CN211741830U - 一种应用于内层板的曝光系统 - Google Patents
一种应用于内层板的曝光系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211741830U CN211741830U CN202020396711.6U CN202020396711U CN211741830U CN 211741830 U CN211741830 U CN 211741830U CN 202020396711 U CN202020396711 U CN 202020396711U CN 211741830 U CN211741830 U CN 211741830U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- exposure
- exposure machine
- machine
- base plate
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种应用于内层板的曝光系统,其包括第一曝光机、翻板机和第二曝光机,所述第一曝光机和所述第二曝光机均包括基板台面和朝向所述基板台面的对位系统,其特征在于,所述第一曝光机和所述第二曝光机的基板台面的边缘设置有定位件,所述第一曝光机垂直于其对位系统的定位件于所述第二曝光机垂直于其对位系统的定位件镜像设置。通过定位件镜像的方式,无论所述内层板的尺寸如何变化,所述标记点与基板台面边缘的尺寸都是固定的,无需频繁的调整所述对位系统中对位相机的位置,减少对位时间,提高曝光效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及数字直写式曝光领域,具体为一种应用于内层板曝光的曝光系统。
背景技术
为了适应电子产品智能化和小型化的发展,印刷电路板也不再只有单面印刷,而是通常采用多层板的形式,而多层板中需要能够双面联通的内层板。在对内层板曝光时,内层板需要分别对其正面和背面进行曝光,同时需要确保在PCB内层板正面和背面上的图形的位置相对应。现有技术中,通常在曝光第一面图形时在印刷电路板的第二面至少一个边缘即板框区域绘制两个或多个空心或实心标记点,然后通过翻板机将所述印刷电路板由第一面翻转至第二面,进入后续对第二面的曝光流程,在对第二面进行曝光时,先计算标记点的大致位置,然后调整对位相机的位置,使得对位相机可以抓取标记点。虽然标记装置的位置固定,标记点的位置固定,但是对于不同尺寸的印刷电路板,需要进行反复计算标记点的位置,操作繁琐。
发明内容
本实用新型旨在提供一种曝光效率更高的应用于内层板曝光的曝光系统。
其技术方案是这样的:一种应用于内层板的曝光系统,其包括第一曝光机、翻板机和第二曝光机,所述第一曝光机和所述第二曝光机均包括基板台面和朝向所述基板台面的对位系统,其特征在于,所述第一曝光机和所述第二曝光机的基板台面的边缘设置有定位件,所述第一曝光机垂直于其对位系统的定位件于所述第二曝光机垂直于其对位系统的定位件镜像设置。
进一步的,所述第一曝光机平行于其对位系统的定位件与所述第二曝光机平行于其对位系统的定位件镜像设置。
进一步的,所述第一曝光机平行于其对位系统的定位件与所述第二曝光机平行于其对位系统的定位件相对设置。
进一步的,所述第一曝光机和所述第二曝光机的定位件均设置与所述基板台面的相邻边缘,并所述第一曝光机和所述第二曝光机的定位件镜像设置。
进一步的,所述对位系统包括对位相机和驱动所述对位相机移动的驱动机构。
进一步的,所述第一曝光机还包括置于所述基板台面的标定装置,所述标定装置包括至少两个间隔设置的标记元件。
进一步的,所述标记元件位于所述基板台面的一个边缘。
进一步的,所述标记元件位于所述基板台面的两垂直边缘。
进一步的,所述标记元件位于所述基板台面的对角。
进一步的,所述标记元件位于所述基板台面的四角。
本实用新型通过定位件镜像的方式,无论所述内层板的尺寸如何变化,所述标记点与基板台面边缘的尺寸都是固定的,无需频繁的调整所述对位系统中对位相机的位置,减少对位时间,提高曝光效率。
附图说明
图1为应用于内层板曝光系统的俯视示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1所示,应用于内层板的曝光系统包括第一曝光机1、翻板机2和第二曝光机3。
所述第一曝光机1包括放置内层板的基板台面10、朝向所述基板台面10设置的对位系统11和曝光系统12。所述基板台面10一侧相邻垂直边缘设有定位件(13、14),用于对放置于所述第一曝光机1的内层板进行位置限定,便于获知内层板第一面预先设置的标记点在基板台面10的位置,根据标记点在基板台面10的基本位置信息,调整对位系统11,获取标记点的准确位置信息。对位系统11包括抓取内层板上对位点的对位相机15,驱动所述对位相机移动的驱动机构16。曝光系统12包括多个曝光镜头17进行曝光操作。所述基板台面10的至少一个边设有标记装置,所述标记装置包括至少两个间隔设置的标记元件18,所述标记元件18在所述内层板的第二面形成标记点19。进一步的,所述标记元件18位于所述基板台面10的一个边缘。所述标记元件18的位置关系可以有多种方式,如:所述标记元件18位于所述基板台面10的两垂直边缘;所述标记元件18位于所述基板台面10的对角;所述标记元件18位于所述基板台面10的四角。
所述第二曝光机3与所述第一曝光机1结构相同,包括放置内层板的基板台面30、朝向所述基板台面30设置的对位系统31和曝光系统32。所述对位系统31包括抓取内层板上对位点的对位相机33,驱动所述对位相机33移动的驱动机构34。曝光系统32包括多个曝光镜头35进行曝光操作。所述第二曝光机3基板台面30上的定位件(36、37)与所述第一曝光机1基板台面10上的定位件(13、14)镜像设置。
所述第一曝光机1负责对内层板的第一面40进行曝光,在此过程中,所述第一曝光机1的标记装置在内层板的第二面41形成标记点19。曝光完成后,通过移栽机将所述第一曝光机1上的内层板移动到所述翻板机2上,所述翻板机2将第一面40向上的所述内层板翻转至第二面41向上放置,通过移栽机将翻板机2上内层板放置于第二曝光机3的基板台面30,对位相机33抓取内层板第二面41的标记点19,获得第二面41对应于第一面40的位置信息,根据上述位置信息对内层板的第二面41进行曝光操作。
根据所述曝光系统的位置关系,所述第一曝光机1和第二曝光机3位于所述翻板机2的左右两侧,或者所述第一曝光机1和所述第二曝光机3位于所述翻板机2的上下两侧,可以分为左右镜像和上下镜像。如,所述第一曝光机1、翻板机2、第二曝光机3左右的顺序排列,所述第一曝光机1两个互相垂直的定位件(13、14)形成的定位角位于基板台面10的左上角,所述第二曝光机3两个互相垂直定位件(36、37)形成的定位角位于基板台面30的右上角;所述第一曝光机1、翻板机2、第二曝光机3上下的顺序排列,所述第一曝光机1两个互相垂直的定位件(13、14)形成的定位角位于基板台面10的左上角,所述第二曝光机3两个互相垂直定位件(36、37)形成的定位角位于基板台面30的左下角。
无论所述第一曝光机1和所述第二曝光机3的位置如何摆放,应保证在所述第一曝光机1上紧靠所述定位件13的垂直于所述对位系统11的所述内层板的边缘,在置于所述第二曝光机3上时,仍然紧靠垂直于对位系统31的定位件36。因此,所述第一曝光机1和所述第二曝光机3同方向摆放时,所述第一曝光机1和所述第二曝光机3上垂直于所述对位系统(11、31)的定位件(13、36)彼此镜像,而平行于所述对位系统(11、31)的定位件(14、37)可以镜像或者相对,较佳的,选择镜像方式。
在内层板第二面绘制标记的标记装置的位置是固定设置,因此,对于不同尺寸的内层板,标记点19相对于边缘的距离是不同的,经过翻板机2的翻板操作后,放置于第二曝光机3的基板平台30上时,若不采用镜像的方式,绘制在内层板第二面的标记点19相对于基板台面30边缘的距离会因为内层板的尺寸不同,而所述标记点19与基板台面30的边缘也会形成多种不同的距离,对位系统31中的对位相机33的视场有限,因此需要根据不同的内层板尺寸调整对位相机33的位置。
而本发明通过定位件镜像的方式,无论所述内层板的尺寸如何变化,所述标记点19与基板台面30边缘的尺寸都是固定的,无需频繁的调整所述对位系统31中对位相机33的位置,减少对位时间,提高曝光效率。
应当明白,上述举例说明中上、下、左、右的位置关系是相对的,非限制的,根据第一曝光机1、翻板机2和第二曝光机3摆放位置关系的不同,其相对的上下左右的位置关系会有所改变,应用本实用新型的原理,都在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种应用于内层板的曝光系统,其包括第一曝光机、翻板机和第二曝光机,所述第一曝光机和所述第二曝光机均包括基板台面和朝向所述基板台面的对位系统,其特征在于,所述第一曝光机和所述第二曝光机的基板台面的边缘设置有定位件,所述第一曝光机垂直于其对位系统的定位件于所述第二曝光机垂直于其对位系统的定位件镜像设置。
2.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于:所述第一曝光机平行于其对位系统的定位件与所述第二曝光机平行于其对位系统的定位件镜像设置。
3.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于:所述第一曝光机平行于其对位系统的定位件与所述第二曝光机平行于其对位系统的定位件相对设置。
4.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于:所述第一曝光机和所述第二曝光机的定位件均设置与所述基板台面的相邻边缘,并所述第一曝光机和所述第二曝光机的定位件镜像设置。
5.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于:所述对位系统包括对位相机和驱动所述对位相机移动的驱动机构。
6.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于:所述第一曝光机还包括置于所述基板台面的标定装置,所述标定装置包括至少两个间隔设置的标记元件。
7.根据权利要求6所述的曝光系统,其特征在于:所述标记元件位于所述基板台面的一个边缘。
8.根据权利要求6所述的曝光系统,其特征在于:所述标记元件位于所述基板台面的两垂直边缘。
9.根据权利要求6所述的曝光系统,其特征在于:所述标记元件位于所述基板台面的对角。
10.根据权利要求6所述的曝光系统,其特征在于:所述标记元件位于所述基板台面的四角。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020396711.6U CN211741830U (zh) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 一种应用于内层板的曝光系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020396711.6U CN211741830U (zh) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 一种应用于内层板的曝光系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211741830U true CN211741830U (zh) | 2020-10-23 |
Family
ID=72853547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202020396711.6U Active CN211741830U (zh) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 一种应用于内层板的曝光系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211741830U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114236976A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-25 | 杭州新诺微电子有限公司 | 一种双台面ldi系统的曝光方法 |
-
2020
- 2020-03-25 CN CN202020396711.6U patent/CN211741830U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114236976A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-25 | 杭州新诺微电子有限公司 | 一种双台面ldi系统的曝光方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4210692B2 (ja) | 穿孔装置 | |
CN109551871B (zh) | 一种多基板对位印刷方法及对位印刷机 | |
CN211741830U (zh) | 一种应用于内层板的曝光系统 | |
CN106647188B (zh) | 一种双面对准的曝光系统 | |
JP2007237647A (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 | |
CN112631080B (zh) | 一种双工作台曝光机的曝光方法 | |
JP2004261924A (ja) | 板状ワークの穴明け装置および穴明け方法 | |
CN106773566A (zh) | 直写式光刻机曝光对准装置及方法 | |
CN110465743A (zh) | 一种pcb板激光视觉自动定位打标装置 | |
JP5906398B2 (ja) | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法 | |
CN216387740U (zh) | 一种升降式光刻机 | |
CN206892555U (zh) | 一种用于pcb生产线的ldi内层对位装置 | |
JPH0590799A (ja) | プリント基板への接着剤付着方法及び装置 | |
CN211741829U (zh) | 一种直写式曝光机 | |
CN213023938U (zh) | 一种双面曝光装置 | |
JP2000250227A (ja) | 露光装置 | |
CN114019768A (zh) | 一种双龙门光刻机及其加工方法 | |
CN108162576A (zh) | 一种用于印刷印制电路板的钢网及印刷机 | |
JP2007208034A (ja) | 位置決め装置 | |
CN100558216C (zh) | 连接器冲压装置、方法 | |
JP2003311919A (ja) | スクリーン印刷機 | |
CN206557530U (zh) | 一种曝光内层板的对位标定装置及应用其的曝光机 | |
JP2021123008A (ja) | テレビモニターレスアライメントスクリーン印刷機 | |
JPH05131610A (ja) | 印刷用スクリーンと基板の位置合わせ装置 | |
CN216351772U (zh) | 一种直写式光刻机的对准装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 215026 Room 102, building C5, No. 192, Tinglan lane, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province Patentee after: Yuanzhuo Micro Nano Technology (Suzhou) Co.,Ltd. Address before: 215026 Room 102, building C5, No. 192, Tinglan lane, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province Patentee before: ADVANCED MICRO OPTICS.INC |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |