CN211709727U - 一种晶圆切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆切割机，包括用于放置晶圆的工作台，还包括接水体、集水箱和消音装置，所述接水体上设有接水槽，所述接水槽固定在所述工作台的下方，所述接水槽的槽口围设于所述工作台，所述接水体上设有连通于所述接水槽的第一出水口，所述集水箱上设有连通于其内部的进水口和第二出水口，所述第一出水口和所述进水口连通，所述消音装置固定在所述集水箱上，所述消音装置设置在所述集水箱的预设水位的上方，减少晶圆切割机的噪音。

Description

一种晶圆切割机

技术领域

本实用新型属于激光切割技术领域，更具体地说，是涉及一种晶圆切割机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在半导体的生产应用中，晶圆切割必不可少，且半导体晶圆的切割质量直接决定了半导体是否合格。

晶圆切割机通常安装在无尘室中，减少无尘对晶圆质量的影响。在晶圆的切割工作过程中，切割晶圆的刀轮需要进行高速运转，并且进行持续的冷却，从而，放置有晶圆的旋转工作台会受到水流的持续冲击。通常，会在旋转工作台的底部设置有集水槽，集水槽通过导水管连接于废水槽。废水槽设有出水管。当导水管将集水槽内的水引导到废水槽内时，由于通过导水管对废水槽的内部具有冲击的作用，进而产生较大的噪音，从而无尘室具有较大的噪音，对工作人员的正常工作产生一定的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机，以解决现有技术中存在的由于通过导水管对废水槽的内部具有冲击的作用，进而产生较大的噪音的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种晶圆切割机，包括用于放置晶圆的工作台，还包括接水体、集水箱和消音装置，所述接水体上设有接水槽，所述接水槽固定在所述工作台的下方，所述接水槽的槽口围设于所述工作台，所述接水体上设有连通于所述接水槽的第一出水口，所述集水箱上设有连通于其内部的进水口和第二出水口，所述第一出水口和所述进水口连通，所述消音装置固定在所述集水箱上，所述消音装置设置在所述集水箱的预设水位的上方。

进一步地，还包括过滤机构，所述过滤机构固定在所述集水箱内，所述过滤机构位于所述进水口和所述第二出水口之间，所述过滤机构和所述进水口之间形成第一区域，所述过滤机构和所述第二出水口之间形成第二区域。

进一步地，所述第一出水口位于所述接水槽的槽底，所述集水箱固定在所述接水体的底部。

进一步地，还包括透明板，所述透明板竖向设置在所述接水体上且位于所述槽口和所述工作台的一侧。

进一步地，还包括第一安装板，所述第一安装板设置在所述接水体上，所述第一安装板位于所述工作台的一侧，所述第一安装板上设置有观察口，所述透明板与所述第一安装板可拆卸连接且覆盖于所述观察口。

进一步地，还包括固定在所述第一安装板上的安装条，所述观察口的相对两侧均设有所述安装条，所述安装条相对设置，至少一个所述安装条面向于另一所述安装条的侧面上设有导向槽，所述导向槽沿着所述安装条的长度方向贯穿所述安装条，所述导向槽用于将所述透明板固定在所述安装条之间。

进一步地，还包括第二安装板，所述第二安装板设置在所述接水体上且与所述第一安装板相对设置，所述第二安装板位于所述工作台的一侧且位于所述工作台的下方，所述第二安装板上设有转接法兰通孔。

进一步地，所述接水体为钣金体。

进一步地，还包括加强筋，所述加强筋分别连接在所述接水槽的底部和所述接水槽的内壁。

进一步地，所述加强筋呈L形，所述加强筋的内弯处朝向所述接水槽的内弯处。

本实用新型提供的一种晶圆切割机的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型的接水槽起到收集冷却水的作用，使冷却水不易从工作台流动到晶圆切割机的其他内部结构中，起到保护晶圆切割机的作用，起到防止冷却水在晶圆切割机内飞溅的作用。接水槽的冷却水流动到集水箱内，起到保存冷却水的作用。消音装置吸收集水箱内的声音，起到消音的作用，从而减少了冷却水流入到集水箱造成的噪声对工作人员的正常工作的影响。消音装置设置在集水箱的预设水位的上方，保证集水箱中的冷却水不易浸泡到消音装置，保证消音装置的正常使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种晶圆切割机的结构示意图一；

图2为本实用新型实施例提供的一种晶圆切割机的局部的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种晶圆切割机的结构示意图二。

其中，图中各附图标记：

1、接水体；11、接水槽；2、集水箱；21、第二出水口；3、消音装置；4、过滤机构；5、透明板；6、第一安装板；61、观察口；7、安装条；71、导向槽；8、第二安装板；81、转接法兰通孔；9、加强筋；10、工作台；101、基板。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图3，现对本实用新型提供的一种晶圆切割机进行说明。一种晶圆切割机，包括用于放置晶圆的工作台10、接水体1、集水箱2和消音装置3，接水体1上设有接水槽11，接水槽11固定在工作台10的下方，接水槽11的槽口围设于工作台10，接水体1上设有连通于接水槽11的第一出水口 (图中未示)，集水箱2上设有连通于其内部的进水口(图中未示)和第二出水口21，第一出水口和进水口连通，消音装置3固定在集水箱2上，消音装置 3设置在集水箱2的预设水位的上方。

使用过程：将晶圆放置在工作台10上，工作台10可以带动晶圆旋转，从而对晶圆的切割方向进行调整。在晶圆切割的过程中，需要通过冷却系统对晶圆切割机的刀轮进行冷却，冷却系统中的水会从工作台10的表面流动到工作台 10的下方，从而流入到接水槽11中，接水槽11中收集到的冷却水通过第一出水口流入到集水箱2中。集水箱2中的水可以从第二出水口21排出。

本实用新型提供的一种晶圆切割机，与现有技术相比，接水槽11起到收集冷却水的作用，使冷却水不易从工作台10流动到晶圆切割机的其他内部结构中，起到保护晶圆切割机的作用，起到防止冷却水在晶圆切割机内飞溅的作用。接水槽11的冷却水流动到集水箱2内，起到保存冷却水的作用。消音装置3 吸收集水箱2内的声音，起到消音的作用，从而减少了冷却水流入到集水箱2 造成的噪声对工作人员的正常工作的影响。消音装置3设置在集水箱2的预设水位的上方，保证集水箱2中的冷却水不易浸泡到消音装置3，保证消音装置3 的正常使用。

具体地，预设水位为集水箱2中冷却水的最高水位。

具体地，接水体1上固定有基板101，工作台10固定在基板101上。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括过滤机构4，过滤机构4固定在集水箱2内，过滤机构4位于进水口和第二出水口21之间，过滤机构4和进水口之间形成第一区域(图中未示)，过滤机构4和第二出水口21之间形成第二区域(图中未示)。

通过过滤机构4，去掉冷却水的杂质，防止第二出水口21发生堵塞，使集水箱2中的冷却水能够顺畅排出。第一区域中的冷却水中杂质较多，第二区域中的冷却水得到了过滤。

具体地，过滤机构4具有均匀分布的微孔，从而实现杂质的过滤。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，第一出水口位于接水槽11的槽底，集水箱2固定在接水体1的底部。

接水槽11中的冷却水在重力的作用下自动流入到集水箱2中，使集水箱2 收集冷却水便捷，不需要设置水泵将接水槽11中的冷却水引导到集水箱2中，起到节能的作用。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括透明板5，透明板5竖向设置在接水体1上且位于槽口和工作台10的一侧。

透明板5便于工作人员从工作台10的一侧观察接水槽11的槽内的水位，便于了解接水槽11内冷却水收集的情况。透明板5起到格挡的作用，降低工作台10上流入到接水槽11中的冷却水飞溅到接水槽11外的概率。透明板5的结构简单，非常实用。

具体地，透明板5可以通过胶水固定在接水体1上。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括第一安装板6，第一安装板6设置在接水体1 上，第一安装板6位于工作台10的一侧，第一安装板6上设置有观察口61，透明板5与第一安装板6可拆卸连接且覆盖于观察口61。

第一安装板6为透明板5提供了在接水体1上连接面，使透明板5设置在接水体1上更加方便。观察口61和透明板5配合，便于工作人员透过观察口 61和透明板5观察接水槽11内的水位。第一安装板6和透明板5可拆卸连接，便于更换和安装透明板5。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括固定在第一安装板6上的安装条7，观察口61 的相对两侧均设有安装条7，安装条7相对设置，至少一个安装条7面向于另一安装条7的侧面上设有导向槽71，导向槽71沿着安装条7的长度方向贯穿安装条7，导向槽71用于将透明板5固定在安装条7之间。

在安装透明板5时，将透明板5从导向槽71贯穿于安装条7的一侧滑入到安装条7之间，透明板5的至少一侧边被限位在导向槽71内，从而将透明板5 安装在第一安装板6上。导向槽71的结构简单，非常实用。在拆卸透明板5 时，将透明板5从导向槽71贯穿于安装条7的一侧滑出到安装条7即可，非常方便。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括第二安装板8，第二安装板8设置在接水体1 上且与第一安装板6相对设置，第二安装板8位于工作台10的一侧且位于工作台10的下方，第二安装板8上设有转接法兰通孔81。

通过转接法兰通孔81，实现第二安装板8与法兰连接，从而实现接水体1 与法兰连接。当接水体1与法兰连接后，便于将与该法兰匹配的结构连接在第二安装板8上。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，接水体1为钣金体。

接水体1为钣金体，即接水体1由钣金折弯形成，具有重量轻、强度高和成本低的特点。

进一步地，请一并参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括加强筋9，加强筋9分别连接在接水槽11的底部和接水槽11的内壁。

通过加强筋9，提高钣金体的结构强度。

具体的，接水槽11为矩形槽，加强筋9相对设置有两个，加强筋9沿着矩形槽的槽底的长中线对称分布。

进一步地，请参阅图1和图2，作为本实用新型提供的一种晶圆切割机的一种具体实施方式，加强筋9呈L形，加强筋9的内弯处朝向接水槽11的内弯处。

加强筋9的结构简单，非常实用。加强筋9呈L形，加强筋9不易发生形变。在接水槽11的底部和接水槽11的内壁之间连接加强筋9后，连接有加强筋9的接水槽11的底部受力时或连接有加强筋9的接水槽11的内壁受力时，加强筋9将受力抵消掉的同时且不易发生形变，从而提高了钣金体的结构强度。 L形的加强筋9相对于V形的加强筋9、杆状的加强筋9固定在接水槽11内方便。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆切割机，包括用于放置晶圆的工作台，其特征在于，还包括接水体、集水箱和消音装置，所述接水体上设有接水槽，所述接水槽固定在所述工作台的下方，所述接水槽的槽口围设于所述工作台，所述接水体上设有连通于所述接水槽的第一出水口，所述集水箱上设有连通于其内部的进水口和第二出水口，所述第一出水口和所述进水口连通，所述消音装置固定在所述集水箱上，所述消音装置设置在所述集水箱的预设水位的上方。

2.如权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括过滤机构，所述过滤机构固定在所述集水箱内，所述过滤机构位于所述进水口和所述第二出水口之间，所述过滤机构和所述进水口之间形成第一区域，所述过滤机构和所述第二出水口之间形成第二区域。

3.如权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于，所述第一出水口位于所述接水槽的槽底，所述集水箱固定在所述接水体的底部。

4.如权利要求2所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括透明板，所述透明板竖向设置在所述接水体上且位于所述槽口和所述工作台的一侧。

5.如权利要求4所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括第一安装板，所述第一安装板设置在所述接水体上，所述第一安装板位于所述工作台的一侧，所述第一安装板上设置有观察口，所述透明板与所述第一安装板可拆卸连接且覆盖于所述观察口。

6.如权利要求5所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括固定在所述第一安装板上的安装条，所述观察口的相对两侧均设有所述安装条，所述安装条相对设置，至少一个所述安装条面向于另一所述安装条的侧面上设有导向槽，所述导向槽沿着所述安装条的长度方向贯穿所述安装条，所述导向槽用于将所述透明板固定在所述安装条之间。

7.如权利要求6所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括第二安装板，所述第二安装板设置在所述接水体上且与所述第一安装板相对设置，所述第二安装板位于所述工作台的一侧且位于所述工作台的下方，所述第二安装板上设有转接法兰通孔。

8.如权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于，所述接水体为钣金体。

9.如权利要求8所述的一种晶圆切割机，其特征在于，还包括加强筋，所述加强筋分别连接在所述接水槽的底部和所述接水槽的内壁。

10.如权利要求9所述的一种晶圆切割机，其特征在于，所述加强筋呈L形，所述加强筋的内弯处朝向所述接水槽的内弯处。

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