CN211743119U

CN211743119U - 晶圆载盘的压环装卸装置

Info

Publication number: CN211743119U
Application number: CN202020184496.3U
Authority: CN
Inventors: 宋茂炎
Original assignee: Kingtek Co ltd
Current assignee: Kingtek Co ltd
Priority date: 2020-02-19
Filing date: 2020-02-19
Publication date: 2020-10-23
Anticipated expiration: 2030-02-19

Abstract

一种晶圆载盘的压环装卸装置，是利用一驱动机构驱动一压环装卸装置，在该压环装卸装置上设有至少二组相互组接的驱动组件，以及一组夹持驱动组件，该等驱动组件是可驱动一销向外穿入一预设晶圆盘周侧的勾环中，并拉动该勾环沿一预设Ｌ形导槽移动，用以松脱或锁掣该晶圆盘上一预先盖合于晶圆周侧的压环，且该夹持驱动组件可驱动二夹持件相对夹合或松脱该压环，用以形成一充份自动化装卸压环的作业方式。

Description

晶圆载盘的压环装卸装置

技术领域

本实用新型是有关晶圆载盘的压环装卸装置，尤指一种可降低人力耗费、有效提升组卸效率的压环与晶圆盘的组卸结构。

背景技术

一般的集成电路(integrated circuit, IC)的制造过程主要可分为：硅晶圆制造、集成电路制作以及集成电路封装等三大部分；当硅晶棒切割成晶圆后，还需要经过黄光、长晶、蚀刻、机械研磨等多道手续繁杂的流程，方能完成集成电路的制作，而在上述的制造过程中，晶圆在进行测试、清洗、蒸镀、干燥或浸泡有机溶剂等流程时，为能有效固定晶圆以便于加工，皆需将各晶圆先分别固定于一晶圆盘上，由各该晶圆盘分别承载各晶圆进行上述各流程的加工作业。

如第１、２图所示，在实际应用时，为能同时处理较大量的晶圆9，大多会将至少二晶圆盘71设置于一大面积的载盘7上，该晶圆盘71乃是为一面积略大于晶圆9外径的盘体，在该晶圆盘71外周侧间隔设有至少二向外凸出的结合部72，在各结合部72上分别设有一Ｌ形导槽723，该Ｌ形导槽723具有一接近该晶圆盘71中央的锁固端721及一远离该晶圆盘71的释放端722，在该Ｌ形导槽723内设有一勾环73，各勾环73分别通过位于晶圆盘71背侧的至少二弹性组件74形成连结，使各勾环73具有一朝向该晶圆盘71中央的弹性；另在各该晶圆盘71上方分别设有一可分离的压环8，在该压环8周侧设有至少二分别对应于各结合部72的被结合部83，在该被结合部83上分别凹设有对应于各该锁固端721的凹部81，以及朝向该释放端722同方向延伸的侧缺口82。

当晶圆9置于该晶圆盘71上，可将该压环8置于该晶圆9上，并使各被结合部83对应于各结合部72，将各勾环73由释放端722（侧缺口82）移至锁固端721（凹部81），使各勾环73可卡掣在各凹部81上，以对各该压环8形成锁掣，并固定该晶圆9。

由于上述该压环8与该晶圆盘71之间结合方式的动作较繁琐且定位不易，因此，传统上大多以人工方式操作，不但耗费人力且组卸效率无法提升，极不符合经济效益；因此，如何能导入自动化作业方式，增进该压环8与该晶圆盘71之间的组卸效率，乃为各相关业者所亟待努力的课题。

有鉴于现有技术的压环与晶圆盘之间的组卸机构在实际应用时有上述缺点，发明人乃针对该些缺点研究改进之道，终于有本实用新型产生。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆载盘的压环装卸装置，其利用一驱动机构（如：机械手臂、沿轨道滑移的滑座及其它相关具有承载移动功能的结构）驱动一压环装卸装置，在该压环装卸装置上设有至少二组相互组接的驱动组件，以及一组夹持驱动组件，该等驱动组件可驱动一销向外穿入一预设晶圆盘周侧的勾环中，并拉动该勾环沿一预设Ｌ形导槽移动，据此松脱或锁掣该晶圆盘上一盖合于晶圆周侧的压环，且该夹持驱动组件可驱动二夹持件相对夹合或松脱该压环，据此充分利用自动化作业方式而可降低人力需求且增进组卸效率。

为达成上述目的及功效，本实用新型所实行的技术手段包括：一种晶圆载盘的压环装卸装置，具有一压环装卸装置，用于将预设压环由一载盘的晶圆盘上进行组装或取下动作，其中该晶圆盘外周侧间隔设有至少二结合部，在各该结合部上分别设有一Ｌ形导槽，该Ｌ形导槽具有一接近该晶圆盘中央的锁固端及一远离该晶圆盘的释放端，在该Ｌ形导槽内设有一具弹性的勾环，于该压环周侧设有至少二分别对应于各结合部的被结合部，在各该被结合部上分别凹设有对应于各该锁固端的凹部，以及朝向该释放端同方向延伸的侧缺口；该压环装卸装置包括：一座体，连结一夹持板；一主驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，用以驱动一销，该销可被驱动穿入该勾环，并带动该勾环进行三维的活动，该勾环能沿该Ｌ形导槽于该锁固端及该释放端之间移动，当该勾环位移至锁固端时能压迫各该凹部与相对应的锁固端定位组合，进而将该压环定位于该晶圆盘上，反之，若使该勾环位移至释放端，则能由晶圆盘上松释该压环。

依上述结构，其中另设有一夹持驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，该夹持驱动组件能驱动二夹持件在该夹持板二旁侧产生内外伸缩活动，用以夹持于该压环外周侧边缘，进而将该压环由该晶圆盘上移除或移置该压环。

依上述结构，其中该主驱动组件由一第一驱动组件、一第二驱动组件及一第三驱动组件所组成，该第一驱动组件组设于该座体，用以驱动一第一活动件进行高低升降活动；该第二驱动组件组设于该第一活动件，用以驱动一第二活动件沿该夹持板边缘往复活动；该第三驱动组件组设于该第二活动件，用以驱动一第三活动件沿朝向座体中央方向往复活动。

依上述结构，其中该第三活动件上设有一穿套驱动组件，用以驱动一穿套活动件沿该第三活动件的移动方向进行往复活动，且该销系结合在该穿套活动件上，能随该穿套活动件的活动而伸入该勾环中。

依上述结构，其中该座体通过一支架连结该夹持板，使该座体与该夹持板之间具有固定的容置空间。

本实用新型所实行的技术手段另包括：一种晶圆载盘的压环装卸装置，具有一压环装卸装置，用于将预设压环由一载盘的晶圆盘上进行组装或取下动作，其中该晶圆盘外周侧间隔设有至少二结合部，在各该结合部上分别设有一Ｌ形导槽，该Ｌ形导槽具有一接近该晶圆盘中央的锁固端及一远离该晶圆盘的释放端，在该Ｌ形导槽内设有一具弹性的勾环，在该压环周侧设有至少二分别对应于各结合部的被结合部，在各该被结合部上分别凹设有对应于各该锁固端的凹部，以及朝向该释放端同方向延伸的侧缺口；该压环装卸装置包括：一座体，连结一夹持板；一夹持驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，该夹持驱动组件能驱动二夹持件在该夹持板二旁侧产生内外伸缩活动，用以夹持在该压环外周侧边缘，进而将该压环由该晶圆盘上移除或移置该压环。

为使本实用新型的上述目的、功效及特征可获致更具体的了解，兹依下列附图说明如下。

附图说明

第１图为应用于本实用新型的载盘、晶圆盘及压环的俯视结构图。

第２图第１图的载盘、晶圆盘的仰视结构图。

第３图本实用新型的整体结构外观图。

第４图为本实用新型的压环装卸装置移至晶圆盘上方定位的状态示意图。

第５图为本实用新型的压环装卸装置以销穿入勾环的动作图。

第６图为本实用新型的压环装卸装置以销拉提勾环的动作图。

第７图为本实用新型的压环装卸装置以销将勾环由锁固端向外推出的动作图。

第８图为本实用新型的压环装卸装置以销带动勾环沿侧缺口朝向释放端移动的动作图。

第９图为本实用新型的压环装卸装置使销脱离该勾环，并以二夹持件夹持该压环的动作图。

第１０图为本实用新型的压环装卸装置夹持该压环脱离晶圆盘的动作图。

第１１图为本实用新型的压环装卸装置以二夹持件夹持该压环的状态示意图。

第１２图为本实用新型将晶圆置于晶圆盘上的状态示意图。

第１３图为本实用新型的压环装卸装置以二夹持件松脱该压环的动作图。

第１４图为本实用新型的压环装卸装置以销重新穿入并拉提勾环的动作图。

第１５图为本实用新型的压环装卸装置以销带动勾环由释放端沿侧缺口移动的动作图。

第１６图为本实用新型的压环装卸装置以销将勾环向内拉回锁固端的动作图。

第１７图为本实用新型的压环装卸装置以销带动勾环下降迫紧该压环的动作图。

第１８图为本实用新型的压环装卸装置使销脱离该勾环的动作图。

第１９图为本实用新型的压环装卸装置上升，完成以压环定位晶圆的动作图。

附图标记说明。

A 　　压环装卸装置

B 　　驱动机构

C 　　主驱动组件

1 　　座体

11 支架

12 　夹持板

2 　　第一驱动组件

21 　第一活动件

3 　　第二驱动组件

31 　第二活动件

4 　　第三驱动组件

41 　第三活动件

5 　　穿套驱动组件

51 　穿套活动件

52 　销

6 　　夹持驱动组件

61 　夹持件

7 　　载盘

71 　晶圆盘

72 　结合部

721 　锁固端

722 　释放端

723 　Ｌ形导槽

73 　勾环

74 　弹性组件

8 　　压环

81 　凹部

82 　侧缺口

83 　被结合部

9 　　晶圆。

具体实施方式

请参第３、４图所示，可知本实用新型的结构具有一可由默认驱动机构B（如：机械手臂、沿轨道滑移的滑座及其它相关具有承载移动功能的结构）驱动的压环装卸装置A，该压环装卸装置A可应用于前述第１、２图所示的载盘7、晶圆盘71、压环8及其相关组件，该压环装卸装置A包括：座体1、主驱动组件C、穿套驱动组件5及夹持驱动组件6等部分；其中该座体1通过一支架11连结一夹持板12，使该座体1与该夹持板12之间具有一固定的容置空间。

该主驱动组件C组设于该座体1与该夹持板12之间，其是由一第一驱动组件2、一第二驱动组件3及一第三驱动组件4所组成，该第一驱动组件2组设于该座体1下方，可驱动一第一活动件21进行高低升降的活动；该第二驱动组件3固定于该第一活动件21下方，可驱动一第二活动件31沿该夹持板12边缘往复活动；该第三驱动组件4组设于该第二活动件31下方，可驱动一第三活动件41朝向该座体1（夹持板12）中央方向往复活动。

该穿套驱动组件5结合于该第三活动件41下方，可驱动一穿套活动件51沿该第三活动件41的移动方向进行往复活动，且在该穿套活动件51旁侧横设一销52。

该夹持驱动组件6组设于该座体1与该夹持板12之间，可驱动二夹持件61于该夹持板12二旁侧向内伸缩活动。

请参第４至１１图所示，可知本实用新型在卸除该压环8的操作时，首先，该驱动机构B驱动该压环装卸装置A移至该载盘7的其中一晶圆盘71上方，并以该夹持板12贴靠于该压环8上（如第４图所示）；此时，该勾环73位于该Ｌ形导槽723的锁固端721，以锁掣该压环8；然后，该穿套驱动组件5驱动该穿套活动件51动作，使销52可穿入勾环73（如第５图所示）；且该第一驱动组件2可驱动该第一活动件21动作，通过该第二驱动组件3、第三驱动组件4、穿套驱动组件5连动该销52向上拉提该勾环73（如第６图所示）。

再由该第三驱动组件4驱动该第三活动件41动作，通过该穿套驱动组件5连动该销52带动该勾环73沿该Ｌ形导槽723向外（远离该夹持板12）移动（如第７图所示）；并由该第二驱动组件3驱动该第二活动件31动作，通过该第三驱动组件4、穿套驱动组件5连动该销52带动该勾环73沿该Ｌ形导槽723通过该侧缺口82移至释放端722（如第８图所示）；另由该夹持驱动组件6驱动二夹持件61朝向夹持板12中央方向活动，以供夹持于该压环8的外周侧，且该第三驱动组件4驱动该第三活动件41动作，通过该穿套驱动组件5连动该销52脱离该勾环73（如第９图所示）；最后，该驱动机构B驱动该压环装卸装置A向上移动，使该压环8脱离该晶圆盘71（如第１０、１１图所示）。

请参第１２至１９图所示，可知本实用新型在置载该压环8的操作时，首先，先将晶圆置于该晶圆盘71上（如第１２图所示）；由该驱动机构B驱动该压环装卸装置A连动该压环8移至该晶圆盘71上，并以该夹持板12推抵该压环8贴靠于该晶圆9及晶圆盘71，且该夹持驱动组件6驱动二夹持件61向外松脱该压环8，此时，该压环8受该夹持板12推抵，而可保持贴靠于该晶圆9及晶圆盘71（如第１３图所示）；然后，该穿套驱动组件5驱动该穿套活动件51动作，使销52可再次穿入勾环73，且该第一驱动组件2可驱动该第一活动件21动作，通过该第二驱动组件3、第三驱动组件4、穿套驱动组件5连动该销52向上拉提该勾环73（如第１４图所示）。

再由该第二驱动组件3驱动该第二活动件31动作，以通过该第三驱动组件4、穿套驱动组件5连动该销52带动该勾环73，由该释放端722沿该Ｌ形导槽723移动（如第１５图所示）；并由该第三驱动组件4驱动该第三活动件41动作，以通过该穿套驱动组件5连动该销52带动该勾环73移至该锁固端721（如第１６图所示）；另由该第一驱动组件2驱动该第一活动件21动作，通过该第二驱动组件3、第三驱动组件4、穿套驱动组件5连动该销52向下释放该勾环73（如第１７图所示）；同时，该穿套驱动组件5驱动该穿套活动件51动作，使销52脱离该勾环73（如第１８图所示）；最后，该驱动机构B驱动该压环装卸装置A向上移动，使该压环8保持于该晶圆盘71上压合固定该晶圆9（如第１９图所示）的状态，据此完成将该压环8由该晶圆盘71上移除，或将该压环8移至该晶圆盘71上的作业。

综合以上所述，本实用新型晶圆载盘的压环装卸装置确可达成降低人力成本、增进压环与晶圆盘的组卸效率等功效，实为一具新颖性及进步性的实用新型，因此依法提出申请新型专利；惟上述说明的内容，仅为本实用新型的较佳实施例说明，举凡依本实用新型的技术手段与范畴所延伸的变化、修饰、改变或等效置换者，亦皆应落入本实用新型的专利申请范围内。

Claims

1.一种晶圆载盘的压环装卸装置，具有一压环装卸装置，用于将预设压环由一载盘的晶圆盘上进行组装或取下动作，其特征在于，该晶圆盘外周侧间隔设有至少二结合部，在各该结合部上分别设有一Ｌ形导槽，该Ｌ形导槽具有一接近该晶圆盘中央的锁固端及一远离该晶圆盘的释放端，在该Ｌ形导槽内设有一具弹性的勾环，在该压环周侧设有至少二分别对应于各结合部的被结合部，在各该被结合部上分别凹设有对应于各该锁固端的凹部，以及朝向该释放端同方向延伸的侧缺口；该压环装卸装置包括：

一座体，连结一夹持板；

一主驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，用以驱动一销，该销可被驱动穿入该勾环，并带动该勾环进行三维的活动，该勾环能沿该Ｌ形导槽在该锁固端及该释放端之间移动，当该勾环位移至锁固端时能压迫各该凹部与相对应的锁固端定位组合，进而将该压环定位于该晶圆盘上，反之，若使该勾环位移至释放端，则能由晶圆盘上松释该压环。

2.如权利要求1所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其特征在于，另设有一夹持驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，该夹持驱动组件能驱动二夹持件在该夹持板二旁侧产生内外伸缩活动，用以夹持于该压环外周侧边缘，进而将该压环由该晶圆盘上移除或移置该压环。

3.如权利要求1或2所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其特征在于，该主驱动组件由一第一驱动组件、一第二驱动组件及一第三驱动组件所组成，该第一驱动组件组设于该座体，用以驱动一第一活动件进行高低升降活动；该第二驱动组件组设于该第一活动件，用以驱动一第二活动件沿该夹持板边缘往复活动；该第三驱动组件组设于该第二活动件，用以驱动一第三活动件沿朝向座体中央方向往复活动。

4.如权利要求3所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其特征在于，该第三活动件上设有一穿套驱动组件，用以驱动一穿套活动件沿该第三活动件的移动方向进行往复活动，且该销结合于该穿套活动件上，能随该穿套活动件的活动而伸入该勾环中。

5.如权利要求1或2所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其特征在于，该座体通过一支架连结该夹持板，使该座体与该夹持板之间具有固定的容置空间。

6.如权利要求3所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其中该座体系经由一支架连结该夹持板，使该座体与该夹持板之间具有固定的容置空间。

7.如权利要求4所述的晶圆载盘的压环装卸装置，其特征在于，该座体通过一支架连结该夹持板，使该座体与该夹持板之间具有固定的容置空间。

8.一种晶圆载盘的压环装卸装置，具有一压环装卸装置，用于将预设压环由一载盘的晶圆盘上进行组装或取下动作，其特征在于，该晶圆盘外周侧间隔设有至少二结合部，在各该结合部上分别设有一Ｌ形导槽，该Ｌ形导槽具有一接近该晶圆盘中央的锁固端及一远离该晶圆盘的释放端，在该Ｌ形导槽内设有一具弹性的勾环，在该压环周侧设有至少二分别对应于各结合部的被结合部，在各该被结合部上分别凹设有对应于各该锁固端的凹部，以及朝向该释放端同方向延伸的侧缺口；该压环装卸装置包括：

一座体，连结一夹持板；

一夹持驱动组件，组设于该座体与该夹持板之间，该夹持驱动组件能驱动二夹持件在该夹持板二旁侧产生内外伸缩活动，用以夹持在该压环外周侧边缘，进而将该压环由该晶圆盘上移除或移置该压环。