CN211654782U - 硅片小舟搬运夹爪 - Google Patents

硅片小舟搬运夹爪 Download PDF

Info

Publication number
CN211654782U
CN211654782U CN202020187053.XU CN202020187053U CN211654782U CN 211654782 U CN211654782 U CN 211654782U CN 202020187053 U CN202020187053 U CN 202020187053U CN 211654782 U CN211654782 U CN 211654782U
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate
power device
boat
clamping
silicon chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202020187053.XU
Other languages
English (en)
Inventor
黄文杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Jiangsong Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
Wuxi Jiangsong Science And Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Jiangsong Science And Technology Co ltd filed Critical Wuxi Jiangsong Science And Technology Co ltd
Priority to CN202020187053.XU priority Critical patent/CN211654782U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN211654782U publication Critical patent/CN211654782U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了硅片小舟搬运夹爪,涉及硅片搬运技术领域。硅片小舟搬运夹爪包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部。通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上,通过夹紧块夹紧硅片小舟,从而实现对硅片小舟的位置的固定,再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳,进一步固定小舟在夹爪中的位置,通过旋转动力装置带动安装板的旋转,从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作,通过托举板的设置,保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来,进而避免了产品的损坏,通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。

Description

硅片小舟搬运夹爪
技术领域
本实用新型涉及硅片搬运技术领域,尤其涉及一种硅片小舟搬运夹爪。
背景技术
现市面上硅片小舟的翻转采用的是人力搬运的翻转方式,硅片小舟的整体质量较大,从而使得人力在翻转小舟的时候耗费大量的人力,效率低下,且难以对小舟中的硅片进行规整定位,从而容易导致小舟内的硅片发生碎裂,即使没有发生碎裂也极容易存在隐裂的隐患。
实用新型内容
为了能够提高小舟的翻转效率,本实用新型的技术方案提供了一种硅片小舟搬运夹爪。技术方案如下:
本实用新型提供了一种硅片小舟搬运夹爪,包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部,旋转部包括旋转动力装置和安装板,旋转动力装置的动力端与安装板连接,夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块,夹紧块连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置安装在安装板上,抵接部包括抵接板、抵接动力装置,抵接动力装置的固定端固定在安装板上,抵接动力装置的活动端与抵接板一端铰接,抵接板与安装板铰接,托举部包括托举板,托举板设置在夹紧块上。
通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上,通过夹紧块夹紧硅片小舟,从而实现对硅片小舟的位置的固定,再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳,进一步固定小舟在夹爪中的位置,通过旋转动力装置带动安装板的旋转,从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作,通过托举板的设置,保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来,进而避免了产品的损坏,通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。
在第一方面的第一种可能的实现方式中,夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板,载板与安装板固定连接,连接板通过滑轨滑块可活动的安装在载板上,夹紧动力装置的固定端固定在载板上,夹紧动力装置的活动端与三角板的第一个角点铰接,三角板的第二个角点与载板铰接,载板对应三角板的第三个角点开设有腰孔,三角板的第三个角点上设有滚轮,滚轮安装在腰孔内。
夹紧动力装置将动力直接传输达到三角板的第一角点上,通过腰孔的设置舍得三角板的第三个点能够在腰孔内上下运动,进而使得连接板可以相对于载板进行横移的侗族,从而实现了夹爪的夹合动作。
结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式,在第一方面的第二种可能的实现方式中,托举板上对应硅片的位置设有齿条。
通过齿条的设置,使得硅片可以卡盛在齿条上的齿槽内,从而保证了硅片的位置不会发生相对错位,进而提高了硅片的稳定性。
结合第一方面或第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第三种可能的实现方式中,托举部还设有伸缩动力装置,伸缩动力装置的固定端固定在安装板上,伸缩动力装置的活动端连接托举板。
通过伸缩动力装置的设置,使得托举板可以在未翻转的时候就可以贴近小舟里面的硅片从而避免硅片在翻转的时候需要产生较大的位移,从而避免了硅片的损坏,进而提高了产品的良品率。
结合第一方面至第一方面的第三种可能的实现方式,在第一方面的第四种可能的实现方式中,旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆,旋转气缸的固定端固定在安装板上,旋转气缸的活动端与第一连杆的一端铰接,第一连杆的另一端与第二连杆的一端铰接,第二连杆的另一端与安装板铰接。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分,示出了符合本实用新型的实施例,并与说明书一起用于解释本实用新型的原理,其中:
图1为本实用新型一种实施方式所示的硅片小舟搬运夹爪的立体结构示意图;
图2为图1中去除翻转装置的硅片小舟搬运夹爪的另一视角的立体结构示意图;
图3为抵接部的立体结构示意图;
图4为夹紧部的立体结构示意图;
图5为硅片小舟的立体结构示意图。
附图说明:1硅片小舟、2小舟端耳、3安装板、4旋转动力装置、5夹紧动力装置、6夹紧块、7抵接板、8抵接动力装置、9托举板、10载板、11连接板、12三角板、13齿条、14伸缩动力装置、15第一连杆。16第二连杆
具体实施方式
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本实用新型。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
现市面上硅片小舟的翻转采用的是人力搬运的翻转方式,硅片小舟的整体质量较大,从而使得人力在翻转小舟的时候耗费大量的人力,效率低下,且难以对小舟中的硅片进行规整定位,从而容易导致小舟内的硅片发生碎裂,即使没有发生碎裂也极容易存在隐裂的隐患。
为了能够提高小舟的翻转效率,本实用新型提供了一种硅片小舟搬运夹爪,技术方案如下:
下面根据附图1至图5对本实用新型做进一步详细说明。
如图5所示,硅片小舟1两侧面伸出两片连接片,此连接片称为小舟端耳2。
如图1至图4所示,一种硅片小舟搬运夹爪,包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部,旋转部包括旋转动力装置4和安装板3,旋转动力装置4的动力端与安装板3连接,夹紧部包括夹紧动力装置5、夹紧动力传输部和夹紧块6,夹紧块6连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置5连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置5安装在安装板3上,抵接部包括抵接板7、抵接动力装置8,抵接动力装置8的固定端固定在安装板3上,抵接动力装置8的活动端与抵接板7一端铰接,抵接板7与安装板3铰接,托举部包括托举板9,托举板9设置在夹紧块6上。
通过夹紧动力装置5将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块6上,通过夹紧块6夹紧硅片小舟,从而实现对硅片小舟的位置的固定,再次通过抵接板7抵接硅片小舟的端耳,进一步固定小舟在夹爪中的位置,通过旋转动力装置4带动安装板3的旋转,从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作,通过托举板9的设置,保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来,进而避免了产品的损坏,通过托举板9的托举作用保证了产品的良品率。
具体的,夹紧动力传输部包括载板10、连接板11、三角板12,载板10与安装板3固定连接,连接板11通过滑轨滑块可活动的安装在载板10上,夹紧动力装置5的固定端固定在载板10上,夹紧动力装置5的活动端与三角板12的第一个角点铰接,三角板12的第二个角点与载板10铰接,载板10对应三角板12的第三个角点开设有腰孔,三角板12的第三个角点上设有滚轮,滚轮安装在腰孔内。
夹紧动力装置5将动力直接传输达到三角板12的第一角点上,通过腰孔的设置舍得三角板12的第三个点能够在腰孔内上下运动,进而使得连接板11可以相对于载板10进行横移的侗族,从而实现了夹爪的夹合动作。
特别地,托举板9上对应硅片的位置设有齿条13。
通过齿条13的设置,使得硅片可以卡盛在齿条13上的齿槽内,从而保证了硅片的位置不会发生相对错位,进而提高了硅片的稳定性。
具体的,托举部还设有伸缩动力装置14,伸缩动力装置14的固定端固定在安装板3上,伸缩动力装置14的活动端连接托举板9。
通过伸缩动力装置14的设置,使得托举板9可以在未翻转的时候就可以贴近小舟里面的硅片从而避免硅片在翻转的时候需要产生较大的位移,从而避免了硅片的损坏,进而提高了产品的良品率。
特别地,旋转动力装置4包括旋转气缸、第一连杆15和第二连杆16,旋转气缸的固定端固定在安装板3上,旋转气缸的活动端与第一连杆15的一端铰接,第一连杆15的另一端与第二连杆16的一端铰接,第二连杆16的另一端与安装板3铰接。
在实际操作上,动力装置均采用相应类型的气缸。
除非另作定义,此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语不代表任何顺序,数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“一端”、“另一端”仅表示相对的位置关系,当被描述的对象的绝对位置关系改变后,则该想对应的位置关系也相应的改变。另外文中所讲的“至少一个”包括一个、两个或两个以上。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里实用新型的实用新型后,将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本实用新型的真正范围和精神由权利要求指出。
应当理解的是,本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构,并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (5)

1.硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部,所述旋转部包括旋转动力装置和安装板,所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接,所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块,所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端,所述夹紧动力装置连接在所述夹紧动力传输部的一端,所述夹紧动力装置安装在所述安装板上,所述抵接部包括抵接板、抵接动力装置,所述抵接动力装置的固定端固定在所述安装板上,所述抵接动力装置的活动端与所述抵接板一端铰接,所述抵接板与所述安装板铰接,所述托举部包括托举板,所述托举板设置在所述夹紧块上。
2.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板,所述载板与所述安装板固定连接,所述连接板通过滑轨滑块可活动的安装在所述载板上,所述夹紧动力装置的固定端固定在所述载板上,所述夹紧动力装置的活动端与所述三角板的第一个角点铰接,所述三角板的第二个角点与所述载板铰接,所述载板对应所述三角板的第三个角点开设有腰孔,所述三角板的第三个角点上设有滚轮,所述滚轮安装在所述腰孔内。
3.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述托举板上对应硅片的位置设有齿条。
4.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述托举部还设有伸缩动力装置,所述伸缩动力装置的固定端固定在所述安装板上,所述伸缩动力装置的活动端连接所述托举板。
5.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆,所述旋转气缸的固定端固定在所述安装板上,所述旋转气缸的活动端与所述第一连杆的一端铰接,所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端铰接,所述第二连杆的另一端与所述安装板铰接。
CN202020187053.XU 2020-02-19 2020-02-19 硅片小舟搬运夹爪 Active CN211654782U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020187053.XU CN211654782U (zh) 2020-02-19 2020-02-19 硅片小舟搬运夹爪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020187053.XU CN211654782U (zh) 2020-02-19 2020-02-19 硅片小舟搬运夹爪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN211654782U true CN211654782U (zh) 2020-10-09

Family

ID=72685171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202020187053.XU Active CN211654782U (zh) 2020-02-19 2020-02-19 硅片小舟搬运夹爪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN211654782U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111312636A (zh) * 2020-02-19 2020-06-19 无锡市江松科技有限公司 硅片小舟搬运夹爪
CN113948435A (zh) * 2021-11-05 2022-01-18 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111312636A (zh) * 2020-02-19 2020-06-19 无锡市江松科技有限公司 硅片小舟搬运夹爪
CN111312636B (zh) * 2020-02-19 2024-07-05 无锡江松科技股份有限公司 硅片小舟搬运夹爪
CN113948435A (zh) * 2021-11-05 2022-01-18 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211654782U (zh) 硅片小舟搬运夹爪
CN204997287U (zh) 一种汽车尾门外板和尾灯座板的焊接夹具
CN205219138U (zh) 一种码垛机器人夹持装置
CN111163901A (zh) 一种自动定位治具
CN103346345B (zh) 一种蓄电池极群的整形装置
CN202655837U (zh) 一种轨道车辆裙板格栅焊接用旋转式工装
CN107378363B (zh) 一种焊装线车身总拼y向定位抱死机构
CN215467844U (zh) 一种锻造用上下料机械手
CN206273418U (zh) 一种自动翻转机构
CN111312636A (zh) 硅片小舟搬运夹爪
CN218397717U (zh) 一种自定心夹紧结构
CN204470769U (zh) 一种夹紧焊接一体式焊钳
CN207930225U (zh) 适用于拼接式车用接线盒的防虚焊工装
CN207052925U (zh) 一种插座生产线自动翻转出料装置
CN206595349U (zh) 电芯封边和极耳整平装置
CN206898108U (zh) 电芯封边和极耳整平机械手
CN214236870U (zh) 快速定位夹紧的焊接夹具
CN210789776U (zh) 焊枪抓手一体机构
CN210818592U (zh) 一种用于钳体加工的自动定位夹紧装置
CN207138901U (zh) 一种调节型三爪卡盘
CN206703019U (zh) 一种焊接取料机械手
CN207155608U (zh) 一种用于线束固定的治具
CN203509407U (zh) 一种点焊工装
CN207942125U (zh) 一种死锁防变形弧焊夹具
CN206316679U (zh) 异形铝支架机器人抓手

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: No.208 Changjiang East Road, Shuofang, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000

Patentee after: Wuxi Jiangsong Technology Co.,Ltd.

Address before: 214000 plot c20-2, phase 5, Shuofang industrial concentration area, Wuxi New District, Wuxi City, Jiangsu Province

Patentee before: WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY Co.,Ltd.