CN211639554U - 一种用于水冷的陶瓷盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于水冷的陶瓷盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体上表面具有若干个以本体中心为圆心呈环形的凸起环，所述本体上表面还开若干个以本体的中心为圆心呈环形状的水槽，水槽与凸起环交替设置，凸起环上开有过水通道，相邻水槽之间通过过水通道连通，所述最外层的水槽底边开有两个进水孔，所述最内层的水槽底面开有两个出水孔，所述本体下表面嵌有若干螺纹衬套、若干沉孔、若干定位销孔。抛光通冷却水用于水冷上定盘，防止热变形对硅片抛光造成影响，保持抛光盘温度稳定，减少热变形带来的尺寸变形，提高良品率。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片加工技术领域，涉及一种用于水冷的陶瓷盘。
背景技术
硅片抛光盘装置盘面分下定盘、上定盘、抛光盘，上定盘连接在下定盘上，抛光盘吸附在上定盘上，下定盘下表面具有连接抽气管的连接头，上定盘上开有吸附孔，下定盘有抽气通道，抽气通道连通吸附孔，由于抛光盘覆盖在上定盘上，上定盘上有凹槽，使得上定盘与抛光盘之间有封闭的空腔，吸附孔连接空腔，通过真空抽气泵把上定盘上空腔抽成真空状态，使抛光盘牢牢吸附在上定盘上。抛光盘在工作室温度较高，容易热变形，造成对硅片的质量影响。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于水冷的陶瓷盘，保持抛光盘温度稳定，减少热变形带来的尺寸变形，提高良品率。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于水冷的陶瓷盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体上表面具有若干个以本体中心为圆心呈环形的凸起环，所述本体上表面还开若干个以本体的中心为圆心呈环形状的水槽，水槽与凸起环交替设置，凸起环上开有过水通道，相邻水槽之间通过过水通道连通，所述最外层的水槽底边开有两个进水孔，所述最内层的水槽底面开有两个出水孔，所述本体下表面嵌有若干螺纹衬套、若干沉孔、若干定位销孔。
冷却水从进水孔进入到本体的最外层水槽中，水槽通过过水通道相通，使冷却水布满整个本体上表面，降温后，冷却水从最内层的水槽底面出水孔流出，与外部供水装置连通后，形成一个自冷却的水循环。螺纹衬套用来固定陶瓷盘，沉孔用于固定上定盘，定位销固定陶瓷盘时用。
进一步的，每个所述的水槽具有两个过水通道，两个过水通道中心对称设置。
进一步的，所述本体侧面开有用于加工吊装的螺纹孔一。
进一步的，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二。
与现有技术相比，本用于水冷的陶瓷盘具有以下优点：
1.抛光通冷却水用于水冷上定盘，防止热变形对硅片抛光造成影响。
2.保持抛光盘温度稳定，减少热变形带来的尺寸变形，提高良品率。
附图说明
图1是本用于水冷的陶瓷盘正面结构示意图。
图2是本用于水冷的陶瓷盘背面结构示意图。
图3是本用于水冷的陶瓷盘的剖视图。
图中，1、本体；2、凸起环；3、水槽；4、进水孔；5、出水孔；6、过水通道；7、螺纹孔一；8、螺纹孔二；9、；螺纹衬套；10、沉孔；11、定位销孔。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
如图1-3所示，本用于水冷的陶瓷盘，包括呈圆盘状的本体1，所述本体1上表面具有若干个以本体1中心为圆心呈环形的凸起环2，所述本体1上表面还开若干个以本体1的中心为圆心呈环形状的水槽，水槽与凸起环2交替设置，凸起环2上开有过水通道6，相邻水槽之间通过过水通道6连通，所述最外层的水槽底边开有两个进水孔4，所述最内层的水槽底面开有两个出水孔5，所述本体1下表面嵌有若干螺纹衬套9、若干沉孔10、若干定位销孔11。
进一步的，每个所述的水槽具有两个过水通道6，两个过水通道6中心对称设置。
进一步的，所述本体1侧面开有用于加工吊装的螺纹孔一7。
进一步的，所述本体1侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二8。
冷却水从进水孔4进入到本体1的最外层水槽中，水槽通过过水通道6相通，使冷却水布满整个本体1上表面，降温后，冷却水从最内层的水槽底面出水孔5流出，与外部供水装置连通后，形成一个自冷却的水循环。螺纹衬套9用来固定陶瓷盘，沉孔10用于固定上定盘，定位销插入定位销孔11中来固定陶瓷盘时用。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (4)
1.一种用于水冷的陶瓷盘，包括呈圆盘状的本体，其特征在于，所述本体上表面具有若干个以本体中心为圆心呈环形的凸起环，所述本体上表面还开若干个以本体的中心为圆心呈环形状的水槽，水槽与凸起环交替设置，凸起环上开有过水通道，相邻水槽之间通过过水通道连通，所述最外层的水槽底边开有两个进水孔，所述最内层的水槽底面开有两个出水孔，所述本体下表面嵌有若干螺纹衬套、若干沉孔、若干定位销孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于水冷的陶瓷盘，其特征在于，每个所述的水槽具有两个过水通道，两个过水通道中心对称设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于水冷的陶瓷盘，其特征在于，所述本体侧面开有用于加工吊装的螺纹孔一。
4.根据权利要求1所述的一种用于水冷的陶瓷盘，其特征在于，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2019224943602 | 2019-12-31 | ||
| CN201922494360 | 2019-12-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211639554U true CN211639554U (zh) | 2020-10-09 |
Family
ID=72703979
Family Applications (1)
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| CN202020031091.6U Active CN211639554U (zh) | 2019-12-31 | 2020-01-07 | 一种用于水冷的陶瓷盘 |
Country Status (1)
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116123779A (zh) * | 2023-04-17 | 2023-05-16 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种应用于高超声速高温风洞的水冷隔热装置及加工方法 |
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2020
- 2020-01-07 CN CN202020031091.6U patent/CN211639554U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116123779A (zh) * | 2023-04-17 | 2023-05-16 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种应用于高超声速高温风洞的水冷隔热装置及加工方法 |
| CN116123779B (zh) * | 2023-04-17 | 2023-06-13 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种应用于高超声速高温风洞的水冷隔热装置及加工方法 |
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