下表面的六个方钢第一支撑件3。所述倒凵形限位件2由方钢组成；六个方钢第一支撑件3的高度相同，四个方钢分别焊接于镂空钢板1下表面的四个角，两个方刚焊接于存放架主体长度方向两侧的中部。

相邻两个所述倒凵形限位件2所在平面相互平行，长方形镂空钢板1的长边方向与倒凵形限位件2所在平面垂直。

所述长方形镂空钢板1沿长度方向均匀焊接有至少一根钢筋；在相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，沿长方形镂空钢板1沿宽度方向焊接有至少一根钢筋。

所述长方形镂空钢板1的长度为4100mm，宽度为660mm；所述倒凵形限位件2的高度为1200mm、长度为660mm且宽度为240mm。

所述集油槽为长方形集油槽，材质为不锈钢，所述长方形集油槽沿长度方向一侧设置有第一脚轮51，另一侧设置有第二脚轮52，第一脚轮51与第二脚轮52的型号相同。

应用本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架时，钢模放置于相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，钢模流下的油滴流经镂空钢板1的孔洞后流入集油槽。

实施例4

本实施例提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽，其中存放架主体的结构示意图如图3所示，所述集油槽的结构示意图如图4所示。

与实施例1相比，本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架的倒凵形限位件2的两侧设置有方钢第二支撑件4。第二支撑件4起到“护栏”的作用，使放置于存放架的钢模不会在镂空基板的宽度方向发生侧滑，从而保证了钢模在镂空基板上的平稳放置。

此外，与实施例1相比，本实施例中的第一脚轮51侧的高度低于第二脚轮52侧的高度。长方形集油槽相对较低一侧的底部设置有放油阀。

应用本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架时，钢模放置于相邻两个倒凵形限位件2与镂空钢板1形成的凹口内，钢模流下的油滴流经镂空钢板1的孔洞后流入集油槽，集油槽内的油通过放油阀外排。

实施例5

本实施例提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，与实施例1相比，所述存放架主体的四个侧面内部还设置有电磁铁6。

应用本实施例提供的制作靶材所用钢模的存放架时，当钢模放置于凹口内使，使电磁铁6通电，利用电磁铁6的磁性固定钢模；当需要取出钢模时，使电磁铁6断电，从而使钢模能够稳定存放。

综上所述，本实用新型提供的制作靶材所用钢模的存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。

申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (11)

1.一种制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽；

所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。

2.根据权利要求1所述制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述镂空基板为长方形镂空基板，长方形镂空基板的长边方向与倒凵形限位件所在平面垂直。

3.根据权利要求2所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形镂空基板沿长度方向设置有至少一根加强件；

所述长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件。

4.根据权利要求2或3所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，相邻两个所述倒凵形限位件的两侧分别独立地连接有第二支撑件。

5.根据权利要求2或3所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形镂空基板的长度为3900-4100mm，宽度为600-660mm。

6.根据权利要求5所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述倒凵形限位件的高度为1000-1200mm，长度为600-660mm，宽度为210-240mm。

7.根据权利要求2所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述集油槽为长方形集油槽。

8.根据权利要求7所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形集油槽沿长度方向一侧设置有第一脚轮，另一侧设置有第二脚轮。

9.根据权利要求8所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述第一脚轮的直径小于第二脚轮的直径，使所述长方形集油槽第一脚轮侧的高度低于第二脚轮侧的高度。

10.根据权利要求9所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形集油槽相对较低一侧的底部设置有放油阀。

11.根据权利要求1所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述存放架主体还包括至少1个电磁铁固定装置，所述电磁铁固定装置与镂空基板连接。

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