CN211654780U - 除泡烤箱系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种除泡烤箱系统，包括腔体、加热单元、风扇及驱动装置。腔体具有内部空间，其中流体适于进出内部空间。加热单元配置于腔体内。风扇配置于腔体内。驱动装置包括定子模块、转子模块及耐压胶体。转子模块配置于定子模块内，并适于相对定子模块转动，转子模块包括转轴，转轴包括伸入段，驱动装置在伸入段以外的部位被设置于腔体外而位于常压下，转轴的伸入段伸入腔体，以连接于风扇。耐压胶体包覆至少部分的定子模块，其中定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间。本实用新型提供的除泡烤箱系统可提升产品的可靠性与质量。

Description

除泡烤箱系统

技术领域

本实用新型涉及一种烤箱系统，尤其涉及一种除泡烤箱系统。

背景技术

半导体封装结构在制造过程中封装胶体可能会产生气泡，封装胶体内的气泡可能会影响产品的可靠性与质量。目前，半导体封装结构可通过压力烤箱以高温高压的方式来去除封装胶体内的气泡。

现有的压力烤箱内通常会设有加热单元与风扇，加热单元用以使压力烤箱升温，风扇用以使压力烤箱内的温度均匀。风扇可通过设置在压力烤箱外部的马达来驱动。马达的转轴会伸入压力烤箱的腔体以连接到风扇，且轴封会设置在马达的转轴穿过腔体的部位，以隔绝腔体内外高压差。然而，轴封承受长时间的温差与压差相当容易耗损。

实用新型内容

本实用新型提供一种除泡烤箱系统，其马达转轴与腔体之间可不需设置轴封。

本实用新型的一种除泡烤箱系统，包括腔体、加热单元、风扇及驱动装置。腔体具有内部空间，其中流体适于进出内部空间。加热单元配置于腔体内。风扇配置于腔体内。驱动装置包括定子模块、转子模块及耐压胶体。转子模块配置于定子模块内，并适于相对定子模块转动，转子模块包括转轴，转轴包括伸入段，驱动装置在伸入段以外的部位被设置于腔体外而位于常压下，转轴的伸入段伸入腔体，以连接于风扇。耐压胶体包覆至少部分的定子模块，其中定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间。

在本实用新型的一实施例中，上述的驱动装置还包括上盖、下盖及两轴承，上盖配置于耐压胶体的上侧，转子模块的转轴穿过上盖。下盖配置于耐压胶体的下侧。两轴承套设于转轴，且介于转轴与上盖之间以及转轴与下盖之间，其中耐压胶体的外表面、上盖的外表面与下盖的外表面位于常压下。

在本实用新型的一实施例中，上述的驱动装置包括侧壳，上盖与下盖分别固定于侧壳，耐压胶体填充于定子模块与侧壳之间，且侧壳位于常压下。

在本实用新型的一实施例中，上述的整个耐压胶体的外表面外露，耐压胶体的外表面位于常压下。

在本实用新型的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括侧壳，包括孔槽，侧壳包覆局部的耐压胶体的外表面，孔槽外露出部分的耐压胶体，且侧壳位于常压下。

在本实用新型的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括侧壳，围绕定子模块的部分，耐压胶体包覆定子模块的另一部分，且耐压胶体的外表面及侧壳的外表面位于常压下。

在本实用新型的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括压力供应模块，连通于内部空间，以提供流体进入腔体。

在本实用新型的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括冷却模块，配置于腔体之外且连通于内部空间，位于内部空间的流体适于流至冷却模块降温之后再流回内部空间。

在本实用新型的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括流体含量传感器，配置于腔体之外且连通于内部空间。

基于上述，本实用新型的除泡烤箱系统的驱动装置的定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间，由于耐压胶体可承受负压、高压和/或压差，转轴与腔体之间可不需设置轴封去阻隔，且驱动装置可位于腔体外且直接设置于常压下。此外，定子模块至少部分受耐压胶体的包覆，而可受到耐压胶体的保护。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本实用新型的一实施例的一种除泡烤箱系统的示意图；

图2至图5是依照本实用新型的多个实施例的多种除泡烤箱系统的驱动装置的示意图。

附图标记说明

1：除泡烤箱系统；

20：腔体；

22：内部空间；

23：缝隙；

24：加热单元；

26：风扇；

30：热交换器；

40：泵；

50：流体含量传感器；

60：增压缸；

70：电磁阀；

80：调节阀；

90：流体供应源；

100、100a、100b、100’：驱动装置；

110、110a、110b、110’：外壳；

112、112a、112’：上盖；

114、114a、114’：下盖；

116、116b、116’：侧壳；

118：孔槽；

120：转子模块；

122：转轴；

124：轴承；

130：定子模块；

132：线圈；

134：电子铁芯；

140、140b：耐压胶体；

150：温度传感器；

152：传输线。

具体实施方式

图1是依照本实用新型的一实施例的一种除泡烤箱系统的示意图。请参阅图1，本实施例的除泡烤箱系统1包括腔体20、加热单元24、风扇26、驱动装置100及压力供应模块。腔体20具有内部空间22。在本实施例中，压力供应模块连通于内部空间22，压力供应模块可以用来对腔体20的内部空间22抽真空、提供负压环境、提供气体而使腔体20的内部空间22回到常压、和/或提供高压流体至腔体20的内部空间22，以使内部空间22的压力大于1大气压。更明确地说，本实施例中，压力供应模块包括流体供应源90、调节阀80、电磁阀70及增压缸60(或是比例阀)，但压力供应模块并不以此为限制。此外，在本实施例中，除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力例如是大于等于0大气压且小于100大气压，但除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力不以此为限制。除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力可以是负压、真空或是正压，端视所需而调整。

另外，在本实施例中，加热单元24配置于腔体20内，用以使内部空间22的流体温度升高。在本实施例中，加热单元24例如是电热管，但加热单元24的种类不以此为限制。风扇26配置于腔体20内，用以使内部空间22的流体温度均匀。

由图1可见，驱动装置100包括转轴122，其中转轴122包括伸入段。伸入段是指转轴122伸入腔体20内的区段，转轴122通过伸入段伸入腔体20以连接于风扇26，进而带动风扇26转动，使内部空间22的流体温度均匀。转轴122在贯穿腔体20的部分与腔体20的壁面之间具有微小的缝隙23，以使转轴122能够相对于腔体20转动而不干涉，且腔体20的内部空间22能通过缝隙23连通于驱动装置100的内部。在本实施例中，驱动装置100例如是马达，但驱动装置100的种类不以此为限制。

另外，在本实施例中，除泡烤箱系统1还可包括冷却模块，配置于腔体20之外且连通于内部空间22。详细地说，在本实施例中，冷却模块包括热交换器30与泵40，热交换器30用来将流体降温。泵40用来制造出流体流出于腔体20，通过热交换器30之后，再流回腔体20的循环。位于内部空间22的流体适于流至冷却模块降温之后再流回内部空间22。当然，在其他实施例中，冷却模块也可以通过风扇来达到流体循环的效果。值得一提的是，在其他实施例中，泵40也可以用马达来取代。

此外，除泡烤箱系统1还可选择地包括流体含量传感器50，配置于腔体20之外且连通于内部空间22。在本实施例中，流体含量传感器50可对内部空间22内的特定流体的含量进行感测，且流体含量传感器50可具有调节单元(未示出)，调节单元可在感测特定流体含量之前先将流体调整至适合被感测的状态。举例来说，调节单元例如是阀件，用以使适当流量的流体通过来被感测，或者，调节单元例如是温度调整单元，用以升温或降温以使流体调整到适合被感测的温度区间。在本实施例中，流体含量传感器50例如是含氧量分析仪。当然，流体含量传感器50的种类、所组成的单元及所测量的气体种类不以此为限制。

在本实施例中，驱动装置100可使转轴122与腔体20之间不需使用轴封。下面将介绍可应用于除泡烤箱系统1上的多种实施方式的驱动装置。在下面的实施例中，相同或相似的组件以相同或相似的符号表示。

图2至图5是依照本实用新型的多个实施例的多种除泡烤箱系统的驱动装置的示意图。请参阅图2，在本实施例中，驱动装置100’包括定子模块130、转子模块120、耐压胶体140及外壳110’。定子模块130包括线圈132与电子铁芯134。转子模块120配置于定子模块130内，并适于相对定子模块130转动，转子模块120包括转轴122。转子模块120在转轴122以外的部位以及定子模块130位于外壳110’内，且外壳110’位于常压下。在本实施例中，外壳110’包括上盖112’、下盖114’及侧壳116’，且转轴122伸出于外壳的上盖112’。

在本实施例中，耐压胶体140填充于定子模块130与外壳110’的侧壳116’之间，耐压胶体140包覆至少部分的定子模块130。在本实施例中，耐压胶体140包覆在整个定子模块130的外侧，而使定子模块130仅于内表面未被耐压胶体140遮蔽，且定子模块130的内表面齐平于耐压胶体140的内表面。当然，在一实施例中，耐压胶体140也可仅包覆部分的定子模块130，和/或定子模块130的内表面也可以高于或低于耐压胶体140的内表面。

在本实施例中，上盖112’配置于耐压胶体140与侧壳116’的上侧，且具有通孔，转子模块120的转轴122穿过通孔。下盖114’配置于耐压胶体140与侧壳116’的下侧。两轴承124套设于转轴122，且介于转轴122与上盖112’之间以及转轴122与下盖114’之间。上盖112’与下盖114’例如通过锁固、卡合或黏合等方式固定于侧壳116’，但上盖112’与下盖114’固定于侧壳116’的方式不以此为限制。上盖112’、下盖114’与侧壳116’的材质例如是金属，但不以此为限制。

值得一提的是，在本实施例中，耐压胶体140例如可选用防燃导热环氧树脂，防燃导热环氧树脂的拉伸强度(tensile strength)约为9850psi，压缩强度(compressivestrength)约为15000psi，而可承受负压或高压。因此，在本实施例中，耐压胶体140与所包覆的定子模块130可共同形成耐压腔体，耐压腔体适于承受大于等于0大气压且小于100大气压的压力。换句话说，耐压腔体所能承受的压力大于腔体20(图1)内的压力。由于驱动装置100’的定子模块130与耐压胶体140所共同围绕出的空间会连通于腔体20的内部空间22，腔体20中部分气体会通过缝隙23(图1)进入耐压胶体140与所包覆的定子模块130所围绕出的空间，而使耐压胶体140与所包覆的定子模块130所围绕出的空间与内部空间22形成等压。

由于耐压胶体140可耐高压，不会因压力而变形或损伤，耐压胶体140、上盖112’与下盖114’之间的空间可维持在高压状态下。因此，本实施例的驱动装置100’的转轴122与腔体之间可不需要设置轴封，相当方便。耐压胶体140耐高压的特性便可使驱动装置100’仍可在高压下维持正常运作。当然，耐压腔体140也可于常压或是负压下使用。也就是说，当腔体20的内部空间22呈负压或常压时，耐压胶体140也可对应地呈负压或常压，而仍能维持良好的结构强度。

要说明的是，在本实施例中，驱动装置100’的外壳110’的上盖112’与腔体20之间可通过例如是密封环(O-ring)的方式密封，而使得腔体20内的高压流体不会外泄或是外界压力不会流入呈现负压的腔体20内。

另外，在本实施例中，驱动装置100’在伸入段以外的部位被设置于腔体20外且位于常压(一般是指一大气压)与常温的环境下。更明确地说，耐压胶体140的外表面、侧壳116’、上盖112’的外表面与下盖114’的外表面位于常压下。由于耐压胶体140可耐负压、高压和/或压差，耐压胶体140的内表面承受负压或高压，耐压胶体140的外表面为常压，耐压胶体140仍可具有足够的刚性且可保护所包覆的定子模块130。

此外，在本实施例中，防燃导热环氧树脂的热变形(Heat distortion)温度约为155℃，操作温度可在-60℃～200℃之间。上述特性可以承受驱动装置100’在运转时的高温或是从腔体20(图1)处传递来的温度。另外，防燃导热环氧树脂的热传导系数(ThermalConductivity)例如为15btu*in/hr*ft2*°F，使得驱动装置100’在运转时的产热或是从腔体20处传递来的热量可以迅速地排到外界。

再者，由于除泡烤箱系统1(图1)的腔体20内所烘烤的物质可能具化学挥发物，在这样的加热状况以及除泡烤箱系统1所处环境的种种因素下(如挥发物微粒、海边环境等)，都有可能对于驱动装置造成不良影响，使驱动装置无法长时间稳定的运作。在本实施例中，驱动装置100’的耐压胶体140所选用的材料可以抗腐蚀、防水、防尘，而可适用于上述恶劣的使用环境。此外，本实施例所采用的防燃导热环氧树脂通过UL94 V-0的测试，阻燃性良好，且在60Hz下的绝缘常数约为5.6，而对电路的保密性佳。

另外，在本实施例所采用的防燃导热环氧树脂的邵氏硬度(Shore D)约为90，耐压胶体140的硬度大，可保护所包覆的定子模块130及位于定子模块130内的转子模块120。换句话说，驱动装置100’除了有外壳110’之外，耐压胶体140也能对内部构件提供良好的保护效果。当然，耐压胶体140的材料不以此为限制，只要可以具有高热传导系数、高硬度且可耐压的胶体固化材料均可作为耐压胶体140的材料。

请参阅图3，图3的驱动装置100与图2的驱动装置100’的主要差异在于，图3的驱动装置100的至少部分的耐压胶体140为外露。更明确地说，在本实施例中，整个耐压胶体140的外表面外露。也就是说，外壳110包括上盖112、下盖114及耐压胶体140。驱动装置100的外壳110没有侧壳116’(图2)，耐压胶体140具有足够的强度，可作为外壳110的一部分来保护定子模块130与转子模块120的外侧，且具有重量小且低成本的优点。

值得一提的是，在本实施例中，由于整个耐压胶体140的外表面外露，耐压胶体140的外表面位于常温常压下。当除泡烤箱系统1运作时，耐压胶体140不但可承受内外压差，驱动装置100在运作时的热量可以很快递往外传出，且使用者可以很容易地测试到耐压胶体140甚至是定子模块130的温度，以方便监控。

请参阅图4，图4的驱动装置100a与图2的驱动装置100’的主要差异在于，在本实施例中，外壳110a包括上盖112a、下盖114a及侧壳116。侧壳116包括孔槽118，孔槽118外露出部分的耐压胶体140。侧壳116由于具有孔槽118而仅包覆局部的耐压胶体140的外表面，因此，相较于完整的金属侧壳，本实施例的驱动装置100a的重量可较小且成本较低。另外，局部的耐压胶体140的外表面被外露，而可使热量直接传出。

此外，在本实施例中，驱动装置100a还可选择地包括温度传感器150及传输线152。温度传感器150可以贴在耐压胶体140上或是内埋于耐压胶体140，以热耦合于耐压胶体140。传输线152连接于温度传感器150，且穿出于孔槽118，以连接到外部。也就是说，侧壳116的孔槽118还可以用来供传感器(例如是温度传感器150，但不限)的传输线152穿出，以使传感器的配置更方便。

请参阅图5，图5的驱动装置100b与图4的驱动装置100a的主要差异在于，在本实施例中，外壳110b的侧壳116b围绕定子模块130的部分，耐压胶体140b包覆定子模块130的另一部分。耐压胶体140b的外表面及侧壳116b的外表面位于常压下。更明确地说，侧壳116b围绕定子模块130的中央部分，耐压胶体140b包覆定子模块130的两端。一般来说，定子模块130的两端会露出线圈132，而在运作时较热，设计者也可以在此两部位以耐压胶体140b来包覆，且直接外露。当然，侧壳116b与耐压胶体140b的相对位置不以此为限制。

综上所述，本实用新型的除泡烤箱系统的驱动装置的定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间，由于耐压胶体可承受负压、高压及压差，转轴与腔体之间可不需设置轴封去阻隔，且驱动装置可位于腔体外且直接设置于常压下。此外，定子模块至少部分受耐压胶体的包覆，而可受到耐压胶体的保护。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种除泡烤箱系统，其特征在于，包括：

腔体，具有内部空间，其中流体适于进出所述内部空间；

加热单元，配置于所述腔体内；

风扇，配置于所述腔体内；以及

驱动装置，包括：

定子模块；

转子模块，配置于所述定子模块内，并适于相对所述定子模块转动，所述转子模块包括转轴，所述转轴包括伸入段，所述驱动装置在所述伸入段以外的部位被设置于所述腔体外而位于常压下，所述转轴的所述伸入段伸入所述腔体，以连接于所述风扇；以及

耐压胶体，包覆至少部分的所述定子模块，其中所述定子模块与所述耐压胶体所共同围绕出的空间连通于所述腔体的所述内部空间。

2.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：

上盖，配置于所述耐压胶体的上侧，所述转子模块的转轴穿过所述上盖；

下盖，配置于所述耐压胶体的下侧；以及

两轴承，套设于所述转轴，且介于所述转轴与所述上盖之间以及所述转轴与所述下盖之间，其中所述耐压胶体的外表面、所述上盖的外表面与所述下盖的外表面位于常压下。

3.根据权利要求2所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：

侧壳，所述上盖与所述下盖分别固定于所述侧壳，所述耐压胶体填充于所述定子模块与所述侧壳之间，且所述侧壳位于常压下。

4.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，整个所述耐压胶体的外表面外露，所述耐压胶体的外表面位于常压下。

5.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：

侧壳，包括孔槽，所述侧壳包覆局部的所述耐压胶体的外表面，所述孔槽外露出部分的所述耐压胶体，且所述侧壳位于常压下。

6.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：

侧壳，围绕所述定子模块的部分，所述耐压胶体包覆所述定子模块的另一部分，且所述耐压胶体的外表面及所述侧壳的外表面位于常压下。

7.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，还包括：

压力供应模块，连通于所述内部空间，以提供所述流体进出所述腔体。

8.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，还包括：

冷却模块，配置于所述腔体之外且连通于所述内部空间，位于所述内部空间的流体适于流至所述冷却模块降温之后再流回所述内部空间。

9.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，还包括：

流体含量传感器，配置于所述腔体之外且连通于所述内部空间。

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