CN110977286B - 一种专用复合工装的使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种专用复合工装的使用方法，包括，支撑架、横向翻转架和纵向转轴；纵向转轴的一侧设有可拆卸支撑底板，在支撑底板的外轮廓边缘设有若干个外圈护板；纵向转轴另一侧上可拆卸的设有内圈护板，该内圈护板通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴上；在内圈护板同侧的纵向转轴上通过定位装置可拆卸的连接中间板；该中间板两端限制的水管穿过定位焊接块后，再通过过渡箱与主体焊接；定位焊接块为L形结构，且L形的两端分别与内圈护板和过渡箱可拆卸连接。有益效果：通过可拆卸的工装，可以实现芯片设备部件的方便加工，并且由于工装结构为可拆卸结构，因此可以便于焊接、运输和热处理，提高了加工的效率。

Description

一种专用复合工装的使用方法
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种专用复合工装的使用方法。
背景技术
在半导体生产设备中，需要对部件进行维修和焊接，其具体的结构如图1所述。在环形主体7的内部是空腔，在主体7的两侧需要对称焊接空心的过渡箱8，并且主体7和过渡箱8内的空间相通，然后在过渡箱8上需要分别再次焊接水管9。
由于主体1的整体结构体积较大，在过渡箱8焊接的过程中保持连续性，以防止漏水，因此，需要将主体7和过渡箱8整体转动不同的角度，以确保焊接完成后不会出现漏水等情况。同时为了增加使用的寿命和消除内部焊接应力，还需要将主体7和过渡箱8一起整体做热处理，然后再将水管9焊接到过渡箱8上。
在传统的工艺中，需要焊接、搬运、热处理等工作人员一起工作，才可以将这个装置在确保无损的情况下完成。但是由于整个装置内均为空腔的薄壁结构，在转运中特别容易导致破损或扭曲。因此，这也在无形中增加了工作强度。
为了解决焊接、运输、热处理中的不便，亟需开发出一种新的方案。
发明内容
为了解决半导体装置部件的焊接、运输和热处理不便的问题，本发明提供一种专用复合工装的使用方法。
为了实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：
一种专用复合工装的使用方法，包括，支撑架；所述支撑架通过横向翻转架与纵向转轴连接；且横向翻转架的旋转中心轴线与纵向转轴的旋转中心轴线相互垂直；
所述纵向转轴的一侧设有可拆卸支撑底板，在支撑底板的外轮廓边缘设有若干个外圈护板；所述纵向转轴另一侧上可拆卸的设有内圈护板，该内圈护板通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴上；外圈护板背离内圈护板的一侧还设有吊环螺栓；所述挤压装置包括：套在纵向转轴上的限位套，以及将内圈护板挤压在限位套上的定位螺母，该定位螺母与纵向转轴螺纹连接；
在内圈护板同侧的纵向转轴上通过定位装置可拆卸的连接中间板；该中间板两端限制的水管穿过定位焊接块后，再通过过渡箱与主体焊接；所述定位焊接块分别与内圈护板和过渡箱螺栓连接；所述定位装置包括：定位支架和连接支架；所述定位支架与中间板接触定位，所述连接支架与中间板螺纹连接；所述定位焊接块为L形结构，且L形的两端分别与内圈护板和过渡箱可拆卸连接：
还包括以下步骤：
步骤一、将横向翻转架和支撑架组装一体；将主体通过安装外圈护板将主体安装在单独分离的支撑底板上。
步骤二、依次安装限位套、内支架和内圈护板，再用定位螺母与纵向转轴螺纹连接。
步骤三、在主体两侧安装过渡箱的位置上，通过第二固定销将过渡箱与定位焊接块一端连接，再将定位焊接块另一端通过第一固定销与内圈护板连接。
步骤四、将纵向转轴架设在横向翻转架上的轴承座上。
步骤五、完成主体与过渡箱的焊接。
步骤六、将纵向转轴从横向翻转架拆除，再将包括纵向轴承以及安装在纵向轴承上的部件全部进行热处理。
步骤七、完成步骤六后，将中间板与内支架连接，且将两根水管通过内支架两端的螺栓定位到过渡箱上。
步骤八、将纵向转轴重新安装在横向翻转架上，对水管和过渡箱的接缝焊接。
步骤九、将完成焊接的主体、过渡箱和水管从工装上取下。
进一步地，所述步骤五中，首先完成主体与过渡箱中三个裸露接缝处的焊接；
再拆除定位焊接块；然后将剩余的接缝处补充焊接；最后将第二固定销的定位眼焊接密封。
进一步地，在步骤六中，使用吊装设备连接吊环螺栓，从焊接区域送至热处理区域。
进一步地，所述步骤七中，在中间板与内支架连接时，先将中间板与定位支架完成定位，再将中间板与连接支架通过螺栓固定。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：通过可拆卸的工装，可以实现芯片设备部件的方便加工，并且由于工装结构为可拆卸结构，因此可以便于焊接、运输和热处理，提高了加工的效率。
附图说明
图1为需要焊接和热处理工件的示意图；
图2为工装一个侧面的整体结构图；
图3为工装的另一个侧面的示意图；
图4为工装的部分结构示意图。
图中，1支撑架、11横向转轴、2横向翻转架、3纵向转轴、31限位套、32定位螺母、4支撑底板、41外圈护板、42内支架、43吊环螺栓、5内圈护板、51定位焊接块、511第一固定销、512第二固定销、6中间板、7主体、8过渡箱、9水管。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
为了加工如图1所示的部件，公开了一种半导体生产专用复合工装；如图2、图3和图4所示，包括，支撑架1；其中，支撑架1通过横向翻转架2与纵向转轴3连接；且横向翻转架2的旋转中心轴线与纵向转轴3的旋转中心轴线相互垂直。具体的，所述横向翻转架2通过设在轴承座内的横向转轴11与横向翻转架2连接，纵向转轴3相对固定在横向翻转架2上的轴承座旋转。通过横向翻转架2和纵向转轴3的互相配合，可以实现多角度的旋转，有利于焊接。
在固定主体7上，所述纵向转轴3的一侧设有可拆卸支撑底板4，在支撑底板4的外轮廓边缘设有若干个外圈护板41，主体7就被外圈护板41卡合在内。为了便于运输和吊装，所述外圈护板41背离内圈护板5的一侧还设有吊环螺栓43。为了给主体7在内侧有定性作用，所述纵向转轴3另一侧上可拆卸的设有内圈护板5，该内圈护板5通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴3上；同样的，内圈护板5卡在主体7内侧，用于定位和防止焊接变形。其中，挤压装置包括套在纵向转轴3上的限位套31，以及将内圈护板5挤压在限位套31上的定位螺母32，该定位螺母32与纵向转轴3螺纹连接。
在内圈护板5同侧的纵向转轴3上通过定位装置可拆卸的连接中间板6；该中间板6两端限制的水管9穿过定位焊接块51后，再通过过渡箱8与主体7焊接；所述定位焊接块51为L形结构，且L形的两端分别与内圈护板5和过渡箱8可拆卸连接，具体是：定位焊接块51与内圈护板5通过第一固定销511连接；所述定位焊接块51与过渡箱8通过第二固定销512连接。
其中，定位装置包括：可拆卸连接在支撑底板4上的多个内支架42；所述内支架42与中间板6可拆卸连接。具体的，定位装置包括：定位支架和连接支架；所述定位支架与中间板6接触定位，所述连接支架与中间板6螺纹连接。
本发明通过横向翻转架2，以及与安装在纵向转轴3上的支撑底板4等其他结构，可以通过旋转方便实现过渡箱8和主体7的焊接。同时，由于将主体7卡在支撑底板4上，因此在吊装时候，可以通过吊环螺栓43方便运输，并且可以直接将工装、主体7和过渡箱8整体送至热处理炉，方便过程的控制。同时，在热处理后，还可以继续使用中间板6实现水管的定位和焊接。具体的使用步骤如下：
步骤一、将横向翻转架2和支撑架1组装一体；将主体7通过安装外圈护板41将主体7安装在单独分离的支撑底板4上。实现主体7的外部防护。
步骤二、依次安装限位套31、内支架42和内圈护板5，再用定位螺母32与纵向转轴3螺纹连接。实现主体7的内部保护，防止变形。
步骤三、在主体7两侧安装过渡箱8的位置上，通过第二固定销512将过渡箱8与定位焊接块51一端连接，再将定位焊接块51另一端通过第一固定销511与内圈护板5连接；通过该步骤将定位焊接块51和过渡箱8固定成一体，方便过渡箱8的焊接。
步骤四、将纵向转轴3架设在横向翻转架2上的轴承座上。
步骤五、完成主体7与过渡箱8的焊接；在该步骤中，需要注意，由于定位焊接块51是L形结构，因此在焊接时，会有一侧边因为定位焊接块51的阻碍不能焊接，所以，在该步骤中，首先完成主体7与过渡箱8中三个裸露接缝处的焊接；再拆除定位焊接块51；然后将剩余的接缝处补充焊接；最后将第二固定销512的定位眼焊接密封。
步骤六、将纵向转轴3从横向翻转架2拆除，再将包括纵向转轴3以及安装在纵向转轴3上的部件全部进行热处理。在该步骤中，可以使用吊装设备连接吊环螺栓43，从焊接区域送至热处理区域。
步骤七、完成步骤六后，将中间板6与内支架42连接，且将两根水管9通过内支架42两端的螺栓定位到过渡箱8上；在中间板6与内支架42连接时，先将中间板6与定位支架完成定位，再将中间板6与连接支架通过螺栓固定。
步骤八、将纵向转轴3重新安装在横向翻转架2上，对水管9和过渡箱8的接缝焊接；
步骤九、将完成焊接的主体7、过渡箱8和水管9从工装上取下。
通过上述的步骤，完成了焊接—运输—热处理—焊接，完成了设备部件的加工。

Claims (4)

1.一种专用复合工装的使用方法，其特征在于：专用复合工装包括支撑架(1)；所述支撑架(1)通过横向翻转架(2)与纵向转轴(3)连接；且横向翻转架(2)的旋转中心轴线与纵向转轴(3)的旋转中心轴线相互垂直；
所述纵向转轴(3)的一侧设有可拆卸支撑底板(4)，在支撑底板(4)的外轮廓边缘设有若干个外圈护板(41)；所述纵向转轴(3)另一侧上可拆卸的设有内圈护板(5)，该内圈护板(5)通过挤压装置可拆卸的设在纵向转轴(3)上；外圈护板(41)背离内圈护板(5)的一侧还设有吊环螺栓(43)；所述挤压装置包括：套在纵向转轴(3)上的限位套(31)，以及将内圈护板(5)挤压在限位套(31)上的定位螺母(32)，该定位螺母(32)与纵向转轴(3)螺纹连接；
在内圈护板(5)同侧的纵向转轴(3)上通过定位装置可拆卸的连接中间板(6)；该中间板(6)两端限制的水管(9)穿过定位焊接块(51)后，再通过过渡箱(8)与主体(7)焊接；所述定位焊接块(51)分别与内圈护板(5)和过渡箱(8)螺栓连接；所述定位装置包括：定位支架和连接支架；所述定位支架与中间板(6)接触定位，所述连接支架与中间板(6)螺纹连接；所述定位焊接块(51)为L形结构，且L形的两端分别与内圈护板(5)和过渡箱(8)可拆卸连接；多个内支架(42)可拆卸连接在支撑底板(4)上；所述内支架(42)与中间板(6)可拆卸连接；
使用方法包括以下步骤：
步骤一、将横向翻转架(2)和支撑架(1)组装一体；通过安装外圈护板(41)将主体(7)安装在单独分离的支撑底板(4)上；
步骤二、依次安装限位套(31)、内支架(42)和内圈护板(5)，再将定位螺母(32)与纵向转轴(3)螺纹连接；
步骤三、在主体(7)两侧安装过渡箱(8)的位置上，通过第二固定销(512)将过渡箱(8)与定位焊接块(51)一端连接，再将定位焊接块(51)另一端通过第一固定销(511)与内圈护板(5)连接；
步骤四、将纵向转轴(3)架设在横向翻转架(2)上的轴承座上；
步骤五、完成主体(7)与过渡箱(8)的焊接；
步骤六、将纵向转轴(3)从横向翻转架(2)拆除，再将包括纵向转轴(3)以及安装在纵向转轴(3)上的部件全部进行热处理；
步骤七、完成步骤六后，将中间板(6)与内支架(42)连接，且将两根水管(9)通过中间板(6)两端定位到过渡箱(8)上；
步骤八、将纵向转轴(3)重新安装在横向翻转架(2)上，对水管(9)和过渡箱(8)的接缝焊接；
步骤九、将完成焊接的主体(7)、过渡箱(8)和水管(9)从工装上取下。
2.根据权利要求1所述的专用复合工装的使用方法，其特征在于：所述步骤五中，首先完成主体(7)与过渡箱(8)中三个裸露接缝处的焊接；
再拆除定位焊接块(51)；
然后将剩余的接缝处补充焊接；
最后将第二固定销(512)的定位眼焊接密封。
3.根据权利要求1所述的专用复合工装的使用方法，其特征在于：在步骤六中，使用吊装设备连接吊环螺栓(43)，从焊接区域送至热处理区域。
4.根据权利要求1所述的专用复合工装的使用方法，其特征在于：所述步骤七中，在中间板(6)与内支架(42)连接时，先将中间板(6)与定位支架完成定位，再将中间板(6)与连接支架通过螺栓固定。
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