CN211760339U - 一种用于硅片加工的抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。

Description

一种用于硅片加工的抛光机

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，具体是一种用于硅片加工的抛光机。

背景技术

当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机稳定性不足，且抛光速率有限，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。

因此，本领域技术人员提供了一种用于硅片加工的抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于硅片加工的抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于硅片加工的抛光机，包括底座驱动电机和上端板；所述底座的上端左侧设有左支撑杆，底座的上端右侧设有右支撑杆，且右支撑杆的上侧端部设有顶板，左支撑杆的上侧端部设有抛光液箱，且抛光液箱的右侧端部设有出液管，出液管远离抛光液箱的一侧端部设有喷头，且底座的上端中间位置设有驱动电机，驱动电机的上侧端部设有驱动杆，且驱动杆的上侧端部设有安装基座，安装基座的两端左支撑杆和右支撑杆上均设有稳固座，且稳固座靠近安装基座的一端下侧均设有与安装基座对应设置的安装板，且安装板与稳固座的一端均开设与安装基座对应设置的安装槽，且安装板的上侧端部均设有嵌设柱，安装基座的下侧两端均设有与嵌设柱对应设置的嵌设槽，且安装基座的上侧端部放置有硅片；

所述顶板的下侧端部设有上端板，且上端板的下端设有下端板，且下端板的上端右侧与上端板的连接之间设有伸缩杆，且伸缩杆的下侧端部与下端板的连接之间设有连接端，且伸缩杆的上端设有安装块，安装块的下端伸缩杆上套设有缓冲弹簧，且下端板和上端板的右端正面均设有移动腔，且下端板和上端板的内侧之间相互交叉设有第一交叉杆和第二交叉杆，第一交叉杆的上侧端部与上端板的连接之间设有第二转轴，第一交叉杆的下侧端部与下端板内部的移动腔之间设有第四转轴，第二交叉杆的上侧端部与上端板内部的移动腔之间设有第三转轴，且第二交叉杆的下侧端部与下端板的连接之间设有第一转轴，且上端板的左端中间位置设有升降气缸，且升降气缸远离升降安装转轴的一侧端部设有升降杆，且第一交叉杆和第二交叉杆的交叉之间设有交叉柱，且升降杆远离升降气缸的一侧端部与交叉柱之间固定连接，下端板的下侧端部设有连接块，且连接块的下侧端部设有与硅片对应设置的打磨盘。

作为本实用新型进一步的方案：所述出液管和喷头的下端与硅片和安装基座对应设置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述升降气缸、驱动电机和抛光液箱均与外部电源进而外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为：PIC18F4610-I/P。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一交叉杆和第二交叉杆与交叉柱的连接之间安装有交叉转轴。

作为本实用新型再进一步的方案：所述升降气缸与上端板的安装连接之间设有安装转轴。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本装置适用于多种硅片加工场合，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。

附图说明

图1为一种用于硅片加工的抛光机的结构示意图。

图2为一种用于硅片加工的抛光机A处的结构示意图。

图中：1-底座、2-左支撑杆、3-稳固座、4-安装板、5-安装槽、6-抛光液箱、7-嵌设柱、8-嵌设槽、9-出液管、10-出液头、11-安装基座、12-硅片、13-打磨盘、14-第一转轴、15-连接块、16-第二转轴、17-下端板、18-上端板、19-第一交叉杆、20-第二交叉杆、 21-第三转轴、22-第四转轴、23-移动腔、24-安装块、25-伸缩杆、26-缓冲弹簧、27-连接端、28-顶板、29-右支撑杆、30-安装转轴、31-升降气缸、32-升降杆、33-交叉柱、34- 交叉转轴、35-驱动杆、36-驱动电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种用于硅片加工的抛光机，包括底座1驱动电机36和上端板18；所述底座1的上端左侧设有左支撑杆2，底座1的上端右侧设有右支撑杆29，且右支撑杆29的上侧端部设有顶板28，左支撑杆2的上侧端部设有抛光液箱 6，且抛光液箱6的右侧端部设有出液管9，出液管9远离抛光液箱6的一侧端部设有喷头 10，且底座1的上端中间位置设有驱动电机36，驱动电机36的上侧端部设有驱动杆35，且驱动杆35的上侧端部设有安装基座11，安装基座11的两端左支撑杆2和右支撑杆29 上均设有稳固座3，且稳固座3靠近安装基座11的一端下侧均设有与安装基座11对应设置的安装板4，且安装板4与稳固座3的一端均开设与安装基座11对应设置的安装槽5，且安装板4的上侧端部均设有嵌设柱7，安装基座11的下侧两端均设有与嵌设柱7对应设置的嵌设槽8，且安装基座11的上侧端部放置有硅片12；

所述顶板28的下侧端部设有上端板18，且上端板18的下端设有下端板17，且下端板17的上端右侧与上端板18的连接之间设有伸缩杆25，且伸缩杆25的下侧端部与下端板17的连接之间设有连接端27，且伸缩杆25的上端设有安装块24，安装块24的下端伸缩杆25上套设有缓冲弹簧26，且下端板17和上端板18的右端正面均设有移动腔23，且下端板17和上端板18的内侧之间相互交叉设有第一交叉杆19和第二交叉杆20，第一交叉杆19的上侧端部与上端板18的连接之间设有第二转轴16，第一交叉杆19的下侧端部与下端板17内部的移动腔23之间设有第四转轴22，第二交叉杆20的上侧端部与上端板 18内部的移动腔23之间设有第三转轴21，且第二交叉杆20的下侧端部与下端板17的连接之间设有第一转轴14，且上端板18的左端中间位置设有升降气缸31，且升降气缸31 远离升降安装转轴30的一侧端部设有升降杆32，且第一交叉杆19和第二交叉杆20的交叉之间设有交叉柱33，且升降杆32远离升降气缸31的一侧端部与交叉柱33之间固定连接，下端板17的下侧端部设有连接块15，且连接块15的下侧端部设有与硅片12对应设置的打磨盘13。

所述出液管9和喷头10的下端与硅片12和安装基座11对应设置。

所述升降气缸31、驱动电机36和抛光液箱6均与外部电源进而外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为：PIC18F4610-I/P。

所述第一交叉杆19和第二交叉杆20与交叉柱33的连接之间安装有交叉转轴34。

所述升降气缸31与上端板18的安装连接之间设有安装转轴30。

本实用新型的工作原理是：

本实用新型涉及一种用于硅片加工的抛光机，本装置适用于多种硅片加工场合，使用时，将硅片放置在安装基座11上，在启动升降气缸32带动升降杆32向下移动，进而带动第一交叉杆19和第二交叉杆20向下移动，上端板18和下端板17不仅能够将打磨盘13 调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板17下端的打磨盘13调节到合适的位置处后，在启动驱动电机36带动安装基座11在稳固座3 上进行转动，然后硅片12自身也转动，通过稳固座3上的嵌设柱7能够使得安装基座11 稳固转动，使得硅片12在打磨盘13的下端稳定转动，便于提高硅片12打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管9和喷头10进行喷洒，在安装基座11转动的同时，能够带动硅片12沿着打磨盘13进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种用于硅片加工的抛光机，包括底座(1)驱动电机(36)和上端板(18)；其特征在于，所述底座(1)的上端左侧设有左支撑杆(2)，底座(1)的上端右侧设有右支撑杆(29)，且右支撑杆(29)的上侧端部设有顶板(28)，左支撑杆(2)的上侧端部设有抛光液箱(6)，且抛光液箱(6)的右侧端部设有出液管(9)，出液管(9)远离抛光液箱(6)的一侧端部设有喷头(10)，且底座(1)的上端中间位置设有驱动电机(36)，驱动电机(36)的上侧端部设有驱动杆(35)，且驱动杆(35)的上侧端部设有安装基座(11)，安装基座(11)的两端左支撑杆(2)和右支撑杆(29)上均设有稳固座(3)，且稳固座(3)靠近安装基座(11)的一端下侧均设有与安装基座(11)对应设置的安装板(4)，且安装板(4)与稳固座(3)的一端均开设与安装基座(11)对应设置的安装槽(5)，且安装板(4)的上侧端部均设有嵌设柱(7)，安装基座(11)的下侧两端均设有与嵌设柱(7)对应设置的嵌设槽(8)，且安装基座(11)的上侧端部放置有硅片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述顶板(28)的下侧端部设有上端板(18)，且上端板(18)的下端设有下端板(17)，且下端板(17)的上端右侧与上端板(18)的连接之间设有伸缩杆(25)，且伸缩杆(25)的下侧端部与下端板(17)的连接之间设有连接端(27)，且伸缩杆(25)的上端设有安装块(24)，安装块(24)的下端伸缩杆(25)上套设有缓冲弹簧(26)，且下端板(17)和上端板(18)的右端正面均设有移动腔(23)，且下端板(17)和上端板(18)的内侧之间相互交叉设有第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)，第一交叉杆(19)的上侧端部与上端板(18)的连接之间设有第二转轴(16)，第一交叉杆(19)的下侧端部与下端板(17)内部的移动腔(23)之间设有第四转轴(22)，第二交叉杆(20)的上侧端部与上端板(18)内部的移动腔(23)之间设有第三转轴(21)，且第二交叉杆(20)的下侧端部与下端板(17)的连接之间设有第一转轴(14)，且上端板(18)的左端中间位置设有升降气缸(31)，且升降气缸(31)远离升降安装转轴(30)的一侧端部设有升降杆(32)，且第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)的交叉之间设有交叉柱(33)，且升降杆(32)远离升降气缸(31)的一侧端部与交叉柱(33)之间固定连接，下端板(17)的下侧端部设有连接块(15)，且连接块(15)的下侧端部设有与硅片(12)对应设置的打磨盘(13)。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述出液管(9)和喷头(10)的下端与硅片(12)和安装基座(11)对应设置。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述升降气缸(31)、驱动电机(36)和抛光液箱(6)均与外部电源进而外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为：PIC18F4610-I/P。

5.根据权利要求2所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)与交叉柱(33)的连接之间安装有交叉转轴(34)。

6.根据权利要求2或4所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述升降气缸(31)与上端板(18)的安装连接之间设有安装转轴(30)。

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