CN211716872U - 一种低功率快速的氮气加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种低功率快速的氮气加热装置，包括加热棒套管(4)、加热棒(9)、氮气入口管(1)、氮气出口管(7)、翘片散热装置(5)，所述加热棒(9)位于加热棒套管(4)内，所述翘片散热装置(5)设置在加热棒(9)的外表面上且位于加热棒(9)与加热棒套管(4)之间，所述氮气入口管(1)和氮气出口管(7)分别与加热棒套管(4)的两端连通。本实用新型在加热棒上采用螺旋翅片，提高了散热面积，在带有加热翅片的加热棒外，安装一个外壳套管，形成一个封闭的螺旋型腔，保证氮气N2通过时形成螺旋运动，增加了与翅片的接触面积，同时提高与翅片的接触时间，保证了加热效率和速度。
Description
技术领域
本实用新型属于气体加热技术领域，具体涉及一种低功率快速的氮气加热装置。
背景技术
氮气N2加热在半导体设备中使用比较多，许多清洗干燥设备都配有氮气N2加热功能，但它配的氮气N2加热装置通常就是简单的一根加热棒，这种采用加热棒加热的方式，其存在功率大、效率低、N2流量点小、温度精确难、温升速度较慢等不足。氮气N2流量在10L/MIN时，氮气N2最高加热温度只能到80度左右，流量到20L/MIN是温度只能到50度左右，如果想提高氮气N2温度只能加大功率或降低氮气N2流量，加热功率越大体积也会增大，体积越大占用的设备空间越大，不利于设备集成。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种低功率快速的氮气加热装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种低功率快速的氮气加热装置，包括加热棒套管、加热棒、氮气入口管、氮气出口管、翘片散热装置，所述加热棒位于加热棒套管内，所述翘片散热装置设置在加热棒的外表面上且位于加热棒与加热棒套管之间，所述氮气入口管和氮气出口管分别与加热棒套管的两端连通。
进一步地，所述翘片散热装置在加热棒外表面上呈螺旋状延伸从而在加热棒与加热棒套管之间形成螺旋气流通道。
进一步地，所述翘片散热装置的翅片厚度为1mm。
进一步地，所述翘片散热装置与加热棒套管的内壁的间距为0.2mm。
进一步地，所述氮气入口管和氮气出口管分别与一个安装法兰连接。
进一步地，两个所述安装法兰分别通过第一金属密封装置和第二金属密封装置与加热棒套管的两端密封连接。
进一步地，所述氮气入口管和氮气出口管为316L不锈钢管。
进一步地，所述加热棒的长度为250mm。
所述加热棒套管(4)为直径50mm的圆柱体，长度350mm。
本实用新型与现有技术相比，其显著优点在于：
本实用新型在加热棒上采用螺旋翅片，提高了散热面积，同时，在带有加热翅片的加热棒外，安装一个外壳套管，控制好距离，形成一个封闭的螺旋型腔，保证氮气N2通过时形成螺旋运动，增加了与翅片的接触面积，同时提高与翅片的接触时间，保证了加热效率和速度，由于转换效率的提高，同样温度同样流量的氮气N2需要的加热功率和传统的比功率为原来的1/3，体积是传统的加热装置的1/5，更利于设备的集成。
附图说明
图1是本实用新型低功率快速的氮气加热装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。
结合图1，一种低功率快速的氮气加热装置，包括加热棒套管4、加热棒9、氮气入口管1、氮气出口管7、翘片散热装置5，所述加热棒9位于加热棒套管4内，所述翘片散热装置5设置在加热棒9的外表面上且位于加热棒9与加热棒套管4之间，所述氮气入口管1和氮气出口管7分别与加热棒套管4的两端连通。
优选地，所述翘片散热装置5在加热棒9外表面上呈螺旋状延伸从而在加热棒9与加热棒套管4之间形成螺旋气流通道，翅片在加热棒9上面旋转了40圈，翘片与加热棒9紧密接触，有利于加热棒9的温度散发出来，同时氮气N2在流过加热棒9时沿着翘片做螺旋运动，这样有效的增加了氮气N2和翘片的接触面积和流过的距离，氮气N2在加热装置中时间也会越长，氮气N2吸收的热量就会越多，出来的温度也会越高。
优选地，所述翘片散热装置5的翅片厚度为1mm。
优选地，所述翘片散热装置5与加热棒套管4的内壁的间距为0.2mm，这样设计的目的是让N2通进来的时候只能沿着翘片的螺旋路径运动，延长氮气N2运动的距离，充分和翘片接触，使氮气N2温度迅速上升。
优选地，所述氮气入口管1和氮气出口管7分别与一个安装法兰2连接，通过安装螺丝8实现安装连接。
优选地，两个所述安装法兰2分别通过第一金属密封装置3和第二金属密封装置6与加热棒套管4的两端密封连接，由于氮气N2温度可达到180度，一般的密封圈不能满足要求，采用金属密封正好可以解决高温密封问题。
优选地，所述氮气入口管1和氮气出口管7为316L不锈钢管，外径3/8，氮气N2最大流量可达到200L/min。
优选地，所述加热棒9的长度为250mm。
优选地，所述加热棒套管4为不锈钢加热棒套管，是直径50mm的圆柱体，长度350mm。
本实用新型在加热棒9上采用螺旋翅片，提高了散热面积，同时，在带有加热翅片的加热棒9外，安装一个外壳套管，控制好距离，形成一个封闭的螺旋型腔，保证氮气N2通过时形成螺旋运动，增加了与翅片的接触面积，同时提高与翅片的接触时间，保证了加热效率和速度，由于转换效率的提高，同样温度同样流量的氮气N2需要的加热功率和传统的比功率为原来的1/3，体积是传统的加热装置的1/5，更利于设备的集成，本装置升温效率高，氮气N2流量120L/min时加热到140度用时为60秒左右。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (9)
1.一种低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，包括加热棒套管(4)、加热棒(9)、氮气入口管(1)、氮气出口管(7)、翘片散热装置(5)，所述加热棒(9)位于加热棒套管(4)内，所述翘片散热装置(5)设置在加热棒(9)的外表面上且位于加热棒(9)与加热棒套管(4)之间，所述氮气入口管(1)和氮气出口管(7)分别与加热棒套管(4)的两端连通。
2.根据权利要求1所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述翘片散热装置(5)在加热棒(9)外表面上呈螺旋状延伸从而在加热棒(9)与加热棒套管(4)之间形成螺旋气流通道。
3.根据权利要求2所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述翘片散热装置(5)的翅片厚度为1mm。
4.根据权利要求1所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述翘片散热装置(5)与加热棒套管(4)的内壁的间距为0.2mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述氮气入口管(1)和氮气出口管(7)分别与一个安装法兰(2)连接。
6.根据权利要求5所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，两个所述安装法兰(2)分别通过第一金属密封装置(3)和第二金属密封装置(6)与加热棒套管(4)的两端密封连接。
7.根据权利要求5所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述氮气入口管(1)和氮气出口管(7)为316L不锈钢管。
8.根据权利要求5所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述加热棒(9)的长度为250mm。
9.根据权利要求5所述的低功率快速的氮气加热装置，其特征在于，所述加热棒套管(4)为直径50mm的圆柱体，长度350mm。
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| CN202020206100.0U CN211716872U (zh) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 一种低功率快速的氮气加热装置 |
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| CN202020206100.0U CN211716872U (zh) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 一种低功率快速的氮气加热装置 |
Publications (1)
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ID=72826066
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN211716872U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113834213A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-24 | 湖南骅骝新材料有限公司 | 一种高效安全的高压氮气加热器 |
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2020
- 2020-02-25 CN CN202020206100.0U patent/CN211716872U/zh active Active
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113834213A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-24 | 湖南骅骝新材料有限公司 | 一种高效安全的高压氮气加热器 |
| CN113834213B (zh) * | 2021-09-18 | 2022-08-26 | 湖南骅骝新材料有限公司 | 一种高效安全的高压氮气加热器 |
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