CN203401241U - 焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，包括支架（1）、若干高度呈阶梯状分布地设置在支架上的垫块（2）、叠放在高度呈阶梯状分布的垫块组上的隔热板（3）、安装在隔热板上的加热板（4）及穿过隔热板连接于加热板底部的加热单元（5）。本实用新型通过在支架上增设一系列高度呈阶梯状递增或递减排列的垫块，从而使安装于其上的隔热板与加热板具有一定的斜度，更加有利于焊靶过程中回收多余的焊料，显著节约了生产成本并降低了工人的劳动强度、提高了生产效率。

Description

焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台

技术领域

本实用新型公开一种焊接平台，属于溅射镀膜工艺工装技术领域，尤其是涉及一种结构简单合理、可有效回收多余焊料、节约生产成本的用于焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，特别适用于ITO导电玻璃前序生产流程中。

背景技术

溅射镀膜工艺，是指在溅射机真空室中，利用荷能粒子轰击某一材料表面，使其原子获得足够的能量而溅出进入气相，然后在所欲镀膜的工件表面沉积的过程，其中，被轰击的材料称为靶材，而承载靶材的板件则称为基板，一般需要先将靶材焊接在基板上，然后再送入真空溅镀机进行溅镀。以ITO导电玻璃的生产为例，需要在焊靶台上先将铜基板焊上若干ITO块（氧化铟锡块），再送入真空溅镀机对玻璃进行溅射镀膜。然而，现有的焊靶台普遍强度不足、支撑力差、容易变形，且无法有效回收焊接过程中多余的焊料，从而造成极大的浪费、抬高了生产成本。

中国专利CN202684369U公开了一种焊靶台，包括靶台舱、与所述靶台舱固定连接的支架及设置于靶台舱内的加热系统，通过将基板及焊料安装在靶台舱内并进行温控加热从而完成焊接操作。然而，该技术方案尚存在如下缺陷：其无法有效回收焊接过程中靶台舱内多余的焊料，从而使其白白氧化，造成极大的浪费。

中国专利CN202736240U公开了一种用于焊接靶材与背板的焊接平台，包括具有一支撑面的底座、平铺于所述支撑面上的隔热板及平铺于所述隔热板上的加热板，其通过在底座上设置回收槽以回收再利用焊接过程中多余的焊料，从而达到节约生产成本的目的。然而，该技术方案尚存在如下缺陷：由于隔热板及其上的加热板是平铺于底座支撑面上的，故焊接过程中多余出的焊料没有固定的流向，若仅在底座一侧设置回收槽，则很有可能有部分多余焊料从其它方向流到地面上，从而造成浪费，即便由工人手动进行导向收集，也会大大增加劳动强度与操作繁琐度，若在底座周侧都设置上回收槽，虽然解决了多余焊料回收问题，但增加了靶台生产成本，且有可能阻碍到工人的正常操作。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种结构简单合理、可有效回收多余焊料、节约生产成本的用于焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，以克服现有技术中的焊靶台无法有效回收焊接过程中的多余焊料、生产浪费严重的缺点。

为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，包括支架、设置于支架上的隔热板、安装在隔热板上的加热板及穿过隔热板连接于加热板底部的加热单元，其中，在所述支架支撑平面与所述隔热板间设有至少两块垫块，上述各垫块的高度是自支架支撑平面一侧向另一侧由低至高递增或由高至低递减，所述隔热板及其上的加热板叠放安装在上述高度呈阶梯状分布的垫块组上，从而与支架支撑平面形成一倾斜角度。

优选的，所述高度呈阶梯状分布的垫块组有两组，且其递升或递减方向正好相反，相应地设置在阶梯状垫块组上的隔热板与加热板各有两块，且其与支架支撑平面所形成的倾斜角度也正好相反。如此设置有利于两名工人同时站在支架的相对两端互不干扰地各自对一基板进行焊靶操作，且多余焊料的回收也互不影响，有效提高了焊靶工序的生产效率并提高了厂房空间及设备利用率。

具体的，所述加热单元包括加热管及热电偶。热电偶监测加热板的温度并控制加热管加热至合适的程度，从而有利于进行焊靶作业。

优选的，所述支架由槽钢拼接而成。相较于传统的圆柱脚型支撑架，承重能力更加良好且不易变形，经济实用。

优选的，所述加热板的厚度为40毫米。根据实际应用中ITO导电玻璃的生产状况，优选将加热板的厚度设计为40毫米，若设计的太厚则导热效率低、增加耗电量，进而将抬高生产成本，若设计的太薄则容易造成加热板过热变形，进而影响基板与靶材的焊接。

本实用新型通过优选在焊靶台支架上增设两组递升或递减方向相反的高度呈阶梯状排列的垫块组，从而使安装于其上的隔热板与加热板具有一定的斜度，进而使焊靶过程中多余的焊料将自动朝倾斜方向流动以便于回收，相较于传统无角度的平铺式加热板结构，本倾斜结构更加有利于焊靶过程中回收多余的焊料，显著节约了生产成本并降低了工人的劳动强度，同时因可双人同台操作，还有效提高了厂房空间及设备利用率，进而提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的立体侧视示意图；

图2为本实用新型一实施例的立体正视示意图；

图3为本实用新型一实施例的立体俯视示意图。

附图中：

1.支架        

2.垫块         

3.隔热板             

4.加热板

5.加热单元 。      

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

作为一个具体的实施例，请参阅图1至图3所示的本实用新型焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，包括支架1、垫块2、隔热板3、加热板4及加热单元5，其中：

支架1，其作为整个焊靶平台的基础，具有一支撑平面以支撑安装于其上的垫块2、隔热板3、加热板4等组件，支架1优选采用槽钢拼接而成，具有更加良好的承重能力且不易变形、外形美观、经济实用。

垫块2，其若干块为一组，自支架1支撑平面一侧向另一侧在高度上呈递增或递减的阶梯状排列，各垫块间相互间隔的距离是根据隔热板3的总长度而均匀设定的，这样可更加稳固地承载隔热板3。本较佳实施例中以最常见的立体矩形支架及矩形加热板为考量，示例性地设置了两组递升或递减方向相反的垫块组，可同时安装两块倾斜方向相反的隔热板，并后续安装两块加热板以便同时对两基板进行焊靶及回收多余焊料操作，然实际应用中并不以此为限，在支架形状及大小允许、不影响工人操作的前提下，可根据实际待焊基板、隔热板及加热板的形状设置更多组垫块组以进一步增加可同时进行焊靶操作的基板的数量，以提高工作效率及设备利用率。

隔热板3，其叠放设置于上述若干垫块2上从而具有一定的倾斜角度，且隔热板3边缘略超出支架1支撑平面边缘，隔热板3对支架1起到隔热作用，从而防止了支架1在焊靶过程中因受热而发生变形。

加热板4，其叠放安装于上述隔热板3上，从而也相对于支架1支撑平面具有一定的倾斜角度，实际使用中，将铜基板置放于倾斜的加热板4上，并在铜基板表面涂覆欲焊接的靶材材料，多余的焊料将在焊接过程中自动沿倾斜方向流动，从而可方便地完成收集以待再利用，有效地节约了生产成本。结合实际生产ITO导电玻璃的现状，优选将加热板厚度设计为40毫米较为合适。

加热单元5，包括加热管及热电偶（图中未详细标示出），其从支架1底部穿过隔热板3连接在加热板4底部上，从而对加热板4进行加热，热电偶监测加热板的温度并控制加热管加热至合适的程度，从而有利于进行焊靶作业。

以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。

Claims (4)

1.一种焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，包括支架、设置于支架上的隔热板、安装在隔热板上的加热板及穿过隔热板连接于加热板底部的加热单元，其特征在于：在所述支架支撑平面与所述隔热板间设有至少两块垫块，上述各垫块的高度是自支架支撑平面一侧向另一侧由低至高递增或由高至低递减，所述隔热板及其上的加热板叠放安装在上述高度呈阶梯状分布的垫块组上，从而与支架支撑平面形成一倾斜角度。

2.根据权利要求1所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述高度呈阶梯状分布的垫块组有两组，且其递升或递减方向正好相反，相应地设置在阶梯状垫块组上的隔热板与加热板各有两块，且其与支架支撑平面所形成的倾斜角度也正好相反。

3.根据权利要求1或2所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述加热单元包括加热管及热电偶。

4.根据权利要求1或2所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述支架由槽钢拼接而成。

5. 根据权利要求3所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述支架由槽钢拼接而成。

6. 根据权利要求4所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述加热板的厚度为40毫米。

7. 根据权利要求5所述的焊接溅镀基板与靶材的焊靶平台，其特征在于：所述加热板的厚度为40毫米。

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