CN211759449U - 一种专用复合工装 - Google Patents

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袁大飞
李天兵
黎静
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Lichao Semiconductor Technology Wuxi Jiangsu Co ltd
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Jiangsu Shiwei Semiconductor Technology Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种专用复合工装,包括,支撑架、横向翻转架和纵向转轴;纵向转轴的一侧设有可拆卸支撑底板,在支撑底板的外轮廓边缘设有若干个外圈护板;纵向转轴另一侧上可拆卸的设有内圈护板,该内圈护板通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴上;在内圈护板同侧的纵向转轴上通过定位装置可拆卸的连接中间板;该中间板两端限制的水管穿过定位焊接块后,再通过过渡箱与主体焊接;定位焊接块为L形结构,且L形的两端分别与内圈护板和过渡箱可拆卸连接。有益效果:通过可拆卸的工装,可以实现芯片设备部件的方便加工,并且由于工装结构为可拆卸结构,因此可以便于焊接、运输和热处理,提高了加工的效率。

Description

一种专用复合工装
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域,具体涉及一种专用复合工装。
背景技术
在半导体生产设备中,需要对部件进行维修和焊接,其具体的结构如图1所述。在环形主体7的内部是空腔,在主体7的两侧需要对称焊接空心的过渡箱8,并且主体7和过渡箱8内的空间相通,然后在过渡箱8上需要分别再次焊接水管9。
由于主体1的整体结构体积较大,在过渡箱8焊接的过程中保持连续性,以防止漏水,因此,需要将主体7和过渡箱8整体转动不同的角度,以确保焊接完成后不会出现漏水等情况。同时为了增加使用的寿命和消除内部焊接应力,还需要将主体7和过渡箱8一起整体做热处理,然后再将水管9焊接到过渡箱8上。
在传统的工艺中,需要焊接、搬运、热处理等工作人员一起工作,才可以将这个装置在确保无损的情况下完成。但是由于整个装置内均为空腔的薄壁结构,在转运中特别容易导致破损或扭曲。同时,由于主体7一侧的厚度逐渐变薄。因此,这也在无形中增加了工作强度。
为了解决焊接、运输、热处理中的不便,亟需开发出一种新的方案。
实用新型内容
为了解决半导体装置部件的焊接、运输和热处理不便的问题,本实用新型提供一种专用复合工装。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下的技术方案:
一种专用复合工装,包括,支撑架;所述支撑架通过横向翻转架与纵向转轴连接;且横向翻转架的旋转中心轴线与纵向转轴的旋转中心轴线相互垂直;所述纵向转轴的一侧设有可拆卸支撑底板,在支撑底板的外轮廓边缘设有若干个外圈护板;所述纵向转轴另一侧上可拆卸的设有内圈护板,该内圈护板通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴上;在内圈护板同侧的纵向转轴上通过定位装置可拆卸的连接中间板;该中间板两端限制的水管穿过定位焊接块后,再通过过渡箱与主体焊接;所述定位焊接块为L形结构,且L形的两端分别与内圈护板和过渡箱可拆卸连接。
进一步地,所述横向翻转架通过设在轴承座内的横向转轴与横向翻转架连接,纵向转轴相对固定在横向翻转架上的轴承座旋转。
进一步地,所述挤压装置包括套在纵向转轴上的限位套,以及将内圈护板挤压在限位套上的定位螺母,该定位螺母与纵向转轴螺纹连接。
进一步地,所述定位装置包括:定位支架和连接支架;所述定位支架与中间板接触定位,所述连接支架与中间板螺纹连接。
再进一步地,多个内支架中仅有一根与中间板铰接,其余内支架与中间板接触连接。
进一步地,所述外圈护板背离内圈护板的一侧还设有吊环螺栓。
进一步地,所述定位焊接块与内圈护板通过第一固定销连接;所述定位焊接块与过渡箱通过第二固定销连接。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:通过可拆卸的工装,可以实现芯片设备部件的方便加工,并且由于工装结构为可拆卸结构,因此可以便于焊接、运输和热处理,提高了加工的效率。
附图说明
图1为需要焊接和热处理工件的示意图;
图2为工装一个侧面的整体结构图;
图3为工装的另一个侧面的示意图;
图4为工装的部分结构示意图。
图中,1支撑架、11横向转轴、2横向翻转架、3纵向转轴、31限位套、32定位螺母、4支撑底板、41外圈护板、42内支架、43吊环螺栓、5内圈护板、51定位焊接块、511第一固定销、512第二固定销、6中间板、7主体、8过渡箱、9水管。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
为了加工如图1所示的部件,公开了一种专用复合工装,如图2、图3和图4所示,包括,支撑架1;其中,支撑架1通过横向翻转架2与纵向转轴3连接;且横向翻转架2的旋转中心轴线与纵向转轴3的旋转中心轴线相互垂直。具体的,所述横向翻转架2通过设在轴承座内的横向转轴11与横向翻转架2连接,纵向转轴3相对固定在横向翻转架2上的轴承座旋转。通过横向翻转架2和纵向转轴3的互相配合,可以实现多角度的旋转,有利于焊接。
在固定主体7上,所述纵向转轴3的一侧设有可拆卸支撑底板4,在支撑底板4的外轮廓边缘设有若干个外圈护板41,主体7就被外圈护板41卡合在内。为了便于运输和吊装,所述外圈护板41背离内圈护板5的一侧还设有吊环螺栓43。为了给主体7在内侧有定性作用,所述纵向转轴3另一侧上可拆卸的设有内圈护板5,该内圈护板5通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴3上;同样的,内圈护板5卡在主体7内侧,用于定位和防止焊接变形。其中,挤压装置包括套在纵向转轴3上的限位套31,以及将内圈护板5挤压在限位套31上的定位螺母32,该定位螺母32与纵向转轴3螺纹连接。
在内圈护板5同侧的纵向转轴3上通过定位装置可拆卸的连接中间板6;该中间板6两端限制的水管9穿过定位焊接块51后,再通过过渡箱8与主体7焊接;所述定位焊接块51为L形结构,且L形的两端分别与内圈护板5和过渡箱8可拆卸连接,具体是:定位焊接块51与内圈护板5通过第一固定销511连接;所述定位焊接块51与过渡箱8通过第二固定销512连接。
其中,定位装置包括:可拆卸连接在支撑底板4上的多个内支架42;所述内支架42与中间板6可拆卸连接。具体的,定位装置包括:定位支架和连接支架;所述定位支架与中间板6接触定位,所述连接支架与中间板6螺纹连接。
本实用新型通过横向翻转架2,以及与安装在纵向转轴3上的支撑底板4等其他结构,可以通过旋转方便实现过渡箱8和主体7的焊接。同时,由于将主体7卡在支撑底板4上,因此在吊装时候,可以通过吊环螺栓43方便运输,并且可以直接将工装、主体7和过渡箱8整体送至热处理炉,方便过程的控制。同时,在热处理后,还可以继续使用中间板6实现水管的定位和焊接。具体的使用步骤如下:
步骤一、将横向翻转架2和支撑架1组装一体;将主体7通过安装外圈护板41将主体7安装在单独分离的支撑底板4上。实现主体7的外部防护。
步骤二、依次安装限位套31、内支架42和内圈护板5,再用定位螺母32与纵向转轴3螺纹连接。实现主体7的内部保护,防止变形。
步骤三、在主体7两侧安装过渡箱8的位置上,通过第二固定销512将过渡箱8与定位焊接块51一端连接,再将定位焊接块51另一端通过第一固定销511与内圈护板5连接;通过该步骤将定位焊接块51和过渡箱8固定成一体,方便过渡箱8的焊接。
步骤四、将纵向转轴3架设在横向翻转架2上的轴承座上。
步骤五、完成主体7与过渡箱8的焊接;在该步骤中,需要注意,由于定位焊接块51是L形结构,因此在焊接时,会有一侧边因为定位焊接块51的阻碍不能焊接,所以,在该步骤中,首先完成主体7与过渡箱8中三个裸露接缝处的焊接;再拆除定位焊接块51;然后将剩余的接缝处补充焊接;最后将第二固定销512的定位眼焊接密封。
步骤六、将纵向转轴3从横向翻转架2拆除,再将包括纵向转轴3以及安装在纵向转轴3上的部件全部进行热处理。在该步骤中,可以使用吊装设备连接吊环螺栓43,从焊接区域送至热处理区域。
步骤七、完成步骤六后,将中间板6与内支架42连接,且将两根水管9通过内支架42两端的螺栓定位到过渡箱8上;在中间板6与内支架42连接时,先将中间板6与定位支架完成定位,再将中间板6与连接支架通过螺栓固定。
步骤八、将纵向转轴3重新安装在横向翻转架2上,对水管9和过渡箱8的接缝焊接;
步骤九、将完成焊接的主体7、过渡箱8和水管9从工装上取下。
通过上述的步骤,完成了焊接—运输—热处理—焊接,完成了设备部件的加工。

Claims (7)

1.一种专用复合工装,其特征在于:包括,支撑架(1);
所述支撑架(1)通过横向翻转架(2)与纵向转轴(3)连接;且横向翻转架(2)的旋转中心轴线与纵向转轴(3)的旋转中心轴线相互垂直;
所述纵向转轴(3)的一侧设有可拆卸支撑底板(4),在支撑底板(4)的外轮廓边缘设有若干个外圈护板(41);所述纵向转轴(3)另一侧上可拆卸的设有内圈护板(5),该内圈护板(5)通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴(3)上;
在内圈护板(5)同侧的纵向转轴(3)上通过定位装置可拆卸的连接中间板(6);该中间板(6)两端限制的水管(9)穿过定位焊接块(51)后,再通过过渡箱(8)与主体(7)焊接;
所述定位焊接块(51)为L形结构,且L形的两端分别与内圈护板(5)和过渡箱(8)可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的专用复合工装,其特征在于:所述横向翻转架(2)通过设在轴承座内的横向转轴(11)与横向翻转架(2)连接,纵向转轴(3)相对固定在横向翻转架(2)上的轴承座旋转。
3.根据权利要求1所述的专用复合工装,其特征在于:所述挤压装置包括套在纵向转轴(3)上的限位套(31),以及将内圈护板(5)挤压在限位套(31)上的定位螺母(32),该定位螺母(32)与纵向转轴(3)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的专用复合工装,其特征在于:所述定位装置包括:可拆卸连接在支撑底板(4)上的多个内支架(42);所述内支架(42)与中间板(6)可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的专用复合工装,其特征在于:所述定位装置包括:定位支架和连接支架;所述定位支架与中间板(6)接触定位,所述连接支架与中间板(6)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的专用复合工装,其特征在于:所述外圈护板(41)背离内圈护板(5)的一侧还设有吊环螺栓(43)。
7.根据权利要求1所述的专用复合工装,其特征在于:所述定位焊接块(51)与内圈护板(5)通过第一固定销(511)连接;所述定位焊接块(51)与过渡箱(8)通过第二固定销(512)连接。
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