CN211741353U - 一种悬臂式探针卡 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种悬臂式探针卡，涉及探针卡设备领域，包括印刷电路板，所述印刷电路板底端设置有加强板，且印刷电路板的顶端设置有陶瓷环，所述印刷电路板的内部设置有绝缘胶圈，所述加强板的内部设置有绝缘胶垫，所述绝缘胶垫的内侧设置有螺纹孔，所述螺纹孔的内侧设置有第一固定螺栓。本实用新型通过设置的橡胶块、黑色膜，当探针的位置偏移时，其外壁的橡胶块也会发生位置偏移，高出其他橡胶块或低出其他橡胶块，此时，可根据橡胶块两侧的黑色膜与其本身颜色形成的强烈颜色差异，可发现探针位置发生偏移，需要及时调整，有效解决了探针体积细小位置发生偏移时不容易发现的问题。

Description

一种悬臂式探针卡

技术领域

本实用新型涉及探针卡设备领域，具体为一种悬臂式探针卡。

背景技术

探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程，探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，导出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆，它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要,是晶圆造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。

现有的探针卡在使用一段时间后针尖位置会发生偏移，某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通，针尖位置低的扎伤AL层，对后续封装压焊有影响，使芯片与封装后成品管脚焊接质量差，容易引起短路，破坏焊垫周围的保护层，而探针由于体积细小，导致位置发生偏移时，不容易发现，且印刷电路板与加强板、陶瓷环固定一般是采用螺栓固定，而螺栓由金属制成，存在导电行为，会对电路检测产生一定影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决探针体积细小位置发生偏移时不容易发现和用来固定探针卡的螺栓会导电对电路检测造成影响的问题，提供一种悬臂式探针卡。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种悬臂式探针卡，包括印刷电路板，所述印刷电路板底端设置有加强板，且印刷电路板的顶端设置有陶瓷环，所述印刷电路板的内部设置有绝缘胶圈，所述加强板的内部设置有绝缘胶垫，所述绝缘胶垫的内侧设置有螺纹孔，所述螺纹孔的内侧设置有第一固定螺栓，所述第一固定螺栓一侧位于加强板的内部设置有第二固定螺栓，所述陶瓷环的顶端设置有橡胶垫，所述橡胶垫的内侧连接有探针，所述探针的外侧设置有橡胶块，所述橡胶块的两侧设置有黑色膜。

优选地，所述绝缘胶圈与印刷电路板通过胶水连接，所述第一固定螺栓贯穿至印刷电路板的内部。

优选地，所述橡胶垫与陶瓷环通过胶水连接，所述绝缘胶圈的内侧设置有焊接孔。

优选地，所述第一固定螺栓和第二固定螺栓的数量皆为两个，且第二固定螺栓贯穿至印刷电路板和陶瓷环的内部。

优选地，所述第一固定螺栓和第二固定螺栓的外侧皆设置有螺纹孔，所述绝缘胶垫与螺纹孔通过胶水连接。

优选地，所述探针的设置为多个，且橡胶块套接在探针的外壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置的橡胶块、黑色膜，探针的位置偏移时，其外壁的橡胶块也会发生位置偏移，高出其他橡胶块或低出其他橡胶块，此时，可根据橡胶块两侧的黑色膜与其本身颜色形成的强烈颜色差异，可发现探针位置发生偏移，需要及时调整，有效解决了探针体积细小位置发生偏移时不容易发现的问题。

2、本实用新型通过设置的螺纹孔、绝缘胶垫，将两个第一固定螺栓插入加强板上的螺纹孔中，使其与螺纹孔固定住，固定后，第一固定螺栓通过螺纹孔外壁的绝缘胶垫将金属的导电性能隔绝，防止金属导电对电路检测造成影响，有效解决了用来固定探针卡的螺栓会导电对电路检测造成影响的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的B的放大图；

图4为本实用新型的橡胶块示意图；

图5为本实用新型的A的放大图。

图中：1、印刷电路板；2、加强板；3、第一固定螺栓；4、螺纹孔；5、绝缘胶垫；6、第二固定螺栓；7、焊接孔；8、绝缘胶圈；9、陶瓷环；10、橡胶垫；11、橡胶块；12、探针；13、黑色膜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种悬臂式探针卡，包括印刷电路板1，印刷电路板1底端设置有加强板2，且印刷电路板1的顶端设置有陶瓷环9，印刷电路板1的内部设置有绝缘胶圈8，加强板2的内部设置有绝缘胶垫5，绝缘胶垫5的内侧设置有螺纹孔4，螺纹孔4的内侧设置有第一固定螺栓3，第一固定螺栓3一侧位于加强板2的内部设置有第二固定螺栓6，陶瓷环9的顶端设置有橡胶垫10，橡胶垫10的内侧连接有探针12，探针12的外侧设置有橡胶块11，橡胶块11的两侧设置有黑色膜13。

请着重参阅图1，绝缘胶圈8与印刷电路板1通过胶水连接，便于绝缘胶圈8固定在印刷电路板1的内部，第一固定螺栓3贯穿至印刷电路板1的内部，第一固定螺栓3便于将加强板2与印刷电路板1固定在一起。

请着重参阅图2，橡胶垫10与陶瓷环9通过胶水连接，便于陶瓷环9固定在印刷电路板1的顶端，绝缘胶圈8的内侧设置有焊接孔7，焊接孔便于将探针卡固定住，第一固定螺栓3和第二固定螺栓6的数量皆为两个，两个第一固定螺栓3将加强板2与印刷电路板1固定住，两个第二固定螺栓6将加强板2与印刷电路板1、陶瓷环9固定在一起，且第二固定螺栓6贯穿至印刷电路板1和陶瓷环9的内部。

请着重参阅图3，第一固定螺栓3和第二固定螺栓6的外侧皆设置有螺纹孔4，便于第一固定螺栓3和第二固定螺栓6固定在螺纹孔4中，绝缘胶垫5与螺纹孔4通过胶水连接，便于绝缘胶垫5固定在螺纹孔4的内壁。

请着重参阅图5，探针12的设置为多个，多个探针12便于对电路进行检测，且橡胶块11套接在探针12的外壁，橡胶块11便于探针12高低不平时，方便看出。

工作原理：本实用新型使用时，将加强板2安装在印刷电路板1的底端，将两个第一固定螺栓3插入加强板2上的螺纹孔4中，使其与螺纹孔4固定住，固定后，第一固定螺栓3通过螺纹孔4外壁的绝缘胶垫5将金属的导电性能隔绝，防止金属导电对电路检测造成影响，安装陶瓷环9时，将两个第二固定螺栓6插入加强板2上的螺纹孔4，且两个第二固定螺栓6贯穿至印刷电路板1与陶瓷环9中，则第二固定螺栓6将陶瓷环9固定在印刷电路板1的顶端，陶瓷环9顶端的橡胶垫10内侧的探针12对需要检测的电路板进行检测，多次检测后，探针12的高度位置发生偏移，探针12的位置偏移时，其外壁的橡胶块11也会发生位置偏移，高出其他橡胶块11或低出其他橡胶块11，此时，可根据橡胶块11两侧的黑色膜13与其本身颜色形成的强烈颜色差异，可发现探针12位置发生偏移，需要及时调整。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种悬臂式探针卡，包括印刷电路板(1)，其特征在于：所述印刷电路板(1)底端设置有加强板(2)，且印刷电路板(1)的顶端设置有陶瓷环(9)，所述印刷电路板(1)的内部设置有绝缘胶圈(8)，所述加强板(2)的内部设置有绝缘胶垫(5)，所述绝缘胶垫(5)的内侧设置有螺纹孔(4)，所述螺纹孔(4)的内侧设置有第一固定螺栓(3)，所述第一固定螺栓(3)一侧位于加强板(2)的内部设置有第二固定螺栓(6)，所述陶瓷环(9)的顶端设置有橡胶垫(10)，所述橡胶垫(10)的内侧连接有探针(12)，所述探针(12)的外侧设置有橡胶块(11)，所述橡胶块(11)的两侧设置有黑色膜(13)。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于：所述绝缘胶圈(8)与印刷电路板(1)通过胶水连接，所述第一固定螺栓(3)贯穿至印刷电路板(1)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于：所述橡胶垫(10)与陶瓷环(9)通过胶水连接，所述绝缘胶圈(8)的内侧设置有焊接孔(7)。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于：所述第一固定螺栓(3)和第二固定螺栓(6)的数量皆为两个，且第二固定螺栓(6)贯穿至印刷电路板(1)和陶瓷环(9)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于：所述第一固定螺栓(3)和第二固定螺栓(6)的外侧皆设置有螺纹孔(4)，所述绝缘胶垫(5)与螺纹孔(4)通过胶水连接。

6.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于：所述探针(12)的设置为多个，且橡胶块(11)套接在探针(12)的外壁。

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